共敘“芯”未來

　　活動伊始，江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會 執(zhí)行顧問于燮康首先致辭祝本次論壇活動 圓滿成功，他指出，盡管2023、2024年 全球半導(dǎo)體市場仍然處于產(chǎn)業(yè)周期性下行 的底部位置，但AI人工智能、汽車電子等 細(xì)分市場取得了較為明顯的成長。在中 國部分，2023年整體半導(dǎo)體市場保持平 穩(wěn)增長，特別是半導(dǎo)體設(shè)備市場呈現(xiàn)出逆勢上升的勢頭，據(jù)統(tǒng)計，2023年中國 半導(dǎo)體設(shè)備的總體銷售收入同比增長達(dá) 89.4%。江蘇是目前全國集成電路產(chǎn)業(yè)的 重要基地，無錫更是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的聚 集地。2023年，江蘇省集成電路設(shè)計、 制造、封測三大產(chǎn)業(yè)銷售收入合計超過 3200億元，同比增長約2%，產(chǎn)業(yè)規(guī)?？? 量保持全國前列，其中，半導(dǎo)體設(shè)備和材 料市場的銷售增長尤為突出。

　　由于以前大部分國內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)面 向的都是海外客戶，使得在早期半導(dǎo)體設(shè) 備的大批量采購中，國產(chǎn)設(shè)備的應(yīng)用比 例非常低，而在產(chǎn)業(yè)格局發(fā)生巨大變化的 今天，保障供應(yīng)鏈安全和建設(shè)自主可控的 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈已成為國家重要的發(fā)展戰(zhàn)略 之一，半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化率正在逐步提 高，這也為中國設(shè)備、零部件、材料等行 業(yè)企業(yè)帶來了巨大的利好機(jī)遇。零部件是半導(dǎo)體設(shè)備的核心和基礎(chǔ)，涉及的種類繁多，精密零部件的技術(shù) 突破、品質(zhì)可靠性直接關(guān)系到半導(dǎo)體設(shè)備的精度和穩(wěn)定性，也影 響到半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)效率、制造成本和使用壽命，同時也支撐 著半導(dǎo)體工藝持續(xù)朝著高精尖方向發(fā)展。

　　直驅(qū)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長單位、美的高創(chuàng)營銷中心總監(jiān)肖強在演講中對新質(zhì)生產(chǎn)力如何促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展闡述了自己的觀 點，他認(rèn)為，每一家企業(yè)都應(yīng)當(dāng)根據(jù)國家既定戰(zhàn)略規(guī)劃，將創(chuàng)新 成熟的產(chǎn)品和技術(shù)通過技術(shù)轉(zhuǎn)移應(yīng)用于各個產(chǎn)業(yè)，高創(chuàng)傳動專心 于核心零部件產(chǎn)業(yè)，垂直整合技術(shù)，創(chuàng)造新賽道。雖然高創(chuàng)已經(jīng) 積累了大量底層的應(yīng)用經(jīng)驗，但如何更好地促進(jìn)中國半導(dǎo)體行業(yè) 發(fā)展，仍然需要和上下游企業(yè)共同協(xié)作，緊密聯(lián)系，共創(chuàng)良好生 態(tài)，才能真正幫助國內(nèi)關(guān)鍵制程設(shè)備實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。

　　此次論壇由奧茵紳智能裝備(蘇州)有限公司總經(jīng)理耿新紅主持，當(dāng)天多位直驅(qū)電機(jī)企業(yè)、半導(dǎo)體設(shè)備廠商及協(xié)會、專家發(fā) 表精彩演講，共同探討直驅(qū)技術(shù)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)如何創(chuàng)新融入。

　　哈爾濱工業(yè)大學(xué)劉凱鑫博士介紹了其團(tuán)隊在超精密光刻技術(shù) 研發(fā)及光刻裝備相關(guān)項目的進(jìn)展情況;在譚久彬院士的帶領(lǐng)下， 該團(tuán)隊專注于運動臺技術(shù)和超精密測量與基準(zhǔn)技術(shù)的研究，通過 項目應(yīng)用，針對高端裝備在控制方法的三大核心技術(shù)難點展開攻 關(guān)：一是高速度、高加速度、高定位精度的兼顧;二是全耦合多 自由度運動體的協(xié)同控制;三是結(jié)構(gòu)模態(tài)與控制帶寬的矛盾等。 對此，哈工大團(tuán)隊提出了四個具有自主知識產(chǎn)權(quán)的技術(shù)，包括：高動態(tài)運動軌跡生成與整形技術(shù);多自由度高精充智能解耦技 術(shù);面向多源重復(fù)性擾動的迭代學(xué)習(xí)技術(shù);面向柔性運動臺的冗 余驅(qū)動技術(shù)等。

