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LEODO人機界面在硅單晶爐的應用

時間:2008-03-26 10:33:00來源:mawei

導語:?傳統(tǒng)的控制器由于主要用來實現(xiàn)控制要求,而人機交互設計則比較簡單
摘要:傳統(tǒng)的控制器由于主要用來實現(xiàn)控制要求,而人機交互設計則比較簡單。隨著工業(yè)技術的不斷發(fā)展,控制器配合人機界面,使其圖文并茂,更加人性化。本文介紹了用LEODO人機界面改造晶體生長控制器的經(jīng)驗和方法。 關鍵詞:硅單晶 光環(huán)法 PID控制 LEODO人機界面 一、引言 自從1947年貝爾實驗室的William Shockely等人發(fā)明了晶體管,幾十年來,硅智能技術加快了人類探索世界的步伐。不僅全球電子業(yè)制造半導體芯片都是采用硅晶體材料,就連現(xiàn)在應用越來越成熟的太陽能技術也離不開硅單晶體。單晶硅的制作普遍采用提拉法,該法可以生長出比較均勻、無缺陷的硅單晶體。目前,利用提拉法可以生長出直徑約為150毫米的優(yōu)質(zhì)硅單晶。
硅單晶體毛胚
由于硅單晶產(chǎn)品在國內(nèi)外市場銷售旺盛,硅單晶生產(chǎn)廠家不斷壯大,對國產(chǎn)軟軸硅單晶爐的需求猛增。本文主要是介紹人機界面在這種軟軸單晶硅爐系統(tǒng)中的應用。 二、 系統(tǒng)配置圖
此系統(tǒng)由工作站服務器、LEODO人機界面、晶體生長控制器和軟軸單晶硅爐構(gòu)成。這種分散控制方式具有高可靠性,而且每部分可以獨立設計、開發(fā)和測試。以前的方式是晶體生長控制器自己帶有小的顯示屏和RS485通信接口,由于顯示屏的視角很窄,遠距離看不清楚,而且RS485通信方式需要單獨布線,不太方便,很多用戶對此提出要求。還有一種方式是用工控機替代以單片機為主的晶體控制器,工控機處理速度快,功能強大,能實現(xiàn)更復雜的控制,可是如果采用VxWork這種高可靠性的嵌入式操作系統(tǒng)比較昂貴,而Windows 2000操作系統(tǒng)無法保證這種高可靠性。由于接口板卡引入的干擾也容易導致出現(xiàn)故障,所以可靠性是這種方案需要考慮的問題。 三、 系統(tǒng)特點 1、人機界面
LEODO人機界面產(chǎn)品是由32位嵌入式微處理器、WinCE.net操作系統(tǒng)和ET組態(tài)軟件構(gòu)成了新穎的人機界面產(chǎn)品。該產(chǎn)品適用于工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境,安全可靠,可以廣泛地應用于生產(chǎn)過程設備的操作和數(shù)據(jù)顯示,與傳統(tǒng)的人機界面相比具有信息處理和網(wǎng)絡功能的特點。用戶可以采用隨機提供的組態(tài)軟件,也可以運行第三方的組態(tài)軟件。對OEM用戶提供Windows CE.net 4.1 SDK、EVC++4.0開發(fā)環(huán)境。向下可以連接符合RS232/422/485標準通信接口的PLC、變頻器、智能儀表、智能模塊等控制裝置,可以完成生產(chǎn)過程數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)存儲和畫面顯示操作;向上有面向生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)的Ethernet網(wǎng)絡接口可以完成數(shù)據(jù)傳輸。 2、晶體生長控制器 晶體生長控制器采用80C19KC單片機,AT29C256(32K)FLASH ROM等高品質(zhì)進口元器件、接插件,加入各種容錯和數(shù)據(jù)安全保護措施;采用全隔離的輸入/輸出接口,系統(tǒng)安全可靠。晶體生長控制器是集晶體直徑控制、過程溫??刂?、堝轉(zhuǎn)控制、收尾控制、晶體長度計算、晶體重量計算為一體的多功能控制儀器。 控制原理:在晶體生長過程中,晶體的直徑主要受晶升速度和熔體溫度的變化而變大或變小,當晶升速度增大時,晶體直徑變小,反之當晶升速度減小時,晶體直徑變大。當熔體溫度升高時,晶體直徑變小,反之當熔體溫度下降時,晶體直徑變大,因此,晶體直徑的控制是通過控制晶升速度和加熱器溫度而實現(xiàn)的。
3、軟軸單晶硅爐 適用于硅半導體材料無錯位直拉生長 主要技術指標: 主爐室:620mm,700mm,800mm 加熱方式:惰性氣體環(huán)境中,石墨電阻加熱器 籽晶轉(zhuǎn)速范圍:2-50R/min 籽晶拉速范圍:0.2-8mm/min 坩堝轉(zhuǎn)速范圍:1-30R/min 坩堝升速范圍:0.02-1mm/min 四、畫面功能介紹
LEODO人機界面帶有WINCE模擬器,軟件測試方便,能實現(xiàn)自己定制的功能。還可以和ET組態(tài)軟件相互調(diào)用,既能控制PLC也能控制生長控制器,兩部分可分開開發(fā)測試,開發(fā)周期短。本軟件把鍵盤和指示燈做成虛擬式的,集成在軟件當中,這樣控制器可以專注于控制功能的實現(xiàn),使控制系統(tǒng)更加穩(wěn)定。而實時數(shù)據(jù)的存儲功能,更便于用戶日后分析統(tǒng)計。 五、應用體會和經(jīng)驗 這種方式適用于多種現(xiàn)場控制方案,即提高了控制器的可靠性,又給用戶一個友好界面。各部分分開設計測試,縮短了開發(fā)周期,升級換代方便。人機界面接口豐富,可以實現(xiàn)客戶的多種要求。以太網(wǎng)接口可以充分利用客戶原有的設備資源,上位機只實現(xiàn)查詢、顯示和統(tǒng)計等非影響控制的功能,保證了控制系統(tǒng)不受病毒和黑客等惡性程序的干擾,使客戶的生產(chǎn)系統(tǒng)和企業(yè)管理系統(tǒng)更好的融于一體。

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