滲碳工藝廣泛應(yīng)用于飛機(jī)、汽車、機(jī)床等設(shè)備的重要零件中，如齒輪、軸和凸輪軸等。滲碳是應(yīng)用最廣、發(fā)展得最全面的化學(xué)熱處理工藝。用微處理機(jī)可實(shí)現(xiàn)滲碳全過(guò)程的自動(dòng)化，能控制表面含碳量和碳在滲層中的分布。 
　　滲氮是使氮原子向金屬工件表層擴(kuò)散的化學(xué)熱處理工藝。鋼鐵滲氮后，可形成以氮化物為主的表層。當(dāng)鋼中含有鉻、鋁、鉬等氮化物時(shí)，可獲得比滲碳層更高的硬度、更高的耐磨、耐蝕和抗疲勞性能。滲氮主要用于對(duì)精度、畸變量、疲勞強(qiáng)度和耐磨性要求都很高的工件，例如鏜床主軸、鏜桿，磨床主軸，氣缸套等。 
　　碳氮共滲和氮碳共滲是在金屬工件表層同時(shí)滲入碳、氮兩種元素的化學(xué)熱處理工藝。前者以滲碳為主，與滲碳相比，共滲件淬火的畸變小，耐磨和耐蝕性高，抗疲勞性能優(yōu)于滲碳，70年代以來(lái)，碳氮共滲工藝發(fā)展迅速，不僅可用在若干種汽車、拖拉機(jī)零件上，也比較廣泛地用于多種齒輪和軸類的表面強(qiáng)化；后者則以滲氮為主，它的主要特點(diǎn)是滲速較快，生產(chǎn)周期短，表面脆性小且對(duì)工件材質(zhì)的要求不嚴(yán)，不足之處是工件滲層較薄，不宜在高載荷下工作。