XPlanar

　　助力實(shí)現(xiàn)無(wú)磨損晶圓輸送

　　XPlanar 系統(tǒng)是一款集傳統(tǒng)輸送技術(shù)諸多優(yōu)點(diǎn)于一身的平面磁懸浮產(chǎn)品輸送系統(tǒng)，可在半導(dǎo)體設(shè)備制造中為在一個(gè)工具內(nèi)以及在幾臺(tái)設(shè)備之間處理晶圓及其它產(chǎn)品提供了各種全新的選擇：XPlanar 系統(tǒng)的動(dòng)子/托盤(pán)運(yùn)動(dòng)是非接觸式的，不會(huì)產(chǎn)生機(jī)械磨損。

　　針對(duì)特定應(yīng)用布局機(jī)器設(shè)備

　　XPlanar 系統(tǒng)為用戶(hù)根據(jù)自己的個(gè)性化需求布局機(jī)器設(shè)備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面，比如矩形、圓形或樹(shù)狀結(jié)構(gòu)，幾乎無(wú)任何限制。機(jī)器設(shè)備的布局可以完全根據(jù)用戶(hù)要求的功能設(shè)計(jì)，XPlanar 系統(tǒng)的大小可以完全根據(jù)用戶(hù)的要求調(diào)整，幫助用戶(hù)避免額外的費(fèi)用支出，節(jié)省寶貴的生產(chǎn)空間。

　　柔性無(wú)磨損工件輸送系統(tǒng)

　　動(dòng)子托盤(pán)按照單獨(dú)定義的路線輸送每個(gè)工件。各個(gè)生產(chǎn)步驟可以根據(jù)需要相互銜接，使得固定的工位序列成為過(guò)去。每個(gè)動(dòng)子托盤(pán)的運(yùn)動(dòng)相互間可以完全解耦：產(chǎn)品可以相互超車(chē)，并且可以在不影響生產(chǎn)流程的情況下從產(chǎn)品流中撤出或進(jìn)入等候區(qū)(例如，用于冷卻)。由于在一個(gè)系統(tǒng)中提供了不同尺寸的動(dòng)子托盤(pán)，因此可以同時(shí)生產(chǎn)不同規(guī)格的產(chǎn)品。XPlanar 系統(tǒng)具有卓越的動(dòng)態(tài)性能和機(jī)器人的高精度，是處理不同批量大小和產(chǎn)品規(guī)格變化的高效定位系統(tǒng)。動(dòng)子托盤(pán)根據(jù)為每個(gè)產(chǎn)品單獨(dú)定義的復(fù)雜 XY 幾何圖形運(yùn)動(dòng)。

　　大幅減少清潔和維護(hù)工作量

　　XPlanar 系統(tǒng)的一大特點(diǎn)就是它能夠大幅減少清潔和維護(hù)工作量。與傳統(tǒng)的輸送系統(tǒng)相比，XPlanar 不需要使用導(dǎo)軌、滑輪或潤(rùn)滑系統(tǒng)。系統(tǒng)所需的定期維護(hù)間隔時(shí)間大幅減少，從而可以顯著提高系統(tǒng)的可用性。系統(tǒng)的另外一個(gè)優(yōu)勢(shì)是：所有平面模塊和動(dòng)子托盤(pán)表面都非常光滑，沒(méi)有死角。為了在特別苛刻的環(huán)境中使用，XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質(zhì)，方便清潔，無(wú)需使用任何清潔劑，也不會(huì)影響動(dòng)子托盤(pán)的懸浮性能。