為了快速、可靠地測量微小組件和特征的表面輪廓，對運(yùn)動和控制系統(tǒng)以及傳感器技術(shù)提出了高要求，從而確保最終產(chǎn)品滿足功能和質(zhì)量要求。選擇要使用的傳感器技術(shù)取決于傳感器分辨率、測量范圍和數(shù)據(jù)采集速度等標(biāo)準(zhǔn)。
該運(yùn)動解決方案的主要特點(diǎn)
·緊湊且經(jīng)濟(jì)的設(shè)計(jì)
·高度可重復(fù)的運(yùn)動路徑
·極小的測量光斑尺寸
·高傳感器帶寬和分辨率，可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)
·使用步進(jìn)掃描算法實(shí)現(xiàn)更高的吞吐量
1、XY軸 - 傳感器快速步進(jìn)和掃描運(yùn)動
·無鐵芯線性電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)高動態(tài)、精密且平穩(wěn)的運(yùn)動，完成快速步進(jìn)和掃描
·絕對編碼器，避免參考并確保操作安全?
·XY拖鏈電纜管理，可保持電纜完整性并延長使用壽命
2、Z軸 - 傳感器的精密垂直運(yùn)動
·高精度滾珠絲杠線性平臺，配有步進(jìn)電機(jī)和制動閘，運(yùn)行可靠，定位簡單且極其穩(wěn)定?
·折疊式傳動系統(tǒng)和緊湊的設(shè)計(jì)，節(jié)省安裝空間?
·輕量化設(shè)計(jì)，可保持龍門動態(tài)性?
·價(jià)格經(jīng)濟(jì)，交付時間短
3、Z軸 - 用于距離控制的傳感器聚焦
·音圈直接驅(qū)動電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)無摩擦運(yùn)行、高掃描頻率與快速步進(jìn)和穩(wěn)定
·高分辨率線性編碼器，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的位置反饋
·可調(diào)節(jié)的重力補(bǔ)償，確保安全運(yùn)行
4、測量表面深度 - 光學(xué)距離傳感器
·光斑尺寸最小可達(dá)2微米，可以測量微小特征，并實(shí)現(xiàn)極其精密的定位?
·工作距離范圍廣，允許選擇各種任務(wù)和測量范圍?
·分辨率高、速度快，可實(shí)現(xiàn)動態(tài)自動聚焦補(bǔ)償和高產(chǎn)出量?
5、先進(jìn)的自動化控制
·EtherCAT運(yùn)動控制和驅(qū)動模塊提供開放式網(wǎng)絡(luò)連接
·將傳感器輸出轉(zhuǎn)換為位置數(shù)據(jù)，通過模擬接口或數(shù)字接口實(shí)現(xiàn)快速輸出
·廣泛的運(yùn)動控制器算法，在確保快速運(yùn)動和穩(wěn)定的同時，完成平滑掃描?
對于基于激光的傳感器，還需要考慮焦點(diǎn)尺寸或測量場或視野面積以及聚焦能力。配置運(yùn)動控制系統(tǒng)時，需要確保傳感器快速而精確地放置在感興趣的點(diǎn)或區(qū)域。要滿足此要求，需要能夠快速移動到位置且具有短穩(wěn)定時間，或者快速、均勻地掃描特定區(qū)域。
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