浙江晶盛機電股份有限公司最早是使用單獨的過程和溫度控制系統(tǒng)來控制半導體單晶硅生長過程。自從改用了倍?；?PC 的控制技術后，不僅節(jié)省了成本，而且其可擴展性也使項目的實施變得更加便捷。TwinCAT 軟件還能為客戶的知識產(chǎn)權保護注入附加值。

　　浙江晶盛機電股份有限公司(以下簡稱：晶盛機電)總部位于中國浙江省，是全球領先的光伏和半導體設備供應商。晶盛機電憑借其優(yōu)異的設備工藝和多年積累的豐富行業(yè)經(jīng)驗，長期位列全球長晶設備龍頭。過去，晶盛機電一直使用傳統(tǒng)的 PLC 和溫度控制器實現(xiàn)單晶爐的自動化。但溫度控制器的功能有限，并且與 PLC 結(jié)合使用時靈活性太差。因此，晶盛機電轉(zhuǎn)而采用倍?？刂破脚_，它由嵌入式控制器、TwinCAT 自動化軟件和各種 EtherCAT 端子模塊構(gòu)成，并結(jié)合 EtherCAT 工業(yè)以太網(wǎng)總線，能夠輕松、靈活地連接各類現(xiàn)場設備。這種集成式控制平臺取代了兩臺獨立的設備，可以更靈活地滿足客戶的個性化需求。

　　穩(wěn)定的工藝控制是重中之重

　　單晶生長需要特定的溫度條件。硅原料首先在熔爐中被加熱熔化成液態(tài)硅，然后提拉頭上的單晶籽晶被浸入熔融的硅液中，開始進行晶體生長。熔融硅液必須保持在一定溫度，緩慢旋轉(zhuǎn)籽晶，并向上提拉，使熔融硅液凝固，逐漸長大到所需直徑的單晶硅錠。半導體單晶硅的優(yōu)點是其取向非常均勻，因此具有較高的轉(zhuǎn)換效率，它們被切割成硅片后可用于制作太陽能電池組件。

　　這需要精確的順序控制和長時間(數(shù)天至半個月)穩(wěn)定的生長過程控制。其中，溫度控制尤為重要，因為溫度不均勻可能會導致多晶材料在生長時出現(xiàn)晶格結(jié)構(gòu)缺陷。單晶爐持續(xù)運行時，控制系統(tǒng)需要處理大量數(shù)據(jù)。不過，這對于倍福的嵌入式控制器來說不成問題。適合 DIN 導軌安裝的工業(yè)級控制器在惡劣的環(huán)境條件下表現(xiàn)相當出色。晶盛機電一開始使用的是 CX1030 嵌入式控制器，隨著項目需求的增加，目前采用 CX9020 或 CX8190 作為中央設備控制器。隨著 CPU 性能的不斷提升，倍?？刂破鞯男阅芤仓鹉暝鰪?，幫助晶盛機電不斷優(yōu)化和提升其控制系統(tǒng)，從而提高了產(chǎn)品競爭力。

　　晶盛機電主要使用 TwinCAT 2 控制軟件，但對于某些項目需要使用新功能時，可以方便地切換到 TwinCAT 3 軟件平臺。在進行切換時，只需對代碼稍作改動，就可以擴展和升級原有項目。此外，TwinCAT 還支持多種通信協(xié)議，可以實現(xiàn)主控制系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)和磁場產(chǎn)生系統(tǒng)等子系統(tǒng)的通信。這樣可以無縫地傳輸和共享信息，提高系統(tǒng)的整體效率和協(xié)同性。

　　晶盛機電高級專家王先生

　　對倍福軟硬件平臺給予了很高的評價：

　　“TwinCAT 軟件成熟穩(wěn)定，其靈活的編程方式方便處理各類數(shù)據(jù)。此外，基于 PC 的控制架構(gòu)簡化了控制器與集控系統(tǒng)的連接，從而簡化了生產(chǎn)系統(tǒng)和企業(yè)系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)交換?！?/p>

　　單晶爐不間斷穩(wěn)定運行數(shù)天至兩周是確保高質(zhì)量半導體單晶生長的重要前提

　　由于 EtherCAT 具有實時通信能力，晶盛機電可以從眾多可用的 EtherCAT 端子模塊中進行選擇。

　　王先生解釋道：“EtherCAT 的分布式 I/O 模塊給項目帶來了極大的便利，拓撲結(jié)構(gòu)靈活不受限制，具有非常多樣的配置選擇。我們可以根據(jù)不同項目的需求與成本進行選擇。倍福的 EtherCAT 產(chǎn)品簡單易用且兼容性好，可替換不同廠家的從站產(chǎn)品，在保證 EtherCAT 產(chǎn)品一致性前提下完全不影響整體性能和穩(wěn)定性。由于 EtherCAT 無需交換機或其它有源器件，安裝和維護成本大大降低，同時也簡化了系統(tǒng)的布線和調(diào)試工作?！?/p>

　　多任務處理便于程序加密

　　單晶爐控制程序的核心之一是溫度控制，客戶需要高度保密這部分知識產(chǎn)權。TwinCAT 模塊化自動化軟件的優(yōu)勢在于，用戶可以方便地將整套控制程序根據(jù)其重要性，分離出多套子任務程序由不同用戶獨立管理。不同子任務程序的數(shù)據(jù)交換可通過變量映射實現(xiàn)。這些任務將在 TwinCAT 的 Runtime 中被調(diào)用。這種模塊化的設計使得系統(tǒng)的維護和開發(fā)更加靈活和高效。晶盛機電采用多 PLC 任務處理，將核心工藝算法封裝在單個 PLC 程序中。為了保護核心算法程序的安全性，晶盛機電將程序保存為無法反編譯的二進制代碼。此外，程序部署也非常方便，只需要復制這些二進制代碼文件到目標控制器上，即可實現(xiàn)程序的下載。

　　隨著新一輪技術創(chuàng)新的迭代升級，王先生說道：“晶盛機電推出了基于開放平臺架構(gòu)的第五代單晶爐，其最大的亮點在于改變了傳統(tǒng)的封閉控制系統(tǒng)模式，配置了基于開放架構(gòu)的用戶可編程的軟件定義工藝平臺。該平臺可以基于 TwinCAT 的 Automation Interface 功能通過高級語言編程自動創(chuàng)建 TwinCAT XAE 組態(tài)實現(xiàn)。終端客戶可根據(jù)平臺接口，將自己的特殊制程工藝制作成模塊供平臺調(diào)用。這大大提高了終端用戶開發(fā)個性化工藝的能力，助力他們在技術上持續(xù)創(chuàng)新提升競爭力?！?/p>

　　2023 年，晶盛機電代表團訪問了倍福威爾總部(從左到右)：何超博士(負責倍福中國的區(qū)域銷售經(jīng)理，來自倍福德國總部)、華長盛博士(倍福中國數(shù)據(jù)科學與工程部經(jīng)理)、馬興凱(倍福中國總經(jīng)理)、Hans Beckhoff(倍福全球總裁)、曹建偉博士(晶盛機電董事長)、涂瑾(晶盛機電總裁助理)和 Kai Ristau(倍福全球銷售總監(jiān))