中國芯片設(shè)備新突破!國產(chǎn)離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)28nm工藝制程全覆蓋
時(shí)間:2023-07-13
來源:快科技
導(dǎo)語:6月30日訊,據(jù)國資委官微,中國電科旗下電科裝備已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋,有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。
據(jù)悉,離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備,當(dāng)前,28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。
新華社介紹,在芯片制造過程中,需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中,離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。
此次,電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù),形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局,實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋。
如今,電科裝備的百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線,累計(jì)流片2000萬片。
中傳動(dòng)網(wǎng)版權(quán)與免責(zé)聲明:
凡本網(wǎng)注明[來源:中國傳動(dòng)網(wǎng)]的所有文字、圖片、音視和視頻文件,版權(quán)均為中國傳動(dòng)網(wǎng)(m.u63ivq3.com)獨(dú)家所有。如需轉(zhuǎn)載請(qǐng)與0755-82949061聯(lián)系。任何媒體、網(wǎng)站或個(gè)人轉(zhuǎn)載使用時(shí)須注明來源“中國傳動(dòng)網(wǎng)”,違反者本網(wǎng)將追究其法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明其他來源的稿件,均來自互聯(lián)網(wǎng)或業(yè)內(nèi)投稿人士,版權(quán)屬于原版權(quán)人。轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留稿件來源及作者,禁止擅自篡改,違者自負(fù)版權(quán)法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
下一篇:
?
中國首發(fā)AI設(shè)計(jì)CPU芯片:比GPT-4強(qiáng)4000倍 性能堪比486?
6月30日消息,生成式AI潛力巨大,在半導(dǎo)體領(lǐng)域早就有研究讓AI自己設(shè)計(jì)芯片,日前中科院計(jì)算所在全球首次實(shí)現(xiàn)了讓AI全自動(dòng)設(shè)計(jì)芯片,名字為啟蒙1號(hào),能跑Linux...