MEMS是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。

用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)。同時，MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號；而且能對所得到的信號進(jìn)行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。

1980年，第一個MEMS傳感器推出，重量、濕度、加速度計(jì)、壓力、麥克風(fēng)等MEMS傳感器不斷出現(xiàn)，其種類繁多，一般分為MEMS物理傳感器、化學(xué)傳感器、生物傳感器三大類。詳見下圖：