[b][align=center]The research ofthe large travel and h J_gb precision two—level table WANG Li—song，SU Bao～ku， DONG Shen，ZHANG Jing （Harbin Institute of Tehno]ngy，Harbin 15000i。China）[/align][/b] 摘要：研究了具有宏微兩級驅(qū)動歧定位工作臺的控制技術(shù)，誼工作臺采用直線電機(jī)進(jìn)行大位移驅(qū)動，來保證較走的工作行程和較快的響應(yīng)速度，而采用電致伸縮微位移器完成精密位置驅(qū)動，利用單頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋。將該系統(tǒng)應(yīng)用于實(shí)際中，可雙實(shí)現(xiàn)500mm的工作行程內(nèi)小于0．02um的重復(fù)定位精度。 關(guān)鍵詞：直線電機(jī)；電致伸縮微位移器；單頻激光干涉儀 Abstract：A coorse-fine combined positioning table was studied in this paper．A linear motor and a pieoelectric aduator were adopted to drive the table By feedback control technique,the accuracy of the system was controlled to be smaller than 0.02um and the tray ofthe system was 500mm Keywords：Linear motor；Pie～oelectrlc actuator；Single frequency laser interferometer 微型機(jī)電系統(tǒng)的制造與檢測、太規(guī)模集成電路的生產(chǎn)、超精密機(jī)械加工及其精密測量，都離不開超精密定位技術(shù)，超精密定位技術(shù)已成為精密工程領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)之一。傳統(tǒng)上一般采用交流或直流伺服電機(jī)和滾珠絲杠相結(jié)合實(shí)現(xiàn)直線進(jìn)給。然而這種結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)由于中閫傳動環(huán)節(jié)的問隙和彈性變形，系統(tǒng)很難獲得高精度。采用電致仲縮傲位移器驅(qū)動黍性工作臺．利用閉環(huán)反饋控制技術(shù)，可以很容易實(shí)現(xiàn)納米尺度的超精密定位。但由于電致伸縮微位移器最大工作范圍只有幾十微米，所以該控制方式無法實(shí)現(xiàn)太行程。為解決太行程和高精度的矛盾．這里采用了宏、徽兩級定位的控制方法，采用較低定位精度的宏定位系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)大行程序定位。其寇位誤差由高定位精度的微定位系統(tǒng)來樸償，以使系統(tǒng)得到較高的定位性能和輕快的響應(yīng)速度．井大大的縮減了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。 [b][align=center]詳細(xì)內(nèi)容請點(diǎn)擊： 大行程高精度兩級定位工作臺的控制方法研究[/align][/b]