Agnitron 利用 Agilis 兩用機(jī)開(kāi)發(fā)了一套通過(guò)金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積（MOCVD）技術(shù)制備半導(dǎo)體材料氧化鎵的系統(tǒng)。此外，該系統(tǒng)還能夠在需要時(shí)切換為其它材料。Agnitron 采用倍?；?PC 的控制技術(shù)，確保滿足用戶在研發(fā)中小型生產(chǎn)設(shè)備時(shí)所需的高可靠性和靈活的可擴(kuò)展性。

改進(jìn)消費(fèi)電子產(chǎn)品中高壓開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)后，化合物半導(dǎo)體氧化鎵（Ga2O3）有望帶來(lái)廣泛而令人激動(dòng)的好處。然而，這種超寬帶隙化合物半導(dǎo)體的性能和用例必須首先得到如猶他大學(xué)電氣和計(jì)算機(jī)工程助理教授 Sriram Krishnamoorthy 博士等研究人員的證實(shí)。

在研究現(xiàn)有金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積（MOCVD）設(shè)備時(shí)存在的限制可能導(dǎo)致無(wú)法滿足正確處理氧化鎵的定制、價(jià)格或可靠性要求。在探索新系統(tǒng)的同時(shí)，Krishnamoorthy 發(fā)現(xiàn)了化合物半導(dǎo)體研發(fā)公司 Agnitron 的 Agilis 平臺(tái)。

Agnitron 公司總裁兼 CEO Andrei Osinsky 于 2008 年在明尼蘇達(dá)州 Chanhassen 創(chuàng)立了公司，雖然很多 MOCVD 設(shè)備制造商已經(jīng)開(kāi)始重點(diǎn)關(guān)注 LED 等大行業(yè)趨勢(shì)，但 Agnitron 的成立是為了向需求尚未得到滿足的細(xì)分市場(chǎng)提供新的解決方案。彼時(shí)公司已經(jīng)完成了對(duì) β-氧化鎵應(yīng)用的研究，并開(kāi)發(fā)了 Imperium MOVCD? 軟件以及 Agnitemp? 用于現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量他們自己的系統(tǒng)。公司推出的 Agilis 兩用機(jī)只需稍微調(diào)整就可以在幾天時(shí)間內(nèi)將生長(zhǎng)中的 β-氧化鎵轉(zhuǎn)換為 III 族氮化物半導(dǎo)體材料，而目前市面上其它 MOCVD 設(shè)備都無(wú)法提供此功能?；?PC 的控制技術(shù)的模塊化和靈活性簡(jiǎn)化了此款多功能平臺(tái)的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。

成本控制和可靠性是關(guān)鍵

一套新的 MOCVD 系統(tǒng)售價(jià)基本都超過(guò) 100 萬(wàn)美元。即使 Agilis 機(jī)可以兩用， Agnitron 客戶投入的成本還是不低，而他們通常沒(méi)有像大型半導(dǎo)體制造商那樣的高額預(yù)算。然而，無(wú)論是在科研方面，還是在生產(chǎn)方面，客戶的要求都在不斷提高以達(dá)到高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，并堅(jiān)持自己的生長(zhǎng)配方。Agnitron 公司自動(dòng)化和控制技術(shù)主管 Ivan Yunchyk 解釋道：“我們處在一個(gè)成本競(jìng)爭(zhēng)非常激烈的市場(chǎng)。我們必須以盡可能最低的價(jià)格提供多功能解決方案，每個(gè)組件同時(shí)必須具有高可靠性和可重復(fù)性。”

Agnitron 公司高級(jí)首席工程師 Dmitri Volovik 博士補(bǔ)充道：“在這個(gè)行業(yè)收到的最好贊譽(yù)是客戶說(shuō)設(shè)備和以前一樣好用。客戶需要花費(fèi)數(shù)年的開(kāi)發(fā)時(shí)間和數(shù)百萬(wàn)美元來(lái)定義工藝流程，因此他們希望編程好的新系統(tǒng)能夠精確維護(hù)半導(dǎo)體制造工藝配方，不會(huì)出現(xiàn)意外停機(jī)情況。”事實(shí)上，當(dāng)時(shí) Agnitron 公司前一家供應(yīng)商提供的自動(dòng)化和控制系統(tǒng)的可靠性出現(xiàn)了問(wèn)題，公司正瀕臨失去客戶的危險(xiǎn)邊緣，恰在此時(shí)，他們?cè)诳偛课挥诿髂崽K達(dá)州薩維奇附近的倍福自動(dòng)化公司找到了全新的解決方案。

可為不同用戶定制模塊化系統(tǒng)

