多晶硅工藝提高后，完全能夠?qū)崿F(xiàn)清潔生產(chǎn)。產(chǎn)業(yè)發(fā)展初期，生產(chǎn)規(guī)模小，副產(chǎn)物處理技術(shù)不完善，部分副產(chǎn)四氯化硅通過水解及貯存等簡(jiǎn)單的處理方式，給行業(yè)帶來負(fù)面影響。
伴隨產(chǎn)業(yè)規(guī)模擴(kuò)大，簡(jiǎn)單的副產(chǎn)物處理方式已不能適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)需要，為降低生產(chǎn)成本，實(shí)現(xiàn)安全環(huán)保生產(chǎn)，以中硅高科為代表的企業(yè)深入研究四氯化硅氫化技術(shù)，將其轉(zhuǎn)化為原料三氯氫硅，實(shí)現(xiàn)了多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的閉路循環(huán)，以此降低多晶硅生產(chǎn)成本。
實(shí)際上，四氯化硅既是多晶硅生產(chǎn)的主要副產(chǎn)物，也是多晶硅生產(chǎn)原料的主要來源之一。近幾年，隨著四氯化硅冷氫化等技術(shù)研發(fā)與推廣，實(shí)現(xiàn)了將多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的95%的副產(chǎn)物四氯化硅氫化轉(zhuǎn)化為三氯氫硅原料，剩余約5%含雜質(zhì)四氯化硅經(jīng)提純后用于生產(chǎn)氣相白炭黑或其他有機(jī)硅產(chǎn)品，真正做到物料閉式循環(huán)利用，既有效解決了副產(chǎn)物處理難題，也降低了生產(chǎn)成本，消除了四氯化硅的污染隱患。
多晶硅“三廢”處理措施事實(shí)上，多晶硅生產(chǎn)的“三廢”成分簡(jiǎn)單，處理容易。多晶硅還原尾氣主要含有氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等成分;廢水為廢氣淋洗水、純水制備排水等，含鹽酸，呈酸性;廢渣為硅粉、二氧化硅、石灰石渣等，無害、不溶，屬一般固體廢物。
通過用水或堿性水對(duì)廢氣進(jìn)行淋洗，利用氯硅烷極易水解和酸堿中和的原理，將廢氣中的主要成分水解成二氧化硅和鹽酸，鹽酸與堿反應(yīng)形成中性水，進(jìn)一步處理后達(dá)標(biāo)排放;二氧化硅通過壓濾固化后運(yùn)至政府指定垃圾場(chǎng)或填坑鋪路。
氫化技術(shù)取得突破是形成多晶硅生產(chǎn)過程物料封閉循環(huán)的基礎(chǔ)，現(xiàn)在國(guó)內(nèi)大部分千噸級(jí)規(guī)模的工廠都有“尾氣干法回收”系統(tǒng)，環(huán)境影響評(píng)價(jià)和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)完善，不存在“高排放”。
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