據(jù)外媒報(bào)道，軟件開發(fā)商魯?shù)婪颍≧udolphTechnologies）日前表示，已經(jīng)收到了來自中國(guó)第二個(gè)客戶的JetStepG光刻系統(tǒng)訂單，用于下一代有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極管（AMOLED）顯示器的試產(chǎn)線生產(chǎn)。
RudolphTechnologies公司營(yíng)銷副總裁ElvinodaSilveira表示：“AMOLED面板市場(chǎng)目前正在快速增長(zhǎng)，事實(shí)上，UBIResearch預(yù)計(jì)到2020年該市場(chǎng)將每年增長(zhǎng)近40%。目前越來越多的公司通過開發(fā)自己的知識(shí)產(chǎn)權(quán)進(jìn)入這個(gè)市場(chǎng)，特別是在中國(guó)?！?/P>
由于性能和外形尺寸，AMOLED顯示器在智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備中的應(yīng)用增長(zhǎng)速度很快。JetStepG光刻系統(tǒng)通過提供更精細(xì)的分辨率和更緊密的疊加層來滿足AMOLED顯示器對(duì)更高性能晶體管的要求。此外，專有的實(shí)時(shí)放大倍率補(bǔ)償和自動(dòng)對(duì)焦功能可實(shí)現(xiàn)柔性襯底光刻。
daSilveira指出：“客戶繼續(xù)投資于Rudolph獨(dú)特的光刻解決方案，用于其研發(fā)和試生產(chǎn)線，因?yàn)樗軌蚋p松、更低成本地驗(yàn)證各種新工藝。JetStep系統(tǒng)在具有高水平的產(chǎn)品更換和降低成本的試產(chǎn)線環(huán)境中特別有用。例如，JetStep面罩套件是用于基于掃描儀的光刻工具的掩模組的成本的一小部分，使其成為新產(chǎn)品開發(fā)的理想選擇。”
魯?shù)婪蚴且患覟榘雽?dǎo)體和先進(jìn)封裝設(shè)備制造商提供缺陷檢測(cè)、光刻、過程控制計(jì)量和過程控制軟件的開發(fā)商。（文/Oscar譯）
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