檢測(cè)項(xiàng)目：晶圓邊緣的點(diǎn)缺口或線缺口 點(diǎn)缺口（Dot Notch）線缺口（Flat Notch） 檢測(cè)任務(wù)：通過(guò)視覺(jué)檢測(cè)，將晶圓（wafer）精確定位，為下一步工序做好準(zhǔn)備 原理說(shuō)明 檢測(cè)定位是指找到被測(cè)物體或物測(cè)物體某一特征區(qū)域并確定其位置，輸出位置坐標(biāo)，絕大多數(shù)的視覺(jué)系統(tǒng)都必須完成這個(gè)工作；當(dāng)被測(cè)物體的坐標(biāo)被準(zhǔn)確定位之后，常常需要根據(jù)前一步確定的位置來(lái)完成下一個(gè)動(dòng)作（比如機(jī)器手進(jìn)行抓取、激光進(jìn)行切割和焊接頭進(jìn)行焊接等）。這是視覺(jué)行業(yè)里被最密集使用的技術(shù)，定位的精度、速度和重復(fù)度就是各個(gè)視覺(jué)系統(tǒng)的關(guān)鍵指標(biāo)，北京優(yōu)納科技有限公司自主研發(fā)的PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測(cè)系統(tǒng)在以上方面具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，成功實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)分辨點(diǎn)缺口與面缺口，及高速高精確檢測(cè)與定位。 系統(tǒng)組成 PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測(cè)系統(tǒng)主體包括PHOCUS系列智能相機(jī)（130萬(wàn)-300萬(wàn)象素可選）、iNotch缺口檢測(cè)軟件、及系統(tǒng)標(biāo)配的LED環(huán)形光源和電源，全部由優(yōu)納科技自主研發(fā)生產(chǎn)。易于集成和安裝，利用Etherne網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行通訊。通過(guò)網(wǎng)絡(luò)，用戶(hù)可以方便進(jìn)行數(shù)據(jù)訪問(wèn)和工業(yè)過(guò)程監(jiān)控，并實(shí)現(xiàn)了更好的晶圓跟蹤。所有地點(diǎn)能夠遠(yuǎn)程信息共享。PHOCUS-iNotch還提供RS-232串口通訊，滿足沒(méi)有Etherne網(wǎng)絡(luò)的工廠設(shè)備使用的需要。PHOCUS-iNotch能夠方便與工廠設(shè)備進(jìn)行系統(tǒng)集成，并很容易根據(jù)現(xiàn)有設(shè)備的需要進(jìn)行安裝和升級(jí)。 系統(tǒng)優(yōu)勢(shì) 缺口Notch通常不超過(guò)2mm，這要求檢測(cè)設(shè)備的圖像采集清晰度非常高；在半導(dǎo)體生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，對(duì)缺口檢測(cè)的速度要求很高；同時(shí)，受到光源、電源等電磁信號(hào)干擾的影響，消除和避免噪音也成為提高檢測(cè)精度的必要手段。 晶圓缺口檢測(cè)系統(tǒng)PHOCUS-iNotch采用圖像識(shí)別技術(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)、定位和分析，有效地避免了上述的種種問(wèn)題，使得生產(chǎn)精度，穩(wěn)定性及效率得到極大的提高。其硬件部分采用PHOCUS-1810高速130萬(wàn)象素智能相機(jī)，保證了高質(zhì)量圖像的采集；檢測(cè)定位部分應(yīng)用優(yōu)納科技自主研發(fā)的iNotch視覺(jué)軟件包，其定位精度高，速度快，一次識(shí)別時(shí)間在100ms以?xún)?nèi)；結(jié)合優(yōu)納最新研發(fā)的LED環(huán)形光源和電源，最大限度地降低了現(xiàn)場(chǎng)噪音對(duì)圖像的影響。PHOCUS-iNotch晶圓缺口檢測(cè)系統(tǒng)可自動(dòng)分辨點(diǎn)缺口和線缺口，最高精度可達(dá)0.1個(gè)象素，性能達(dá)到世界領(lǐng)先水平。 軟件界面 系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)量并標(biāo)注圓心、點(diǎn)缺口位置坐標(biāo)； 自動(dòng)生成圓心—缺口連線； 測(cè)量圓心-缺口距離