日本Covalent Materials展出直徑為460mm的單晶硅硅錠

時間：2007-11-22

來源：中國傳動網

導語：日本Covalent Materials（原東芝陶瓷）在2007年11月15～16日于東京都內舉行的該公司的技術展上展出了直徑460mm的單晶硅硅錠。

日本Covalent Materials（原東芝陶瓷）在2007年11月15～16日于東京都內舉行的該公司的技術展上展出了直徑460mm的單晶硅硅錠。除用作300mm晶圓裝置的內部部件外，將來還考慮用于450mm晶圓。 此次展出的硅錠將用作300mm刻蝕裝置的上部電極使用的簇射極板（Shower Plate）以及設置在晶圓載物臺上的環(huán)狀調焦環(huán)（Focus Ring）等部材。上述產品該公司均已投產，部件直徑達400mm。利用上述材料培育起來的大口徑硅錠的生長技術是實現450mm晶圓的重要基礎技術。 今后要實現450mm晶圓，還需要進一步減少硅錠內的雜質以及結晶缺陷。該公司計劃利用各種模擬技術來優(yōu)化結晶生長條件以及晶圓的加工研磨條件。半導體業(yè)界計劃2012～2014年在量產線上使用450mm晶圓，該公司也將為實現這一目標繼續(xù)推進開發(fā)。
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