伴隨著自動(dòng)化改造熱潮的興起，AGV+機(jī)械手集“手腳”兩項(xiàng)功能于一身的復(fù)合型機(jī)器人也越來越被各行業(yè)追捧。從行業(yè)需求上來看，汽車和半導(dǎo)體等電子設(shè)備對機(jī)器人的需求日益增長，其中復(fù)合機(jī)器人成為半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較為成熟的智能設(shè)備。

伴隨著自動(dòng)化改造熱潮的興起，AGV+機(jī)械手集“手腳”兩項(xiàng)功能于一身的復(fù)合型機(jī)器人也越來越被各行業(yè)追捧。從行業(yè)需求上來看，汽車和半導(dǎo)體等電子設(shè)備對機(jī)器人的需求日益增長，其中復(fù)合機(jī)器人成為半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較為成熟的智能設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè)對機(jī)器人的應(yīng)用要求

半導(dǎo)體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域，在這些領(lǐng)域當(dāng)中又有著很多復(fù)雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運(yùn)輸?shù)鹊?。機(jī)器人進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機(jī)器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對極為細(xì)微的器件需要高度精準(zhǔn)地定位、放置和組裝。

半導(dǎo)體行業(yè)對工業(yè)機(jī)器人的要求十分嚴(yán)格，在真空環(huán)境下，要保證機(jī)器人的潔凈度，因?yàn)榘雽?dǎo)體產(chǎn)品的特殊性，還要求機(jī)器人防震，防抖動(dòng)，靜音生產(chǎn)，能夠有精準(zhǔn)到5mm的重復(fù)定位等等。

復(fù)合型機(jī)器人在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

復(fù)合型機(jī)器人作為新型物流設(shè)備，柔性程度高，適應(yīng)能力強(qiáng)，融合了智能驅(qū)動(dòng)導(dǎo)航技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)物料的自動(dòng)搬運(yùn)、智能分揀，已廣泛應(yīng)用在國際知名半導(dǎo)體行業(yè)中，并取得了較好應(yīng)用效果。

根據(jù)中國移動(dòng)機(jī)器人（AGV）產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、新戰(zhàn)略機(jī)器人產(chǎn)業(yè)研究所數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前全球半導(dǎo)體行業(yè)中AGV和機(jī)械手組合的復(fù)合型機(jī)器人的應(yīng)用已經(jīng)達(dá)到約5000臺(tái)，松下、西門子、富士通、環(huán)旭電子、華通科技、晶元光電等半導(dǎo)體企業(yè)，都將相關(guān)的AGV機(jī)器人應(yīng)用到了生產(chǎn)中。

在半導(dǎo)體行業(yè)中AGV移動(dòng)機(jī)器人應(yīng)用最普遍，AGV傳送自動(dòng)化也是傳送系統(tǒng)自動(dòng)化的一項(xiàng)內(nèi)容，它已成為了現(xiàn)代化半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中最大的單項(xiàng)投資項(xiàng)目。

移動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人（AGV）為半導(dǎo)體產(chǎn)品提供物流支持，可以實(shí)現(xiàn)車間內(nèi)、車間與車間的自由移動(dòng)。物流設(shè)備自動(dòng)化通常和傳統(tǒng)流水線，自動(dòng)立體庫，AGV小車等其他傳送相關(guān)的執(zhí)行器，包括如何將其運(yùn)送到工藝設(shè)備端或者在不同的存儲(chǔ)區(qū)域之間進(jìn)行調(diào)度，以及晶片在工藝設(shè)備內(nèi)部的傳送（包括物料緩沖區(qū)，裝載端口，晶片傳送機(jī)械手臂等）。

半導(dǎo)體加工環(huán)境要求在其內(nèi)運(yùn)行的設(shè)備需要具有高潔凈等級、防靜電、高可靠性等特點(diǎn)。所以在IC環(huán)境下所用的復(fù)合機(jī)器人在滿足基本搬運(yùn)要求的同時(shí)還要兼顧上述特點(diǎn)。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中，AGV移動(dòng)機(jī)器人的輪子要符合標(biāo)準(zhǔn)，調(diào)控必須便利，還必須是無軌導(dǎo)航。這樣一系列的高標(biāo)準(zhǔn)讓不少機(jī)器人企業(yè)望而卻步，但從另一個(gè)角度看，這說明半導(dǎo)體行業(yè)“門檻較高”，這也給復(fù)合機(jī)器人企業(yè)的進(jìn)入設(shè)定了一定的條件。

新松為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的真空機(jī)器人及復(fù)合機(jī)器人

潔凈（真空）機(jī)器人及半導(dǎo)體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一，現(xiàn)已形成大氣機(jī)械手、真空機(jī)械手、EFEM、真空平臺(tái)、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個(gè)產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺(tái)灣地區(qū)。

目前，新松潔凈機(jī)器人已徹底打破國外同類企業(yè)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的壟斷局面，擁有國內(nèi)市場50%以上份額。

新松復(fù)合機(jī)器人基于移動(dòng)機(jī)器人和工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補(bǔ)償、力覺控制、碰撞保護(hù)和主動(dòng)導(dǎo)航等技術(shù)，可快速布局自動(dòng)化工廠，適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP,CST,MGZ在各機(jī)臺(tái)間的自動(dòng)運(yùn)輸，終端定位精度可達(dá)±0.05mm，CLASS100潔凈度，能為半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。

目前，新松的復(fù)合機(jī)器人在半導(dǎo)體行業(yè)也有大量應(yīng)用。