具備良好的模塊化功能的倍?？刂飘a(chǎn)品可以為 Agilis 系統(tǒng)提供兩種不同的控制解決方案：倍福搭載四核 Intel? Xeon? 處理器的CX2042 嵌入式控制器和搭載四核 Intel? core? i7 處理器的 CX2040 嵌入式控制器。

“我們提供標(biāo)配版 CX2040 滿足客戶的研發(fā)需求。” Dmitri Volovik 說(shuō)道：“但客戶對(duì)內(nèi)存和處理速度的要求越來(lái)越高。我們的 Imperium 軟件和 SQL 數(shù)據(jù)庫(kù)必須在同一個(gè)硬件平臺(tái)上運(yùn)行，以便支持更復(fù)雜的操作和更大量數(shù)據(jù)的采集以及滿足 Agnitemp 的計(jì)量要求，而搭載 Xeon? 處理器和 1 TB SSD 固態(tài)硬盤的 CX2042 控制器是實(shí)現(xiàn)全天候生產(chǎn)的最佳選擇。”

很多翻修和改造項(xiàng)目可以使用價(jià)格更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 CX2040。如果現(xiàn)有的 PLC 還可以工作，公司只需簡(jiǎn)單地用倍福的 C5102 機(jī)架安裝式工業(yè) PC 取代傳統(tǒng) PC 即可。在這兩種情況下，倍福硬件和軟件的向后兼容性確保能夠可靠地維護(hù)半導(dǎo)體生長(zhǎng)配方。

通過(guò)在嵌入式控制器上使用 TwinCAT 3 自動(dòng)化軟件，Agnitron 工程師可以通過(guò) Visual Studio 用 C# 語(yǔ)言編寫設(shè)備控制邏輯。由于嵌入式控制基于 Windows 操作系統(tǒng)，因此他們可以安裝 Imperium 控制軟件并在本地存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。通過(guò)使用基于 PC 的控制系統(tǒng)而不是單獨(dú)的 PC 和 PLC，Agilis 機(jī)器在控制硬件上節(jié)省了大約 10000 美元。

具有實(shí)時(shí)聯(lián)網(wǎng)能力，同時(shí)減少空間

EtherCAT 的實(shí)時(shí)聯(lián)網(wǎng)能力可以為 Agilis 帶來(lái)更多好處。EtherCAT 高密度端子模塊 EL3318 連接 Agilis 和 8 個(gè)不同的熱電偶，這在使用 β-氧化鎵和其它復(fù)雜半導(dǎo)體材料時(shí)至關(guān)重要。它們與其它 16 通道 I/O 端子模塊一起讓設(shè)備保持占地面積小的優(yōu)點(diǎn)。“控制柜內(nèi)部的空間變得越來(lái)越狹小，特別是一些較小的研發(fā)系統(tǒng)。”Dmitri Volovik 說(shuō)道。“倍福的 EtherCAT I/O 和嵌入式控制器的緊湊性讓我們能夠在眾多的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手中脫穎而出。”

EtherCAT 已經(jīng)成為半導(dǎo)體行業(yè)占據(jù)領(lǐng)先地位的工業(yè)以太網(wǎng)，目前已經(jīng)成為 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，而 DeviceNet 曾經(jīng)是業(yè)界應(yīng)用最為廣泛的標(biāo)準(zhǔn)。在現(xiàn)有設(shè)備中，EL6752 DeviceNet 主站/從站端子模塊用于連接 EtherCAT 網(wǎng)絡(luò)和 DeviceNet 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備。正如 Dmitri Volovik 所解釋的，EtherCAT 還簡(jiǎn)化了開(kāi)發(fā)工作：“有了 EtherCAT 工業(yè)以太網(wǎng)和 TwinCAT 開(kāi)發(fā)環(huán)境，集成一個(gè) DeviceNet 網(wǎng)絡(luò)只需花費(fèi)數(shù)小時(shí)時(shí)間。而如果使用前一家供應(yīng)商提供的解決方案，這項(xiàng)工作則通常需要整整一周的時(shí)間。”

研究人員 Sriram Krishnamoorthy 認(rèn)為，Agilis 兩用機(jī)正在改變研究機(jī)構(gòu)和半導(dǎo)體行業(yè)的游戲規(guī)則：“目前市場(chǎng)上還沒(méi)有一個(gè)平臺(tái)能夠提供這種服務(wù)。事實(shí)上，我還有一些懸而未決的提案，探索 III 族氮化物和氧化鎵整合在超高壓設(shè)備中的應(yīng)用，希望這個(gè)平臺(tái)能夠成為我在許多其它機(jī)構(gòu)進(jìn)行的科研項(xiàng)目負(fù)擔(dān)得起的選擇。”