目前,大多數(shù)的晶體管制造都采用硅信道以及基于硅氧化物的電介質(zhì)。然而,這些晶體管通常不是缺乏透明度就是不夠靈活,因而可能成為制造高整合的壓力傳感器數(shù)組與透明壓力傳感器時的一大阻礙。
UNIST的研究人員開發(fā)的這種新型的數(shù)組技術(shù)十分具有發(fā)展前景,因為它能根據(jù)偵測觸控動作產(chǎn)生電訊號,并同顯示偵測對象的位置以及壓力的大小,而且還較傳統(tǒng)的壓力傳感器更具有透明度以及消耗較低功耗,這和目前針對圖形所用的觸控傳感器是不同的。
UNIST材料科與工程研究所教授Jang-UngPark帶領(lǐng)研究團隊共同進行這項研究,他們采用高度導(dǎo)電且?guī)в锌諝饨殡妼拥耐该魇?,以及能夠在可折迭基板一?cè)擷取空氣的彈性體。
該數(shù)組能夠偵測導(dǎo)致氣隙介電質(zhì)變形的滑動、輕觸與手指的壓力,提供一種測量壓力大小與位置的方法。再者,相較于被動矩陣類型,這種新型的數(shù)組所消耗的功率較少,反應(yīng)時間也更快。
Park表示:“利用空氣作為產(chǎn)生場效晶體管(FET)的介電層,能夠因為石墨烯信道與空氣間的接口干凈,從而顯著提高晶體管的性能。此外,這種空氣介電層的厚度是由所施加的壓力而決定的,因此,透過這種技術(shù),能夠更有效地偵測壓力的變化?!?/p>
這種傳感器能夠同時測量小于10kPa的任何物體,例如輕敲至大于2MPa、人體的重量等,此外,它還能應(yīng)用于3D觸控面板或慢跑鞋。這項研究結(jié)果已經(jīng)發(fā)表在最新一期的《自然通訊》(NatureCommunications)期刊中。
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