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光刻膠烘干設(shè)備的選擇與應(yīng)用

時間:2010-06-07 13:31:11來源:zhangting

導(dǎo)語:?光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分。

 

光刻膠烘干設(shè)備的選擇

    光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分。均膠和烘干是光刻工藝中不可缺少的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或加熱板等加熱設(shè)備對光刻膠進(jìn)行干燥。烘箱加熱由于速度慢、且加熱易造成表面和內(nèi)部受熱不均勻,效果欠佳!而加熱板易于達(dá)到在膠的厚度方向且快速均勻烘干等要求,目前越來越多地采用加熱板加熱的方式。
所以加熱板的表面溫度均勻性、溫度控制精度、溫度上升速度等是選擇加熱板的主要性能指標(biāo)考慮。

 

Smartlab數(shù)字型精密加熱板

采用高精度溫度控制器,PID控制,解析度0.1℃
14bit的A/D轉(zhuǎn)換分辨率,0.2%FS的顯示精度,取樣時間250ms,可手動補(bǔ)償PV顯示值(PVOS)。內(nèi)建Autozero-Autospan功能,自動校正零點(diǎn)及斜率,使顯示精度不因長時間而劣化。
自動演算(AT):使用自動演算功能,可自動算出系統(tǒng)最佳

化的PID參數(shù)數(shù)值。當(dāng)自動演算進(jìn)行中,PV會上下震動1~2個周期。為保護(hù)使用者的設(shè)備??稍O(shè)定自動演算偏移量(ATVL),使PV在數(shù)值較低處震蕩,有效避免沖溫效應(yīng)。


導(dǎo)熱性能極佳的合金盤面
經(jīng)過多次實(shí)驗和測試,公司研發(fā)出導(dǎo)熱性能極佳且具有較高強(qiáng)度的合金盤面。保證了盤面加熱溫度的均勻性。并且長時間使用不會變形,平整如初!

加熱元件的均勻排布
公司利用有限元熱分析方法對加熱板盤面溫度均勻性進(jìn)行了分析,經(jīng)多次模擬分析和調(diào)整,加熱結(jié)構(gòu),優(yōu)化設(shè)計出了滿足加熱板盤面溫度均勻性可達(dá)極高要求的加熱元件排布方式,并以此為主要依據(jù)完成了整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計。目前加熱板升溫速度快,盤面溫度均勻,加熱元件耐用。
目前Smartlab數(shù)字型加熱板已被廣大客戶和研究機(jī)構(gòu)選用。
宏力半導(dǎo)體、恒諾微電子、信泰光電、統(tǒng)寶光電、風(fēng)華高新、TDK CO., LTD、辰田半導(dǎo)體、
上海交大微納院、復(fù)旦大學(xué)微電子系、世紀(jì)晶源科技有限公司、富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)、
中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、上??茖W(xué)院表面等離子光學(xué)實(shí)驗室
 

型號

解析度℃

電熱W

外部尺寸cm

HP-306DN

0.1

3000

30*60*13

HP-303DN

1500

30*30*13

HP-202DN

800

20*20*13

 

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