一向孱弱的本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)再度讓人驚訝。 　　 在上周于日本舉行的Semicon（全球半導(dǎo)體材料與設(shè)備展會）上，上海中微半導(dǎo)體公司（下稱“中微”）宣布，其獨(dú)立研發(fā)的用于65納米至45納米高端芯片生產(chǎn)的設(shè)備，正式進(jìn)入全球頂級半導(dǎo)體主流設(shè)備市場。 業(yè)內(nèi)人士表示，中微可能已進(jìn)入臺積電、中芯國際采購體系。這兩家國際巨頭一直積極推動設(shè)備與零部件的本地化生產(chǎn)。其中，臺積電的目標(biāo)是，2009年設(shè)備本地化生產(chǎn)的比例將提升到50%。而中芯國際之前也已在北京、天津工廠已采用大陸中科信、北方微電子等本土設(shè)備。 這也是國家“十一五”計(jì)劃將半導(dǎo)體設(shè)備列為關(guān)鍵發(fā)展戰(zhàn)略的背景。信產(chǎn)部副司長丁文武之前對本報(bào)表示，“十一五”期間，中國將力爭在6英寸線設(shè)備上完全自主，8英寸線光刻機(jī)等設(shè)備實(shí)現(xiàn)實(shí)用，12英寸線65納米光刻機(jī)等設(shè)備有所突破。 中微推出的是一臺刻蝕機(jī)與一臺高壓熱化學(xué)沉積機(jī)器，這是中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)首次推出面向上述制程工藝的設(shè)備。中微董事長、CEO尹志堯說，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的成本已成為決定芯片制造公司能否成功的關(guān)鍵之一。全球半導(dǎo)體市場正持續(xù)朝消費(fèi)電子轉(zhuǎn)向，消費(fèi)者對終端價(jià)格的敏感讓上游芯片企業(yè)感受到前所未有的壓力，這為中微帶來了機(jī)會。 尹志堯透露，目前，兩類設(shè)備已經(jīng)向著名的半導(dǎo)體制造公司正式出貨。 國際IT調(diào)研機(jī)構(gòu)Gartner表示，亞洲未來將成為全球半導(dǎo)體制造業(yè)的中心和半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)的熱土，因?yàn)?6%的半導(dǎo)體器件、75%的設(shè)備都銷向這里。 中微崛起的原因，在于它的團(tuán)隊(duì)與背后資本。尹志堯此前曾先后擔(dān)任英特爾半導(dǎo)體技術(shù)高管、設(shè)備龍頭美國應(yīng)用材料公司全球副總裁，專門從事高端技術(shù)研發(fā)。在國際投資者口中，中微已成為本土“應(yīng)用材料”，在其背后，閃耀著華登國際、高盛、光速、紅點(diǎn)、美國科天等國際著名風(fēng)險(xiǎn)投資的名字。 不過，尷尬的是，盡管中微等本土企業(yè)已有明顯突破，但相對產(chǎn)業(yè)鏈其他環(huán)節(jié)，設(shè)備業(yè)仍是目前中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中發(fā)展速度最慢的一環(huán)。