中國芯片設(shè)備新突破!國產(chǎn)離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)28nm工藝制程全覆蓋

時(shí)間:2023-07-13

來源:快科技

導(dǎo)語:6月30日訊,據(jù)國資委官微,中國電科旗下電科裝備已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋,有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。

  據(jù)悉,離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備,當(dāng)前,28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。

  新華社介紹,在芯片制造過程中,需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中,離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

  此次,電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù),形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局,實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋。

  如今,電科裝備的百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線,累計(jì)流片2000萬片。


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