EUV光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備，只有ASML公司才能生產(chǎn)，單臺(tái)售價(jià)約10億人民幣。價(jià)值不菲的光刻機(jī)，同時(shí)也是個(gè)十足的紙老虎，它的耗電量十分驚人，生產(chǎn)一天，大約需要消耗3萬(wàn)度電左右!工作一年就要消耗1000萬(wàn)度電。
據(jù)報(bào)道，因?yàn)榻衲臧雽?dǎo)體形勢(shì)變化，EUV光刻機(jī)反而因?yàn)楹碾娞啵?a target="_self" rel="nofollow">臺(tái)積電計(jì)劃關(guān)閉省電。
來(lái)自產(chǎn)業(yè)鏈的消息人士手機(jī)晶片達(dá)人的消息稱(chēng)，由于先進(jìn)制程產(chǎn)能利用率開(kāi)始下滑，而且評(píng)估之后下滑時(shí)間會(huì)持續(xù)一段周期，臺(tái)積電計(jì)劃從年底開(kāi)始，將部分EUV 設(shè)備關(guān)機(jī)，以節(jié)省EUV設(shè)備巨大的耗電支出。
據(jù)了解臺(tái)積電目前擁有大約80臺(tái)EUV光刻機(jī)，主要用于7nm、5nm及以下的先進(jìn)工藝，今年9月份還會(huì)量產(chǎn)3nm工藝，都需要EUV光刻機(jī)，然而隨著PC、手機(jī)、顯卡等產(chǎn)品的需求下滑，先進(jìn)工藝生產(chǎn)的芯片勢(shì)必會(huì)受到影響。
蘋(píng)果今年的iPhone 14 Pro系列的A16處理器也沒(méi)有急著上3nm工藝，還在用4nm工藝，此外蘋(píng)果還因?yàn)?nm能效問(wèn)題，取消了初代3nm生產(chǎn)芯片的計(jì)劃。
相比之前的DUV光刻機(jī)，EUV光刻機(jī)需要使用高能激光器，而且光線(xiàn)會(huì)多次折射導(dǎo)致?lián)p耗極大，早期效率只有0.02%，現(xiàn)在量產(chǎn)的說(shuō)是可以達(dá)到2%效率，但也意味著絕大多數(shù)電力都要消耗掉。
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