摘 要：介紹了一種基于懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的雙定子軸向靜電微電機控制系統(tǒng)的信號檢測方法，它對實現(xiàn)懸浮轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的閉環(huán)控制尤為重要，其主要特點是采用互相關(guān)檢測一鎖定放大、DSP控制直接數(shù)字頻率合成（DDS）產(chǎn)生正弦波，并通過實際正弦波發(fā)生電路和系統(tǒng)仿真驗證其可行性，這些提供了解決微小電容檢測在實際電路實現(xiàn)上的一些關(guān)鍵問題的辦法，為實際電路參數(shù)選擇提供重要參考。 關(guān)鍵字：靜電微電機 互相關(guān)檢測 直接數(shù)字頻率合成 鎖定放大 0 引言 　　微電機作為微機電系統(tǒng)（MEMS）主要動力源和關(guān)鍵執(zhí)行部件，兼有驅(qū)動和精密控制雙重功能，在微小機器人的關(guān)節(jié)驅(qū)動、微小光盤、磁盤驅(qū)動、微慣性器件及微小航天儀器中有廣泛的應(yīng)用前景，其研究是MEMS研究熱點之一[1,2]。微電機的主要驅(qū)動方式[2]有靜電式、電磁式、超磁致伸縮式、壓電式、形狀記憶合金式等。 　　靜電電機從運行方式來分可分為直線型和旋轉(zhuǎn)型。旋轉(zhuǎn)型靜電電機又可以分為軸向驅(qū)動型、側(cè)驅(qū)動型與擺動型[2]。靜電電機的運行原理[1]有2種：一種是利用介電馳豫原理，另一種是利用電容可變原理。本文的研究對象是基于懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的雙定子靜電微電機，屬軸向驅(qū)動型變電容同步靜電微電機。 1 靜電微電機結(jié)構(gòu) 　　如圖1所示，靜電微電機的結(jié)構(gòu)包括上定子、凸極轉(zhuǎn)子和下定子，在上、下定子表面均分布有公共電容極板、力矩反饋電容極板與旋轉(zhuǎn)電容極板。 　　詳情請點擊：雙定子靜電微電機控制系統(tǒng)的信號檢測研究