　　昆山潤石智能科技有限公司CEO李安東詳細(xì)介紹了當(dāng)前全 球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的整體市場趨勢、技術(shù)發(fā)展路徑，并分析了中國半 導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)如何能夠在其中找到發(fā)展的機(jī)遇。他認(rèn)為在半導(dǎo) 體市場快速發(fā)展的階段，國產(chǎn)化建設(shè)將迎來三大機(jī)會，同時也存 在著兩大潛在機(jī)會和兩大挑戰(zhàn)，三大機(jī)會包括：薄膜沉積和刻蝕 設(shè)備的需求量會隨著制程進(jìn)步、結(jié)構(gòu)三維立體化而有所增加;先 進(jìn)封裝邁向系統(tǒng)整合并重塑產(chǎn)業(yè)鏈格局;先進(jìn)封裝實現(xiàn)高密度互 聯(lián)，效能提升。兩大潛在機(jī)會是：面積使用率與成本優(yōu)勢，扇出 型封裝延伸至面板級載體;“出?！盇PT東南亞及海外半導(dǎo)體供應(yīng) 鏈轉(zhuǎn)移趨勢。兩大挑戰(zhàn)有：移位帶來的良率挑戰(zhàn);以及較大的載 體面積和較厚的載體造成嚴(yán)重的翹曲問題。

　　無錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司標(biāo)準(zhǔn)化部門郗曉慧介紹了 全球電動汽車發(fā)展趨勢及汽車電池制造裝備的現(xiàn)狀與前景，并針 對伺服技術(shù)所面臨的機(jī)遇與挑戰(zhàn)進(jìn)行了闡述。他認(rèn)為，國內(nèi)電動 汽車產(chǎn)業(yè)已呈現(xiàn)供過于求狀態(tài)，而歐美地區(qū)的電動汽車滲透率 不高，所以市場增長仍有巨大空間，這也給國內(nèi)電動汽車電池企 業(yè)提供了更多的機(jī)遇。就伺服驅(qū)動器而言，無論是在圓柱電池還 是方殼鋁型電池設(shè)備市場上，目前700W以下伺服系統(tǒng)的占比高 達(dá)70-80%，但對于歐美市場依然還存在以下挑戰(zhàn)：750W驅(qū)動器電壓等級不匹配;驅(qū)動器安裝空間需增加40%，可以運用高空間 利用率驅(qū)動器設(shè)計方案，即降低槽滿率和電柜空間;提升設(shè)計效 率;提升施工效率這三個方法來解決上述問題。

　　高創(chuàng)傳動科技開發(fā)(深圳)有限公司產(chǎn)品經(jīng)理宋寧一表示， 在中國半導(dǎo)體行業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下，高性能驅(qū)控技術(shù)成為了加速 設(shè)備性能飛躍的關(guān)鍵引擎，高性能、微型化、高集成度的驅(qū)控 技術(shù)可以幫助實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備速度與精度的幾何級提升。高創(chuàng) 憑借HD算法、振動抑制及基于頻域分析多項式控制等三大核心 技術(shù)，為半導(dǎo)體制造行業(yè)帶來了革命性變革。高創(chuàng)運動控制解決 方案在半導(dǎo)體行業(yè)被廣泛應(yīng)用，涵蓋6寸半自動劃片機(jī)、晶圓切 割、固晶機(jī)等多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，不僅顯著提升了生產(chǎn)速度與精度， 更確保了半導(dǎo)體制造過程的高效穩(wěn)定，推動了半導(dǎo)體設(shè)備性能的 幾何級飛躍。

