時(shí)間:2023-08-07 14:25:16來源:深圳市雷賽智能控制股份有限公司
隨著消費(fèi)電子行業(yè)的快速發(fā)展,芯片的應(yīng)用范圍越來越廣泛。在芯片生產(chǎn)工藝中,固晶機(jī)作為關(guān)鍵設(shè)備,提升產(chǎn)能和加工精度對(duì)絕大多數(shù)設(shè)備廠家來說至關(guān)重要。
為滿足固晶機(jī)高速度和高精度的需求,雷賽控制卡開發(fā)了指令緩存算法以匹配行業(yè)需求。指令緩存通過添加緩存指令的方式實(shí)現(xiàn)點(diǎn)膠和固晶等工藝流程,有效減少了與上位機(jī)的判斷和控制卡的數(shù)據(jù)交互,從而大幅度減少通信時(shí)間,提高工藝流程的執(zhí)行效率和流暢度。
雷賽控制卡的指令緩存算法的詳細(xì)介紹,下面我們將以實(shí)例展示其是如何滿足固晶機(jī)高速度和高精度的需求。
工藝要求
一般固晶機(jī)工藝流程:
常見固晶機(jī)結(jié)構(gòu)包括以下部分組成:
左邊是晶圓盤(x/y軸),中間是固晶模組,包含有固晶上下軸(z軸),還有固晶擺臂軸(u軸),右邊是待加工的工件。
使用指令緩存實(shí)現(xiàn)固晶的主要?jiǎng)幼髁鞒蹋?/p>
實(shí)例代碼
左右滑動(dòng)可查看完整代碼?
1 ushort mark = 0, card = 3, group = 0, axis_num = 2;
2 ushort[] axis_list = new ushort[2] { 0, 1 };
3 ushort axis_z = 0, axis_u = 1;
4 double start_vel = 1000, stop_vel = 1000, max_vel = 200000, tacc = 0.01, tdec = 0.01;
5 double z_OPos = 16000;
6 //z、u軸取晶位置
7 double z_GetPos = 10000;//取晶位
8 double u_GetPos = 0;//取晶位
9 //z、u軸固晶位置
10 double SafePos = 11800;//安全位
11 double z_SolidPos = 10000;//固晶位;
12 double u_SolidPos = 9000;//固晶位
13 double test_Pos0 = 1200;
14 double test_Pos1 = 7800;
15
16 LTDMC.dmc_set_position_unit(card, axis_z, 20000);
17 LTDMC.dmc_set_position_unit(card, axis_u, 0);
18 LTDMC.dmc_m_open_list(card,group,axis_num,axis_list);
19 LTDMC.dmc_m_start_list(card,group);
20 LTDMC.dmc_m_set_profile_unit(card, group, axis_z, start_vel, max_vel, tacc, tdec, stop_vel);
21 LTDMC.dmc_m_set_profile_unit(card, group, axis_u, start_vel, max_vel, tacc, tdec, stop_vel);
22
23 #region 取晶固晶
24 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitMoveDone, axis_z, 0, 0, (ushort)mark);
25 mark++;
26 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitMoveDone, axis_u, 0, 0, (ushort)mark);
27 mark++;
28 int i = 0;
29 while(i < 10)
30 {
31 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_z, z_GetPos, mark);//z軸走到取晶位
32 mark++;
33 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitMoveDone, axis_z, 0, 0, (ushort)mark);//等待z軸停止
34 mark++;
35 LTDMC.dmc_m_add_time_delay(card, group, 10, mark);//等待取晶完成
36 mark++;
37 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_z, z_OPos, mark);//z軸上升
38 mark++;
39 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitEncoder, axis_z, 0, SafePos, (ushort)mark);//等待z軸走到安全位
40 mark++;
41 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_u, u_SolidPos, mark);//u軸走到固晶位
42 mark++;
43 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitEncoder, axis_u, 0, test_Pos1, (ushort)mark);//等待u軸走到下降檢測位
44 mark++;
45 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_z, z_SolidPos, mark);//z軸走到固晶位
46 mark++;
47 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitMoveDone, axis_z, 0, 0, (ushort)mark);//等待z軸停止
48 mark++;
49 LTDMC.dmc_m_add_time_delay(card, group, 20, mark);//等待固晶完成
50 mark++;
51 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_z, z_OPos, mark);//z軸上升
52 mark++;
53 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitEncoder, axis_z, 0, SafePos, (ushort)mark);//等待z軸走到安全位
54 mark++;
55 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_u, u_GetPos, mark);//u軸走到取晶位
56 mark++;
57 LTDMC.dmc_m_add_wait_event_data(card, group, (ushort)enumWaitEvent.WaitEncoder, axis_u, 1, test_Pos0, (ushort)mark);//等待u軸走到下降檢測位
58 mark++;
59 LTDMC.dmc_m_add_sigaxis_moveseg_data_ex(card, group, axis_z, z_GetPos, mark);//z軸走到取晶位
60 mark++;
61 i++;
62 }
63 #endregion
64 LTDMC.dmc_m_close_list(card,group);
效果對(duì)比
01
使用指令緩存的位置曲線和速度曲線圖:
指令緩存位置-時(shí)間曲線
指令緩存速度-時(shí)間曲線 滑動(dòng)查看更多》
02
普通pmove實(shí)現(xiàn)的位置曲線和速度曲線圖
普通點(diǎn)位運(yùn)動(dòng)位置-時(shí)間曲線
普通點(diǎn)位運(yùn)動(dòng)速度-時(shí)間曲線 滑動(dòng)查看更多》
由以上案例我們可以看出,使用指令緩存方式進(jìn)行10次加工只需2.381s,而使用普通的點(diǎn)位運(yùn)動(dòng)進(jìn)行10次加工需要3.296s,整整省掉了915ms!
(此數(shù)據(jù)僅代表上述用例中的輸入?yún)?shù)得出,實(shí)際現(xiàn)場加工的數(shù)據(jù)會(huì)有差異)
IC固晶機(jī)解決方案
優(yōu)勢
1.優(yōu)化指令執(zhí)行過程,減少信息交互時(shí)間,提高指令執(zhí)行效率。
2.使用指令緩存方式,使取晶和固晶動(dòng)作更流暢、柔和,實(shí)現(xiàn)更快速、精準(zhǔn)的操作。
3.數(shù)據(jù)對(duì)比顯示,使用指令緩存功能比常規(guī)單段點(diǎn)位運(yùn)動(dòng)快15%~20%。實(shí)際應(yīng)用中,工件加工速度提升至每小時(shí)15k,甚至16-17k。
—END—
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