摘要：在許多高技術(shù)領(lǐng)域需要超精密工作臺作為其技術(shù)支持。就電磁式工作臺、直線電機(jī)式工作臺、壓電式工作臺、摩擦驅(qū)動式工作臺、MEMS工作臺和其它類型工作臺的原理、性能和應(yīng)用作了介紹。并分析了它們各自的特點。根據(jù)不同的應(yīng)用要求可選用合適的超精密定位方案。 關(guān)鍵詞：超精密定位 [b]1 引言 [/b] 在半導(dǎo)體光刻、微型機(jī)械、精密測量、超精密加工、微型裝配、生物細(xì)胞操縱和納米技術(shù)等領(lǐng)域，需要十分精確的定位和非常精細(xì)的運動，因此高性能的超精密定位工作臺成為了這些領(lǐng)域的技術(shù)支持。例如：隨著集成電路集成度的提高，線寬已向著低于亞微米的方向發(fā)展，因此在制造過程中對其定位精度有著苛刻的限制。在機(jī)械加工非圓球面時，為了得到精確的形狀和高質(zhì)量的表面，對加工過程中刀具相對工件的運動精度提出了嚴(yán)格的要求。已有的MEMS加工工藝適宜制造二維或準(zhǔn)三維的微型機(jī)械結(jié)構(gòu)。想得到復(fù)雜的微型三維結(jié)構(gòu)，目前較可行的方法是采用微裝配技術(shù)，即將MEMS加工制造的微型結(jié)構(gòu)通過一定的方式裝配起來。要實現(xiàn)微裝配，需要結(jié)構(gòu)小巧、在平面內(nèi)有較大行程的超精密載物工作臺。而為了加大掃描隧道顯微鏡（M）的測量范圍，還需要高精度的工作臺與測頭一起實現(xiàn)大范圍超精密定位。 實現(xiàn)亞微米甚至納米級的定位，常規(guī)的驅(qū)動和傳動方式不再適合。比如，通常為了實現(xiàn)精密定位，往往采用伺服電機(jī)驅(qū)動和精密絲杠傳動的方案，然而此種定位方式由于螺紋空程和傳動摩擦的存在，其定位精度一般只能達(dá)到微米級。因此，尋求特殊的驅(qū)動和傳動方式，以使工作臺具有納米級的位移分辨率成為了必須。 [b][align=center] 詳細(xì)內(nèi)容請點擊： 超精密定位工作臺[/align][/b]