　　PI普愛納米位移技術(shù)(上海)有限公司產(chǎn)品市場經(jīng)理凌平介紹了目前公司重點關(guān)注于四個方面的發(fā)展：數(shù)字化、生命科學(xué)、 自動化及科學(xué)發(fā)展。從晶圓級到芯片封裝，PI可提供整個價值鏈 的運動控制平臺及解決方案。他重點介紹了在PI常州工廠生產(chǎn)的 MetroTM半導(dǎo)體晶圓檢測運動平臺，它可以靈活、輕松地進(jìn)行自動 控制，其XY軸可進(jìn)行精密步進(jìn)和穩(wěn)定運動;θ軸可對晶圓或基板 的精密旋轉(zhuǎn)分度和對準(zhǔn);Z軸可進(jìn)行精密晶圓對準(zhǔn)。

　　在接下來的圓桌對話環(huán)節(jié)，本次活動特別邀請到中國半導(dǎo)體 行業(yè)協(xié)會集成電路分會副秘書長阮舒拉、直驅(qū)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長單 位/美的高創(chuàng)營銷中心總監(jiān)肖強、哈爾濱工業(yè)大學(xué)劉凱鑫博士、 昆山潤石智能科技有限公司CEO李安東、無錫先導(dǎo)智能裝備股份 有限公司標(biāo)準(zhǔn)化部門郗曉慧，以及蘇州直為精驅(qū)控制技術(shù)有限公 司總經(jīng)理劉吉柱，共同圍繞直驅(qū)技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用趨勢以及國產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)等熱點議題，分享了各自的看法及觀 點，現(xiàn)場氣氛熱烈。

　　嘉賓們表示，面對國內(nèi)半導(dǎo)體市場快速發(fā)展需求，直驅(qū)技 術(shù)有了更多的應(yīng)用場景，但還存在供應(yīng)鏈上下游信息不通暢的情 況，直驅(qū)企業(yè)需要深入了解設(shè)備企業(yè)需求及市場定位，加大研發(fā) 投入，優(yōu)化企業(yè)供應(yīng)鏈，重視精益生產(chǎn)，強化售后服務(wù)及持術(shù)支 持;另外政府、協(xié)會、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟可以為半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)與直驅(qū)企 業(yè)起到牽線搭橋的作用，助力國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展。

　　直驅(qū)技術(shù)的應(yīng)用與旋轉(zhuǎn)電機(jī)技術(shù)相比還有一定差距，提高 產(chǎn)品力是關(guān)鍵因素，半導(dǎo)體是一個綜合性技術(shù)很強的產(chǎn)業(yè)，如何 讓研發(fā)成果商業(yè)化落地，需要通過長時間技術(shù)積淀，取長補短。 技術(shù)創(chuàng)新的源頭是人才儲備，頭部企業(yè)如何發(fā)揮引領(lǐng)作用，將 海外優(yōu)秀的技術(shù)與人才引進(jìn)國內(nèi)，而高校作為人才培養(yǎng)的基地， 目前很多院校也在設(shè)置多學(xué)科培養(yǎng)復(fù)合型人才體系，通過推行導(dǎo) 師制，指導(dǎo)學(xué)生參與項目，不致與市場脫節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)要形成 良好的生態(tài)環(huán)境，需要產(chǎn)學(xué)研投共同協(xié)作，整合各自優(yōu)勢抱團(tuán)取 暖，才能有更多發(fā)展機(jī)會，齊力促進(jìn)國產(chǎn)化進(jìn)程。

　　共謀“芯”發(fā)展

　　艾羅德克運動控制技術(shù)(上海)有限公司中國區(qū)銷售經(jīng)理鐘虎華介紹了目前半導(dǎo)體設(shè)備在技術(shù)開發(fā)上存在的瓶頸主要表現(xiàn)在 精度、動態(tài)性、穩(wěn)定性和可靠性等方面，半導(dǎo)體制造的過程由IC設(shè)計、硅晶圓片制造、前道工序(晶圓制造、晶圓測試)、后道 工序(封裝、測試以及成品入庫)所組成。相對于機(jī)械平臺，氣 浮平臺更適用于平面度要求高、低速穩(wěn)定性要求高、負(fù)載輕、速 度較低等的高精度檢測設(shè)備、光波導(dǎo)刻寫設(shè)備等場合。

