電液伺服閥是在二戰(zhàn)期間由于飛行器等軍事裝備對控制系統(tǒng)快速性動態(tài)精度的更高要求而發(fā)展起來的,并在戰(zhàn)后逐漸用于民用和工業(yè)設(shè)備。它是一種接受模擬量電控制信號,輸出隨電控信號大小和極性變化、且快速響應(yīng)的模擬量流量和(或)壓力的液壓控制閥。根據(jù)其液壓放大器的不同,主要分為噴嘴擋板式伺服閥和射流管式伺服閥。電液伺服閥具有體積小,功率放大率高、直線性好、響應(yīng)速度快、運動平穩(wěn)可靠,能適應(yīng)模擬量和數(shù)字量調(diào)節(jié)等優(yōu)點,在各種電液伺服系統(tǒng)中得到特別的重視。
電液比例閥,是針對伺服控制存在的諸如功率損失大、對液壓過濾要求高、制造和維護費用高、而它提供的快速響應(yīng)性在一般工業(yè)設(shè)備中又往往用不著的情況,是在傳統(tǒng)開關(guān)閥的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。電液比例閥可以根據(jù)輸入電氣信號,按比例對工作油液的壓力、流量和方向進行控制。
比例閥發(fā)展的初期階段,僅是將比例電磁鐵代替普通液壓閥的開關(guān)型電磁鐵或調(diào)節(jié)手柄,工作頻寬小,穩(wěn)態(tài)滯環(huán)大,只能用于開環(huán)系統(tǒng)。20世紀70年代中期至80年代初,比例閥開始采用各種內(nèi)反饋原理,耐高壓、比例電磁鐵和比例放大器技術(shù)日趨成熟。閥的工作頻寬達到5～10Hz,穩(wěn)態(tài)滯環(huán)降低到3%左右。
80年代后,比例閥在設(shè)計上采用了壓力、流量、位移內(nèi)反饋及電校正等手段,使閥的穩(wěn)態(tài)精度、動態(tài)響應(yīng)和穩(wěn)定性都有了進一步提高。除了中位仍有部分死區(qū)外,其控制性能與伺服閥更為接近。
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