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光刻測量技術與感應式測量技術

時間:2019-05-28 14:42:12來源:約翰內(nèi)斯·海德漢博士(中國)有限公司

導語:?光柵尺作為位置測量儀器被廣泛地應用在機床、傳送設備、工業(yè)自動化和測量檢測設備領域。今天小編要為各位普及一下測量的知識。海德漢光柵尺的光學掃描的測量基準都是周期刻線-光柵。這些光柵在玻璃或鋼材基體上。不得不說海德漢的光柵技術已經(jīng)發(fā)揮到了極致

光柵尺作為位置測量儀器被廣泛地應用在機床、傳送設備、工業(yè)自動化和測量檢測設備領域。今天小編要為各位普及一下測量的知識。海德漢光柵尺的光學掃描的測量基準都是周期刻線-光柵。這些光柵在玻璃或鋼材基體上。不得不說海德漢的光柵技術已經(jīng)發(fā)揮到了極致。讓我們一起來數(shù)一數(shù):

01AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,典型柵距40 μm

02METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,典型柵距20 μm

03DIADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm

04OPTODUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,超高反光性能,典型柵距不超過2 μm

這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。這些邊緣清晰且極端均勻的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關鍵。再加上海德漢獨有的光電掃描技術以及絕對測量法,可以說這種精密測量“絕”了。

絕對測量法是指編碼器通電時就立即提供位置值并隨時供后續(xù)信號處理電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。絕對位置信息來自一系列絕對碼構成的光柵刻線。單獨的增量刻軌信號通過細分生成位置值,同時也能生成供選用的增量信號。

不過,除了如上的光刻技術,我們今天還要跟大家分享的是海德漢子公司AMO 的感應式測量技術。主要是為客戶提供更多的測量技術解決方案。

AMO編碼器的一些應用包括機床和其他相關的金屬板和金屬加工設備、醫(yī)療技術機器、印刷機、電子和半導體制造專用設備以及汽車和航空航天工業(yè)。

AMO的重點是開發(fā)、制造和分銷基于感應傳感AMOSIN?運動控制反饋應用的線性和角度測量系統(tǒng)。感應傳感方法結(jié)合了光學編碼器的精度和磁編碼器的耐用特性。

直線測量

AMO根據(jù)其獲得專利的感應測量原理提供了廣泛的感應線性測量系統(tǒng),其精度和分辨率與光學編碼器相當,但具有IP 67保護的堅固性,線性編碼器對污染并不敏感,即使在惡劣環(huán)境中,精度和操作可以同樣保證有效。

微信圖片_20190528143656.jpg

角度測量

AMO同樣根據(jù)其獲得專利的感應測量原理提供了廣泛的角度測量系統(tǒng)。絕對和增量測量系統(tǒng)可用于外部和內(nèi)部測量。

微信圖片_20190528143703.jpg

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