2月20日,據(jù)日刊工業(yè)新聞報道,電子元器件廠商Qualtec將于2027年開始大規(guī)模生產超寬帶隙半導體材料二氧化鍺 (GeO2) 晶圓。
據(jù)了解,GeO2被認為是下一代功率半導體,并且是使用即將普及的碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)的下一代化合物半導體的候選者。與SiC相比,GeO2制成的功率半導體在高電壓和高輸出范圍內表現(xiàn)出良好性能的潛力。
目前,該公司正在與主要開發(fā)商Patentix合作,以盡快將其推向市場。
Qualtec計劃在2027年之前提供用于設備原型開發(fā)的2英寸外延晶圓樣品。與此同時,該公司還將努力把用于大規(guī)模生產的襯底直徑增加到4-6英寸。通過利用Patentix的研究成果,讓GeO2晶圓直徑增大的同時,也有望實現(xiàn)缺陷更少且低成本的薄膜沉積。
值得一提的是,2023年12月,Qualtech向立命館大學創(chuàng)業(yè)公司Patentix投資5000萬日元(折合人民幣約239萬元),結成資本與業(yè)務聯(lián)盟。8月,該公司在草津市開設實驗室,以支持Patentix的研發(fā),并正在考慮GeO2外延片的制造。由GeO2晶圓制成的器件預計將應用于電源、電機和逆變器上。
目前,參與以Patentix為中心的“琵琶湖半導體計劃”的公司數(shù)量正在不斷增加,該計劃目標是盡快實現(xiàn)GeO2功率半導體的商業(yè)化。Qualtech將加速開發(fā)GeO2外延片量產技術并推進其實際應用。