AWM 真空專用電機

　　半導體行業(yè)真空應用

　　隨著半導體行業(yè)不斷的發(fā)展壯大，為計算機、互聯(lián)網(wǎng)、手機等各領域做出了貢獻，帶領我們進入大數(shù)據(jù)和人工智能的新時代。

　　然而半導體組件的制造是一個非常復雜的過程，它需要配套納米級芯片制程關(guān)鍵量測檢測設備，提升良率，此外，高端芯片檢測、量測設備需要在高真空環(huán)境下長期保持高精定位，以防止制造過程中的任何顆粒污染或不需要的化學反應，這對真空電機的要求極高。

　　關(guān)鍵挑戰(zhàn)—釋氣

　　在真空環(huán)境中工作的主要挑戰(zhàn)之一是“釋氣”，這是真空應用中的一個關(guān)鍵因素。釋氣是指通過蒸發(fā)、解吸或滲入，將已溶解、吸收或捕獲的氣體釋放到真空環(huán)境中，進而影響設備腔體的真空環(huán)境。這意味著隨著時間的流逝，釋氣持續(xù)發(fā)生，所以必須有效地提高抽速以保持一定的真空度。此外，在釋氣過程中釋氣產(chǎn)物可能會凝結(jié)在表面上造成污染。

　　AWM系列電機

　　雅科貝思研發(fā)設計的真空兼容無鐵芯直線電機—— AWM 系列，可在低至 10^-7 torr真空壓力的高真空條件下使用。AWM 系列的線圈和磁軌均由真空兼容材料制成，這些材料經(jīng)過特殊選擇和單獨測試，以確保每種材料都滿足釋氣和 RGA 要求。同時，雅科貝思在生產(chǎn)制造過程中，采用特殊的真空工藝，確保 AWM 系列電機生產(chǎn)制造的每個環(huán)節(jié)都在嚴格地管控環(huán)境中，以防止在過程中吸收氣體。

　　此外，為了滿足真空需求以及高無塵潔凈等級，達到最大限度地減少污染、清潔電機和運輸前的雙重真空包裝的目的，雅科貝思真空電機的搬運、運送、包裝等流程都有著特殊的要求，包括使用適用于真空的材料、工具和設備等。

　　電機優(yōu)勢及應用

　　AWM系列有多種尺寸可供選擇，持續(xù)力范圍從4.5N到769N，可滿足不同應用。

　　真空平臺(AWM電機集成)

　　此平臺為疊加XY結(jié)構(gòu)，真空度可滿足 10^-7 torr。

　　平臺使用支持真空環(huán)境的無鐵芯直線電機，真空導軌以及真空光學編碼器;靜態(tài)抖動低至 +/-5 nm，可提供定制化磁屏蔽設計。

　　主要應用于前端/后端晶圓缺陷及關(guān)鍵尺寸檢測、電子束光刻等。

　　真空平臺3D模型

　　真空電機定制服務

　　雅科貝思以其前瞻性，長期以來對于真空適應性電機投入大量研發(fā)資源，目前已擁有成熟的工藝及先進的配套生產(chǎn)、測試設備。

　　除上述AWM標準電機系列外，雅科貝思接受其他類型電機的真空版本定制，包括直線電機，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(DDR)，音圈電機(VCM)。