ACS智能驅(qū)動(dòng)器模塊IDM系列

時(shí)間：2023-09-15

來源：ACS Motion Control

導(dǎo)語：使用ACS智能驅(qū)動(dòng)器模塊提高半導(dǎo)體、電子和顯示器先進(jìn)制程制造設(shè)備的分辨率和吞吐量

　　使用ACS智能驅(qū)動(dòng)器模塊提高半導(dǎo)體、電子和顯示器先進(jìn)制程制造設(shè)備的分辨率和吞吐量

　　·先進(jìn)的伺服控制算法和性能優(yōu)化工具

　　·高速位置比較輸出(PEG)和捕獲功能，適用于檢測(cè)和量測(cè)應(yīng)用

　　·用于多軸高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的多軸驅(qū)動(dòng)模塊

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