摘 要：為了實現(xiàn)液壓系統(tǒng)的動態(tài)測量，給液壓系統(tǒng)的設(shè)計以及故障診斷提供理論依據(jù)，在已經(jīng)設(shè)計的新型 MEMS 流量傳感器的基礎(chǔ)上，對其結(jié)構(gòu)尺寸進行了進一步的優(yōu)化，并對MEMS芯體和優(yōu)化后的 MEMS傳感器進行靜態(tài)標(biāo)定。對 MEMS傳感器進行動態(tài)特性試驗，發(fā)現(xiàn)新型 MEMS傳感器具有低擾動、高頻率響應(yīng)等特點，適合液壓系統(tǒng)的動態(tài)測量。 關(guān)鍵詞：MEMS傳感器；尺寸優(yōu)化；靜態(tài)標(biāo)定；動態(tài)試驗 前言 現(xiàn)代液壓技術(shù)研究熱點由靜態(tài)特性向動態(tài)特性轉(zhuǎn)變。以往的經(jīng)驗證明，靜態(tài)特性很完善的系統(tǒng)，運行后時常會發(fā)生振動、噪音等問題，這主要是由于系統(tǒng)動態(tài)特性研究不到造成的。出于種種目的，國內(nèi)外對管道動特性進行了許多研究。非定常流動的油液，由于其外部表現(xiàn)和內(nèi)在機理的復(fù)雜性，直到現(xiàn)在仍有不少問題未能徹底解決。目前，許多液壓系統(tǒng)的設(shè)計和分析只能按照定常流動進行，但實際上，系統(tǒng)中出現(xiàn)非定常流動的幾率并不亞于定常流動。所以研究并提高傳感器的動態(tài)性能對實現(xiàn)液壓系統(tǒng)動態(tài)測量具有重要意義。 MEMS傳感器的優(yōu)化與動態(tài)試驗全文下載