據(jù)株洲日報官微消息，7月17日，湖南省高?？萍汲晒D(zhuǎn)化工作推進大會暨“雙高”對接活動在株洲舉行。會上舉行了全省“雙高”對接項目簽約儀式，清華大學謝志鵬教授團隊與湖南維尚科技有限公司簽訂“功率半導體用氮化硅基板燒結(jié)裝備研制”項目合作協(xié)議。此次雙方項目合作將開展功率半導體用氮化硅基板燒結(jié)裝備研制與先進科技成果轉(zhuǎn)化。
據(jù)悉，氮化硅陶瓷的理論熱導率可達到200W/|(m·K)以上，而其熱膨脹系數(shù)與芯片的熱膨脹系數(shù)相差無幾，氮化硅陶瓷基板被認為是大規(guī)?；虺笠?guī)模集成電路封裝基板材料的優(yōu)先選擇。
而燒結(jié)工藝是氮化硅陶瓷基板生產(chǎn)的關鍵技術之一，氮化硅基板燒結(jié)受到溫度、氣氛、氣壓、溫度及氣氛均勻性等的綜合影響，過程極其復雜，極易出現(xiàn)外觀均勻性、尺寸均勻性變差、成品率降低等問題，需要系統(tǒng)開展燒結(jié)工藝研究，針對國產(chǎn)原料及相應配方制定與之匹配的燒結(jié)工藝，燒結(jié)設備。
目前，氮化硅材料廣泛應用于新能源汽車、半導體、光伏、醫(yī)療器材、太陽能電池、手機底板、航空航天等領域，是這些領域的關鍵材料，也是第三代半導體碳化硅芯片最匹配的封裝材料。今年以來，氮化硅材料熱度持續(xù)上漲，已有多個項目簽約落地。
3月27日，浙江省嘉興國家高新區(qū)(高照街道)一季度重大項目集中簽約儀式舉行。其中，總投資約52億元的瓷新半導體材料總部項目計劃建設年產(chǎn)3000萬片的氮化硅基板及3000萬片氮化硅覆銅板，項目投產(chǎn)后將有效填補國內(nèi)高端氮化硅陶瓷材料產(chǎn)業(yè)空白，助推汽車功率半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
而在5月31日，總投資10億元的氮化硅材料項目簽約落地浙江嘉興桐鄉(xiāng)。該項目主要生產(chǎn)氮化硅高純粉體及其制品，其中一期項目計劃投資5億元。
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