　　蘇州直為精驅(qū)控制技術(shù)有限公司總經(jīng)理劉吉柱針對晶圓片 (硅片)制造工藝流程方面，分別介紹直驅(qū)電機(jī)在硅片倒角設(shè) 備、硅片CMP拋光設(shè)備、硅片清洗設(shè)備、硅片外延設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng) 用。在IC制造(前道工序)工藝流程方面，直驅(qū)電機(jī)在IC制造光 刻設(shè)備、IC制造機(jī)械手、IC 制造量測設(shè)備中發(fā)揮著重要的作用。 在IC封測(后道工序)工藝流程方面，直驅(qū)電機(jī)在IC封測切片設(shè) 備、IC 封測晶圓缺陷檢測設(shè)備、IC封測固晶機(jī)焊線設(shè)備中也被大 量應(yīng)用。

　　蘇州盛拓半導(dǎo)體科技有限公司產(chǎn)品總監(jiān)季漢川介紹了半導(dǎo)體 生產(chǎn)自動化過程中晶圓傳輸機(jī)械手的運作情況，并對其開發(fā)“痛 點”和國產(chǎn)替代趨勢所遇到的難點做了分析，晶圓傳輸機(jī)器人是 半導(dǎo)體制造裝備中使用最多的機(jī)器人設(shè)備，其性能對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 的發(fā)展至關(guān)重要。它需要具備高可靠性、高速度和平穩(wěn)無振動傳 輸晶圓的特性。目前，晶圓裝載裝置、晶圓搬運機(jī)器人和預(yù)對準(zhǔn) 機(jī)構(gòu)都在逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代，但電機(jī)、運動控制功放板卡、精密 部件等仍受到國外技術(shù)封鎖的影響，因此提高系統(tǒng)底層硬件的自 主性也將是國產(chǎn)化建設(shè)的一個關(guān)鍵。

　　奧茵紳智能裝備(蘇州)有限公司銷售總監(jiān)樂志勇表示，在全球半導(dǎo)體市場將迎來復(fù)蘇之時，將會在以下幾個領(lǐng)域迎來較 大的增長空間：AI帶動的數(shù)據(jù)中心、服務(wù)器;新能源領(lǐng)域帶來光 通訊、功率器件等;MLED批量化應(yīng)用等。國產(chǎn)設(shè)備在光通迅、 功率器件、MLED等高端應(yīng)用占有率將會快速持續(xù)提升;關(guān)鍵設(shè) 備會取得突破：如光刻、先進(jìn)封裝、測量等。奧茵紳已將直驅(qū)產(chǎn) 品應(yīng)用在硅片倒角機(jī)(整形)、硅片減薄機(jī)、外延設(shè)備、拋光研 磨、涂膠顯影設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備上，并積累了豐富的技術(shù)案例和 實踐經(jīng)驗。

　　Elmo埃莫運動控制技術(shù)(上海)有限公司中國區(qū)董事總經(jīng)理陳偉博士表示，Elmo的產(chǎn)品優(yōu)勢主要體現(xiàn)在PWM 同步(移 動更平穩(wěn)、更精確)、增益調(diào)度(基于位置)、龍門控制(雙 臂)、穩(wěn)健性和可重復(fù)性、先進(jìn)的輪控系統(tǒng)、EtherCAT表現(xiàn)優(yōu)異 等方面，可通過“實時”目標(biāo)位置校正，“實時”更改運行模式 和力曲線，運用先進(jìn)的調(diào)整和運動算法來實現(xiàn)高效運動序列。此 外，他還重點推薦Elmo的明星產(chǎn)品——Titanium系列控制器與驅(qū) 動器，其中T-Maestro第三代控制器具備人工智能(AI)與圖像 處理功能，開啟了多軸運動控制新紀(jì)元;T-Solo Castanet & P-Jori 新一代雙軸功能安全伺服驅(qū)動器基于氮化鎵功率開關(guān)技術(shù)，最大 功率達(dá)40KW，適用于低直流電壓應(yīng)用。

　　通用技術(shù)集團(tuán)國測時柵科技有限公司市場營銷部長李向象主要介紹了企業(yè)及產(chǎn)品應(yīng)用案例，并重點介紹了國測時柵利用時空轉(zhuǎn)換思想設(shè)計出的、用時間量測量空間位移量的高精度位移傳 感器，通過“時間測量空間”來提高位移測量精度，形成了“利 用時間脈沖構(gòu)成空間位移測量基準(zhǔn)”的原創(chuàng)學(xué)術(shù)思想和“時柵傳 感”這一重大技術(shù)發(fā)明。與光柵的原理和工藝完全不同，測量原 理和傳感方式?jīng)Q定了時柵具有獨特優(yōu)勢：從測量原理上具備了高 精度和高分辨率的基礎(chǔ);從傳感方式上決定了其環(huán)境適應(yīng)性強的 特點。

