近日，浙江嘉興南湖高新區(qū)微電子產(chǎn)業(yè)又添一員“猛將”，由半導(dǎo)體行業(yè)資深人士張汝京博士負(fù)責(zé)，總投資30億元的光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目正式簽約落地嘉興科技城(南湖高新區(qū))。

　　項(xiàng)目計(jì)劃于今年9月啟動(dòng)，2023年4月第一條生產(chǎn)線試生產(chǎn)，2024年1月正式投產(chǎn)，2026年1月達(dá)產(chǎn)。

　　01

　　張汝京二投光罩廠

　　據(jù)“南湖晚報(bào)”報(bào)道，該項(xiàng)目總投資30億元，首期投資11億元，將落戶于南湖高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園。

　　項(xiàng)目主要從事光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)制造，產(chǎn)品包括高平整度石英基板、鍍膜基板(含二元及相位移的)、保護(hù)膜等光罩產(chǎn)業(yè)鏈上游“卡脖子”的原材料。

　　值得一提的是，這并非張汝京建設(shè)的首座光罩廠。2018年，由張汝京博士主導(dǎo)了青島芯恩集成電路產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。

　　據(jù)悉，該項(xiàng)目總投資約150億元，其中一期總投資約78億元，新建8英寸和12英寸集成電路生產(chǎn)線，光掩膜版生產(chǎn)線，芯片測(cè)試廠。2021年8月，青島芯恩正式宣布8英寸廠投片成功，光罩廠也于同期完成了產(chǎn)品交付。

　　02

　　光罩市場(chǎng)集中度高

　　光罩也稱為光掩模版，主要應(yīng)用于平板顯示、半導(dǎo)體、觸控和電路板的制造過(guò)程，在IC制造過(guò)程中，其作用是將設(shè)計(jì)好的電路進(jìn)行顯影，將圖形投影在晶圓上，利用光刻技術(shù)進(jìn)行蝕刻，是半導(dǎo)體光刻工藝中所需的高精密工具。

　　當(dāng)前，在5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)快速壯大的拉動(dòng)下，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)蓬勃發(fā)展，光罩作為芯片的關(guān)鍵原材料，市場(chǎng)需求正不斷上升。

　　從全球范圍來(lái)看，目前掩膜版行業(yè)主要系國(guó)際廠商，有日本的SKE、HOYA、DNP、Toppan、韓國(guó)的LG-IT、美國(guó)的福尼克斯、中國(guó)臺(tái)灣的臺(tái)灣光罩等，行業(yè)集中度高。

　　總體來(lái)看，由于行業(yè)技術(shù)門(mén)檻較高，且國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)起步較晚，掩膜版行業(yè)已經(jīng)形成了美日韓企業(yè)壟斷的市場(chǎng)格局，國(guó)內(nèi)光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈部分產(chǎn)品依賴進(jìn)口。

　　03

　　解決半導(dǎo)體材料“卡脖子”問(wèn)題

　　盡管目前我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體芯片掩膜版制造能力還較為薄弱，掩膜版仍依賴海外生產(chǎn)商。但近年來(lái)，隨著平板顯示、半導(dǎo)體、觸控等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)口替代浪潮呼聲越來(lái)越高，國(guó)內(nèi)掩膜版廠商以此為契機(jī)發(fā)展迅速。

　　當(dāng)前，國(guó)內(nèi)規(guī)模型光罩廠主要以兩種形式存在，一是以中芯國(guó)際和華潤(rùn)微為代表的半導(dǎo)體廠自建的光罩廠，二是以路維光電、清溢光電和中微掩模等為代表的獨(dú)立光罩廠。

　　例如，中芯國(guó)際曾在招股書(shū)中提到，公司擁有目前中國(guó)大陸最大、最先進(jìn)的光掩模制造設(shè)施，可生產(chǎn)0.35微米到14納米各技術(shù)節(jié)點(diǎn)的光掩模產(chǎn)品;華潤(rùn)微電子旗下負(fù)責(zé)掩模制造的企業(yè)無(wú)錫迪思微電子可為客戶提供Frame、IP Merge、OPC等專項(xiàng)服務(wù)，能生產(chǎn)二元光罩、移相光罩、灰階光罩等產(chǎn)品。

　　獨(dú)立光罩廠方面，清溢光電和路維光電的均已成功登陸A股市場(chǎng);而中微掩模則可提供0.35～0.13μm，5英寸、6英寸二元光罩和6英寸相移光罩。

　　張汝京表示，光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目旨在成為國(guó)內(nèi)光罩上游材料龍頭，解決國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料“卡脖子”問(wèn)題。