12月28日,廣州增芯科技有限公司舉行首臺生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式。本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺,也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線項目搬入的首臺生產(chǎn)設(shè)備。
該設(shè)備的搬入,是繼項目“920封頂”以來的重要交付,標志著增芯項目一期工程土建和機電安裝已經(jīng)完工,項目由建設(shè)期正式轉(zhuǎn)入運營前的生產(chǎn)準備階段。
此前,9月20日,廣州增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園發(fā)布暨增芯項目封頂活動在增城開發(fā)區(qū)增芯產(chǎn)業(yè)項目園舉行。增芯項目,全稱為增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目。
增芯項目占地面積達370畝,分兩期建設(shè)。2022年12月,包括主廠房在內(nèi)的一期項目宣布動工,到今年9月20日主體結(jié)構(gòu)封頂,用時僅9個月零6天。
當時,增芯科技總經(jīng)理張亮透露,項目目前已轉(zhuǎn)入機電安裝階段,計劃今年12月開始設(shè)備搬入及裝機,預(yù)計2024年6月通線,2025年12月達成月產(chǎn)能2萬片目標。
據(jù)了解,增芯12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線新建項目,一期總投資70億元,項目建成后將具備年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力,產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、類工業(yè)、消費電子等領(lǐng)域,是相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)品性能表現(xiàn)的決定因素之一。
資料顯示,增芯科技是一家致力于建設(shè)國內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸智能傳感器芯片制造企業(yè),以力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片為主要產(chǎn)品。