　　杭州三相科技有限公司總經(jīng)理助理胡羽飛認(rèn)為高效直驅(qū)電機(jī)技術(shù)的開發(fā)關(guān)鍵表現(xiàn)在高效高功率密度、溫升問題、轉(zhuǎn)子模態(tài)、 應(yīng)力及保護(hù)、工藝性等方面。針對這些問題點，三相科技在直驅(qū) 電機(jī)領(lǐng)域深耕多年，其產(chǎn)品具有功率密度高、溫升低、精度要求 高等特性，目前在高速空浮軸承風(fēng)機(jī)、低速大力矩場景、機(jī)器人 一體化關(guān)節(jié)應(yīng)用等方面積累了豐富的技術(shù)應(yīng)用案例。

　　杭州利珀科技有限公司產(chǎn)品經(jīng)理曾航明介紹了利珀系列機(jī) 器視覺軟件產(chǎn)品及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用方案，其產(chǎn)品分為三個系列： IntelliBlinkTM：靈閃是一個自主研發(fā)的通用視覺檢測平臺，可以 快速高效構(gòu)建機(jī)器視覺解決方案，簡化機(jī)器視覺系統(tǒng)實現(xiàn)的復(fù) 雜度;LPV：是為各個工業(yè)檢測領(lǐng)域的機(jī)器視覺應(yīng)用而設(shè)計的 視覺算法開發(fā)工具包SDK，目前涵蓋100+個2D模塊和3D模塊; IntelliBlinkTM：是AI標(biāo)記樣本、生成樣本、訓(xùn)練深度學(xué)習(xí)模型的可 視化平臺軟件，可與IntelliBlinkTM進(jìn)行數(shù)據(jù)互聯(lián)。

　　睿工業(yè)直驅(qū)賽道負(fù)責(zé)人劉樂妍做了《中國工業(yè)自動化&直驅(qū) 市場回顧與展望》的報告演講：2024上半年，鋰電池&光伏行業(yè) 產(chǎn)能過剩，投資增速有所放緩，這兩大新能源行業(yè)設(shè)備需求大幅 減少;傳統(tǒng)機(jī)床、激光加工行業(yè)保持平穩(wěn);電子、半導(dǎo)體行業(yè)需 求增長，但整體驅(qū)動力有限，整體市場規(guī)模依舊有所下降。

　　長遠(yuǎn)來看，直驅(qū)產(chǎn)品依舊存在巨大發(fā)展前景，市場規(guī)模能夠 保持增長：多行業(yè)對于加工效率、加工精度要求逐漸提升，電子 行業(yè)如AR\VR等產(chǎn)品類型逐漸增多、半導(dǎo)體行業(yè)高端設(shè)備國產(chǎn)化 率逐漸提升、五軸直驅(qū)機(jī)床滲透率逐漸提升等，擴(kuò)展出更多直驅(qū) 產(chǎn)品的應(yīng)用場景，有利于提升市場規(guī)模。值得關(guān)注的增量趨勢包 括：電子制造行業(yè)折疊屏、曲面屏帶來自動化產(chǎn)品需求增長、半導(dǎo)體行業(yè)Bump(凸塊)、TSV(硅通孔)、RDL(再布線)等先 進(jìn)封裝對設(shè)備的需求量維持增長，泛半導(dǎo)體如光模塊、磁懸浮柔 性輸送線等新興應(yīng)用領(lǐng)域的應(yīng)用量同樣保持穩(wěn)定上漲。

　　今年的“2024無錫直驅(qū)技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)用發(fā)展論壇”是由中 國傳動網(wǎng)、運動控制/直驅(qū)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、深圳市工業(yè)運動控制產(chǎn)業(yè) 協(xié)會主辦的第二屆華東地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)活動，通過此次論壇活 動，促進(jìn)了直驅(qū)零部件企業(yè)與國內(nèi)優(yōu)秀的半導(dǎo)體設(shè)備上下游制造 企業(yè)之間的溝通與互動，以利后繼合作，共享資源、互補優(yōu)勢， 共同推動該領(lǐng)域技術(shù)創(chuàng)新與市場開拓，全力助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 鏈的升級與發(fā)展。