總部位于德國(guó)施泰因哈根的 Plasmatret 有限責(zé)任公司是一家專(zhuān)為高效表面處理和環(huán)保生產(chǎn)工藝提供等離子體系統(tǒng)的制造商，公司在去年的 2019 年德國(guó)杜塞爾多夫橡塑展 K 展上展出了一款全新的等離子體處理裝置。該處理裝置創(chuàng)造性地采用了倍福的 XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高精度和靈活的工件輸送。XPlanar 取代了以前用于輸送 PCB 板等敏感元件的系統(tǒng)，并且無(wú)需安裝復(fù)雜的六軸機(jī)器人和直線電機(jī)。

等離子體處理裝置可以將不同材料的表面處理分為兩個(gè)階段，Plasmatreat 的設(shè)計(jì)負(fù)責(zé)人 Jochen  Stichling 闡述道：“在第一階段，基板被移動(dòng)到噴嘴下方進(jìn)行清潔和活化。在第二階段，用噴嘴噴涂功能性涂層。”他解釋?zhuān)驹谶@方面一直專(zhuān)注于創(chuàng)新：“我們需要一個(gè)處理速度快、完全可編程且無(wú)磨損的系統(tǒng)來(lái)輸送工件。而在定制化編程軌跡和行程方面，倍福的 XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)是不二之選。”

由可自由懸浮的動(dòng)子組成的平面電機(jī)輸送系統(tǒng)

XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)將可以隨意排列的傳輸平面模塊與懸浮在其上方的動(dòng)子托盤(pán)的多維定位能力完美結(jié)合于一體，可以實(shí)現(xiàn)快速、靈活及高精度定位。動(dòng)子可以在二維平面上進(jìn)行無(wú)摩擦、無(wú)接觸的運(yùn)動(dòng)，最高速度可達(dá) 4 m/s，加速度可達(dá) 2 g，重復(fù)定位精度可達(dá) 50 μm；運(yùn)行過(guò)程中幾乎不會(huì)產(chǎn)生任何噪音或機(jī)械磨損。該系統(tǒng)不僅支持二維 X/Y 空間內(nèi)的定位運(yùn)動(dòng)，還提供在必要時(shí)讓動(dòng)子做六自由度運(yùn)動(dòng)的附加功能：

– 最大 5 mm 的升降運(yùn)動(dòng)（空載）， 可選擇稱(chēng)重功能

– 最大 5°傾斜運(yùn)動(dòng)，用于處理液體的輸送

– 最大 ±15° 的旋轉(zhuǎn)或者在特定傳輸平面模塊上 360° 的旋轉(zhuǎn)；

Plasmatreat 等離子體表面處理設(shè)備中使用的 XPlanar 輸送系統(tǒng)由 6 個(gè) 240 x 240 mm 的平面模塊和 1 個(gè)動(dòng)子托盤(pán)組成。

提高靈活性，降低機(jī)械復(fù)雜性

XPlanar 系統(tǒng)的一個(gè)重要優(yōu)點(diǎn)是，不再需要移動(dòng)用于表面處理的等離子體噴流裝置，因此，現(xiàn)在可以將其安裝在固定的安裝架上。無(wú)論是從機(jī)械方面還是從電氣方面看，等離子體噴流工藝都是相當(dāng)復(fù)雜的，如果能夠只移動(dòng)工件而不是等離子體噴流裝置本身，可以大大減少進(jìn)料裝置的磨損。Jochen Stichling 認(rèn)為，靈活性的提高也給我們帶來(lái)了額外的好處：“我們只需要使用簡(jiǎn)單的工裝就可以將各種材料樣本放到動(dòng)子上輸送至處理工位。我們可以很輕松地在等離子體噴流裝置旁邊增添各個(gè)加工工位（例如，給合格工件做上標(biāo)記的工位，或者用光學(xué)靈敏測(cè)頭進(jìn)行全面工件檢查的工位），并根據(jù)需要靈活地將工件輸送到這些工位。XPlanar 的加速度很快，也讓我們能夠高速移動(dòng)材料樣品；例如，對(duì)于較薄的樣品，這有助于減少固定噴流裝置的處理時(shí)間。”

Stichling 認(rèn)為，一系列的應(yīng)用證明了 XPlanar 具有顯著的功能優(yōu)勢(shì)與寶貴價(jià)值：“傳統(tǒng)方式是使用六軸機(jī)器人或直線電機(jī)來(lái)移動(dòng)固定工件周?chē)牡入x子體噴流裝置。從成本角度來(lái)看，XPlanar 介于線性軸和機(jī)器人系統(tǒng)之間。對(duì)于不需要在 Z 軸上進(jìn)行太多垂直移動(dòng)的平面零件，機(jī)器人往往是個(gè)理想的選擇，而 XPlanar 可以完全取代機(jī)器人。XPlanar 的無(wú)磨損運(yùn)行、易清潔性以及符合潔凈室要求方面具備的優(yōu)勢(shì)在這里可以得到充分發(fā)揮。”

新的等離子體表面處理設(shè)備結(jié)構(gòu)非常緊湊，因?yàn)樗辉傩枰褂昧S機(jī)器人或額外的線性軸

對(duì)于 Stichling 來(lái)說(shuō)，XPlanar 能夠優(yōu)化等離子體表面處理的兩個(gè)關(guān)鍵方面：可以在處理過(guò)程中直接集成用于全面檢查的在線測(cè)試功能，以及為最終用戶(hù)提供定制化可編程的動(dòng)子行程路線路徑規(guī)劃。

Plasmatreat 公司 CEO Christian Buske（右）和德國(guó)倍福自動(dòng)化有限公司總裁（左）對(duì)基于 XPlanar 的等離子處理裝置在 2019 年德國(guó)杜塞爾多夫橡塑展 K 展上的成功亮相感到高興

為 Plasmatreat 帶來(lái)的另一個(gè)優(yōu)勢(shì)是，它只用了不到兩個(gè)月的時(shí)間就將 XPlanar 系統(tǒng)集成到了其設(shè)備中，這不僅僅是因?yàn)楸陡Ｄ軌蚩焖俚靥峁?3D 數(shù)據(jù)和電氣連接信息，從而使公司能夠?qū)?XPlanar 入門(mén)套件快速集成到其設(shè)備設(shè)計(jì)中。Jochen Stichling 認(rèn)為，XPlanar 系統(tǒng)具有穩(wěn)健、可靠的優(yōu)點(diǎn)，另一個(gè)優(yōu)勢(shì)是：整個(gè)等離子體處理裝置現(xiàn)在已經(jīng)通過(guò)基于 PC 的控制技術(shù)實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)化，是一款一站式系統(tǒng)解決方案。