中微半導(dǎo)體設(shè)備致力于設(shè)計(jì)及生產(chǎn),用于12寸晶圓廠關(guān)鍵性設(shè)備的高科技公司。目前研發(fā)總部位于中國(guó)上海,并在臺(tái)灣、新加坡、日本、韓國(guó)等地設(shè)有服務(wù)據(jù)點(diǎn)。
中微半導(dǎo)體自主開發(fā)的12寸蝕刻機(jī)臺(tái)Primo-DRIE,已在全球成功打進(jìn)位于亞洲9家的客戶的12條晶片生產(chǎn)線,并順利量產(chǎn)了兩百多萬(wàn)45及40奈米技術(shù)的晶圓,28奈米部分制程技術(shù)也通過(guò)了驗(yàn)證。其線寬均勻性已達(dá)到2奈米以下,并實(shí)現(xiàn)正負(fù)1%的重復(fù)性和穩(wěn)定性。中微半導(dǎo)體設(shè)備公司作為一家國(guó)際性公司,非常愿意在臺(tái)灣投資、生根,成為亞洲地區(qū)的研發(fā)、生產(chǎn)及制造基地,與客戶及供應(yīng)商一起深耕臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
中微半導(dǎo)體成立于2004年,臺(tái)灣分公司于2007年登記成立,并于2010年底進(jìn)駐竹南科學(xué)園區(qū)。廠房建置自2011年2月開始進(jìn)行,于極短時(shí)間內(nèi)即完成廠內(nèi)無(wú)塵室設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn),并于5月下旬開始了第一臺(tái)十二寸蝕刻自有產(chǎn)品Primo-DRIE的組裝測(cè)試,預(yù)計(jì)于9月中即可正式出貨給臺(tái)灣重要的客戶。
2011年中微半導(dǎo)體已投入金額約1億元,完成臺(tái)灣生產(chǎn)線的設(shè)立,AMEC臺(tái)灣的產(chǎn)線不單單負(fù)責(zé)生產(chǎn)機(jī)臺(tái),還涵蓋后端的組裝、測(cè)試,也就是說(shuō)從臺(tái)灣工廠出貨的機(jī)臺(tái),將可以直接運(yùn)送到客戶端作生產(chǎn)用,而不再需要運(yùn)到第三地作其他的加工或是測(cè)試。
未來(lái)將再投入2至3億元建立研發(fā)中心,和客戶以及本地的關(guān)鍵零組件廠商進(jìn)行共同研究開發(fā),生產(chǎn)新一代的產(chǎn)品(CIP,Continuous Improvement Parts),以帶動(dòng)國(guó)內(nèi)科學(xué)園區(qū)的產(chǎn)值,更能藉由供應(yīng)練的在地化,增加就業(yè)機(jī)會(huì)。
中微還將于今年底舉行臺(tái)中分公司新址擴(kuò)大及啟用典禮,以提供中部客戶更即時(shí)的服務(wù)以及解決方案,屆時(shí),竹南科學(xué)園區(qū)制造暨研發(fā)中心將同新竹分公司、臺(tái)南分公司、臺(tái)中分公司以及新竹和臺(tái)南物流中心一起,組成完整的研發(fā)、制造及服務(wù)鏈,為臺(tái)灣半導(dǎo)體客戶提供最好的服務(wù)。