據(jù)濟(jì)南日?qǐng)?bào)5月19日?qǐng)?bào)道,近年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)科學(xué)界正在謀劃用光子芯片取代電子芯片,濟(jì)南主動(dòng)布局,其最新的一項(xiàng)“揭榜掛帥”科研攻關(guān)項(xiàng)目研制成功,在全球率先研制出了12英寸(直徑300mm)的超大尺寸光學(xué)級(jí)鈮酸鋰晶體。
據(jù)悉,完成這項(xiàng)科研攻關(guān)的是山東恒元半導(dǎo)體科技有限公司,該公司成立于2021年,自成立以來,一直致力于鈮酸鋰、鉭酸鋰等光電材料、壓電材料的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售。通過20年不間斷的探索與研究,公司團(tuán)隊(duì)已擁有從晶體生長(zhǎng)設(shè)備的設(shè)計(jì)、均勻多晶料制備、晶體生長(zhǎng)及缺陷控制技術(shù)以及晶體后處理技術(shù)的全鏈條自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),掌握了大尺寸鈮酸鋰晶體生長(zhǎng)產(chǎn)業(yè)化所需的關(guān)鍵核心技術(shù)。
經(jīng)過兩年的攻關(guān),經(jīng)歷了數(shù)十次失敗,恒元半導(dǎo)體相繼攻克12英寸鈮酸鋰晶體生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)、晶體生長(zhǎng)及缺陷控制、晶體后處理等全鏈條關(guān)鍵核心技術(shù),獲得授權(quán)4項(xiàng)國家發(fā)明專利,終于在全球首先突破了12英寸鈮酸鋰晶體生長(zhǎng)技術(shù)。目前,恒元半導(dǎo)體通過科技成果轉(zhuǎn)化,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)6-8英寸Z軸、X軸光學(xué)級(jí)鈮酸鋰晶體。三年內(nèi),恒元半導(dǎo)體計(jì)劃將晶圓年產(chǎn)量達(dá)到25萬片。
哈佛大學(xué)研究報(bào)告指出:鈮酸鋰對(duì)于光子學(xué)的意義,等同于硅對(duì)于電子學(xué)的意義。據(jù)悉,酸鋰晶體是一種具有壓電、電光、聲光及非線性光學(xué)等多種效應(yīng)的多功能晶體材料,且物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,是至今人們所發(fā)現(xiàn)的光子學(xué)性能最高、綜合指標(biāo)最好的一種人工晶體,是集成光電子技術(shù)的核心基礎(chǔ)材料。研究表明,基于鈮酸鋰光學(xué)平臺(tái)開發(fā)出的全球領(lǐng)先微波光子芯片,可運(yùn)用光子進(jìn)行超快模擬電子信號(hào)處理及運(yùn)算,比傳統(tǒng)電子處理器快1000倍,不僅能耗更低,而且應(yīng)用范圍廣闊,涵蓋無線通信、高分辨率雷達(dá)、人工智能、計(jì)算機(jī)視覺、圖像/視頻處理等多個(gè)領(lǐng)域。
12英寸鈮酸鋰晶體研制成功,讓濟(jì)南在集成光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的道路上再進(jìn)一步。2022年,濟(jì)南市發(fā)布《關(guān)于促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的意見》,提出2025年500億級(jí)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)。單在集成電路產(chǎn)業(yè)的最底層,濟(jì)南有著深厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和科研能力,其代表性的企業(yè)和機(jī)構(gòu)有:專注于碳化硅襯底材料的天岳先進(jìn),落地濟(jì)南不久的南砂晶圓,致力于打造“中國晶谷”的濟(jì)南晶谷研究院。
其中,由濟(jì)南市政府和山東大學(xué)共建的晶谷研究院,投資10億元,以山東大學(xué)在晶體材料與芯片源頭創(chuàng)新供給優(yōu)勢(shì)為核心,將打造“晶體材料—芯片模組—裝備應(yīng)用”的完整產(chǎn)業(yè)鏈,推動(dòng)濟(jì)南成為具有國際影響力的新一代半導(dǎo)體材料與芯片研發(fā)及產(chǎn)業(yè)基地,形成“小晶體”帶動(dòng)“大產(chǎn)業(yè)”發(fā)展的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。