腦洞大開,微波爐居然能制作2nm芯片?

時間:2022-09-14

來源:量子位

導(dǎo)語:微波爐成制作2納米芯片的關(guān)鍵技術(shù)。

  沒錯,就是廚房里的那個微波爐。

  康奈爾大學(xué)的研究團隊改進了家用微波爐,使用微波的方法對芯片進行加工處理,還稱這有可能使臺積電和三星等領(lǐng)先制造商的芯片縮小到僅2納米。

  目前相關(guān)研究成果已發(fā)表在《應(yīng)用物理快報》上:

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  具體如何,一起來看看吧。

  在此之前,先簡單了解下是什么限制了2nm芯片的制作。

  芯片上會有很多個晶體管,在晶體管的內(nèi)部,電流會從起始端(源極)流向終點(漏極)。

  在這個過程中,電流會經(jīng)過一個閘門(柵極),而柵極的寬度正是平時所說的芯片尺寸。

  但隨著制程技術(shù)的發(fā)展,柵極的寬度越來越小,源極和漏極之間的距離也越來越近。

  這就會導(dǎo)致源、漏兩極的電場對柵極產(chǎn)生干擾,進而使得柵極對電流的控制能力大大下降,也就是出現(xiàn)短溝道效應(yīng)。

  而解決短溝道效應(yīng)很大程度上就是在芯片材料和工藝上下功夫,其中的一個辦法就是提高器件溝道摻雜濃度。

  具體來說,就是通過在芯片材料中摻雜大量的其他原子,然后對其進行退火來激活摻雜的原子。

  比如說,將磷原子摻雜至硅中,然后對這個混合物進行加熱退火,提高磷原子的平衡濃度,也就是說激活磷原子在硅中的活性,進而提高其電流傳導(dǎo)能力。

  但提高摻雜濃度并不是一件易事。

  傳統(tǒng)的提高平衡濃度的加熱退火方法目前已經(jīng)達到了極限,若要再提高,可能會導(dǎo)致硅晶體膨脹。

  傳統(tǒng)的方法行不通,只能另尋他路。

  這不,康奈爾大學(xué)研究人員提出了一種新的提高磷的平衡濃度的方法:微波技術(shù)。

  在此之前,臺積電就已經(jīng)做出過微波可以激活多余的摻雜物的推測。

  但微波有一個很大的弱點,就是駐波的存在,它不傳導(dǎo)能量,會阻礙材料中摻雜物的持續(xù)激活。

  那這么說,只要解決“駐波”這個問題,一切就都迎刃而解了。

  的確如此,臺積電與康奈爾大學(xué)的黃哲倫合作,一起改進了微波爐,使微波爐在工作過程中產(chǎn)生的駐波能夠被有效控制。

  這樣一來,便能夠有選擇地控制駐波發(fā)生的時間,使得芯片材料中所摻雜的原子能夠被適當(dāng)激活,并且不會出現(xiàn)過度加熱損壞晶體的狀況。

  除此之外,使用微波技術(shù)提高摻雜濃度,可能也會改變芯片中使用的晶體管的幾何形狀。

  鰭式場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)已經(jīng)存在20多年了,而微波退火使得一種新的晶體管結(jié)構(gòu)成為可能,在這種結(jié)構(gòu)中,晶體管作為納米片水平疊加,可以進一步增加晶體管的密度和控制。

  值得一提的是,黃哲倫還對這項技術(shù)做出預(yù)測:

  這一技術(shù)可能用于生產(chǎn)出現(xiàn)在2025年左右的半導(dǎo)體材料和電子產(chǎn)品。

  并且,他也與博士后詹盧卡 · 法比(Gianluca Fabi)共同申請了微波退火器的兩項專利。

  但對于微波技術(shù)能不能稱得上是制作2nm芯片的關(guān)鍵技術(shù),有網(wǎng)友發(fā)表了自己的意見。

  基本上,他們改進了制造芯片的許多步驟之一。但這并不是芯片尺寸的步驟,相反,它只是一個準(zhǔn)備步驟,以供其他步驟更好地運行。

  對于微波技術(shù),你覺得它稱得上是2nm芯片的突破關(guān)鍵嗎?


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