全球各個經(jīng)濟體研發(fā)無需光刻機的工藝,在于當下的光刻機實在太貴了,第一代EUV光刻機的價格達到1.2億美元,第二代EUV光刻機達到4億美元,昂貴的芯片制造設(shè)備正在快速推高芯片制造的成本。
此前臺積電曾計劃量產(chǎn)的3nm工藝最終沒有一個客戶接受,除了該工藝量產(chǎn)時間晚、性能不達標之外,還在于它的成本太高了,之前愿意采用該工藝的客戶僅有Intel和蘋果;至于三星的3nm工藝則沒有公開客戶,普遍認為采用了三星3nm工藝客戶規(guī)模也不會太大。
如此情況下,芯片行業(yè)已開始探索無需光刻機的芯片制造工藝,進而降低芯片制造的成本。日本無疑是開創(chuàng)者,日本開發(fā)的NIL工藝已投入實際生產(chǎn),被鎧俠用于生產(chǎn)存儲芯片,近期日本方面宣布NIL工藝已推進至10nm以下,預(yù)計NIL工藝可以推進至5nm。
如今美國的Zyvex也宣布推出了無需光刻機的芯片制造工藝,意味著通過技術(shù)變革是可以在當前以光刻機作為主要芯片制造設(shè)備的工藝有更多途徑,尤為可喜的是Zyvex的工藝可以做到比以ASML的第二代EUV光刻機所能達到的1.8nm更先進,這可能會要了ASML的命。
其實ASML稱霸光刻機市場也不過是自2008年開始,此前光刻機市場的兩強是日本的佳能和尼康,ASML通過與臺積電研發(fā)浸潤式光刻機,共同取得了巨大的成功,ASML成為光刻機市場的老大,臺積電則在芯片制造工藝居于全球領(lǐng)先水平,而日本的佳能和尼康則迅速衰落。
ASML的崛起其實也證明了技術(shù)的變革可以迅速成就一家企業(yè),當然也會導(dǎo)致原來的贏家迅速衰落,同樣的如今隨著芯片制造技術(shù)的變革,那么ASML也是有可能迅速衰落的,正所謂后浪推前浪,前浪死在沙灘上。
ASML發(fā)展的浸潤式的光刻機如今也已有近20年時間了,這近20年時間,ASML一直沿著浸潤式光刻機的方向發(fā)展,并未有取得新的技術(shù)變革,然而正如上所述延續(xù)這條技術(shù)路線,導(dǎo)致芯片制造工藝的成本越來越高,到如今已經(jīng)高到太多芯片企業(yè)已無法承受的地步。
日本研發(fā)NIL工藝和美國Zyvex研發(fā)的無需光刻機的芯片制造工藝,意味著全球芯片制造技術(shù)又已經(jīng)到了變革的前夜,隨著新的芯片制造技術(shù)到來,ASML的光刻機業(yè)務(wù)或許也就到了終結(jié)的時候了,ASML或許也將迅速步佳能和尼康的后塵而衰落。
日本研發(fā)NIL工藝和美國Zyvex研發(fā)先進工藝,對于中國芯片制造業(yè)來說無疑是重大啟發(fā),意味著推進無需光刻機的制造工藝正日益成熟,中國完全可以撇開ASML研發(fā)類似的無需光刻機的工藝,一旦中國取得成功,那么中國芯片制造業(yè)將可以實現(xiàn)彎道超車,這或許會讓ASML瑟瑟發(fā)抖吧。