受美制裁后,俄羅斯竟要開(kāi)造先進(jìn)制程光刻機(jī)

時(shí)間:2022-04-12

來(lái)源:21ic電子網(wǎng)

導(dǎo)語(yǔ):被美國(guó)全方位芯片制裁后,俄羅斯竟然要開(kāi)造先進(jìn)制程光刻機(jī)了!

  是的,就是那個(gè)芯片制造中最最最核心的設(shè)備(甚至沒(méi)有之一),全球僅一家公司ASML有能力生產(chǎn)最先進(jìn)EUV級(jí)別,一臺(tái)能賣好幾億元、核心技術(shù)被美國(guó)壟斷的光刻機(jī)。

  而且,這次俄羅斯的計(jì)劃,看起來(lái)有點(diǎn)像那么回事——

  有人、有錢、有目標(biāo)。

  人,項(xiàng)目由有著蘇聯(lián)硅谷中心之稱、以微電子專業(yè)見(jiàn)長(zhǎng)的俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院 (MIET)承接。

  錢,首期投資6.7億盧布資金。

  目標(biāo),挑戰(zhàn)當(dāng)前最先進(jìn)的EUV(極紫外)級(jí)別。

  但即便如此,因?yàn)橹圃旃饪虣C(jī)登天之難、以及俄羅斯的資源儲(chǔ)備,網(wǎng)友們對(duì)這個(gè)消息并不太信:

  確定不是個(gè)玩笑?!

  巧的是,就在這消息放出前一天,俄羅斯最大芯片制造商Mikron被美國(guó)制裁。更早之前,俄羅斯為數(shù)不多的其他幾家芯片廠也已經(jīng)全方位被制裁。

  所以現(xiàn)在的俄羅斯芯片,到底什么水平?真的能有底氣搞出先進(jìn)制程光刻機(jī)嗎?

  無(wú)掩膜X射線光刻機(jī)?

  我們先來(lái)看看計(jì)劃本身的難度如何。

  據(jù)俄媒報(bào)道,俄羅斯工貿(mào)部委托MIET開(kāi)發(fā)“一種無(wú)掩膜X射線光刻機(jī)”,跟日常我們提到的EUV光刻機(jī)還有點(diǎn)不同。

  首先的不同在于光源的選擇。

  一種是極紫外光線,波長(zhǎng)在13.5nm;而X射線波長(zhǎng)介于0.01nm到10nm之間。

  按照現(xiàn)有的常見(jiàn)思路,光刻機(jī)是特定波長(zhǎng)的光透過(guò)用來(lái)放大的掩膜,再通過(guò)透鏡的縮小,將集成電路圖精確“投影”在硅片上。

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