近年來(lái)，因?yàn)楦鞣N因素的影響，我們開(kāi)始對(duì)原本少有人涉及的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有了廣泛的了解。光刻膠，作為其中一個(gè)重要環(huán)節(jié)，也頻頻見(jiàn)諸于報(bào)端。正如很多報(bào)道所說(shuō)的一樣，這是一個(gè)被日美近乎壟斷的市場(chǎng)，尤其是日本，更是其中不可或缺的重要角色。在這種重要性的驅(qū)動(dòng)下，國(guó)內(nèi)也涌入了很多光刻膠參與者。關(guān)于他們的進(jìn)展和水平，在我們之前的文章《一線工程師眼中的國(guó)產(chǎn)光刻膠》里已經(jīng)有了很詳細(xì)的介紹。

　　在本文里，我們談一下對(duì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠的野望。

　　光刻膠對(duì)晶圓廠的影響會(huì)放大1500倍

　　據(jù)相關(guān)報(bào)道，2019年，臺(tái)積電由于其化學(xué)原料供應(yīng)商提供的一批光刻膠中某特定成分處理方式與過(guò)去相異，導(dǎo)致光刻膠產(chǎn)生異質(zhì)聚合物，造成臺(tái)積電晶圓14B廠生產(chǎn)的12nm及16nm晶圓報(bào)廢達(dá)10萬(wàn)片(初步估算的數(shù)字)。10萬(wàn)片晶圓，如果按照臺(tái)積電每片賣(mài)價(jià)5,500美元，加起來(lái)?yè)p失超過(guò)5.5億美元，毛利率減少2.6個(gè)百分點(diǎn)。加上股價(jià)跌勢(shì)，臺(tái)積電的損失超過(guò)了40億美元，影響客戶包括蘋(píng)果、NVIDIA、AMD等重量級(jí)客戶。

　　我們簡(jiǎn)單測(cè)算，假設(shè)當(dāng)時(shí)主要應(yīng)用的是Krf的光刻膠，平均每加侖的購(gòu)買(mǎi)成本是8000人民幣，平均一加侖光刻膠可用于大約300片晶圓，那這一批報(bào)廢晶圓大概對(duì)應(yīng)333加侖光刻膠，總價(jià)值250萬(wàn)人民幣。而正就是這一批價(jià)值僅250萬(wàn)的光刻膠，給臺(tái)積電帶來(lái)的直接損失約合人民幣38.5億人民幣，是本身價(jià)值量的1500倍，如果算上間接損失約280億人民幣，那整個(gè)杠桿效應(yīng)高達(dá)11200倍。

　　由此可見(jiàn)，雖然光刻膠在整個(gè)芯片制造中的成本占比約6%，但是這些材料是無(wú)法替代的，也是所有材料中技術(shù)工藝難度最高的，保質(zhì)期只有6～9個(gè)月，其作用相當(dāng)于坦克/戰(zhàn)機(jī)的汽油，一旦品質(zhì)不過(guò)關(guān)或者供應(yīng)不到位，整個(gè)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈就會(huì)停滯甚至崩潰。

　　此外，光刻膠還有純度要求，在儲(chǔ)存、運(yùn)輸?shù)拳h(huán)節(jié)上也有污染風(fēng)險(xiǎn)。

　　首先看純度，這是光刻膠最核心的標(biāo)準(zhǔn)之一。在晶圓廠，一般用金雜(即金屬離子表征光刻膠純度)來(lái)衡量光刻膠的純度，而一般我們衡量的金屬含量包括Fe, Zn,Ca,K, Na, Cu等，高端的在1ppb以下(即10^-12), 國(guó)內(nèi)目前慢慢接近2～10ppb。光刻膠純度不足會(huì)造成芯片良率下降，甚至污染事故，例如剛才所提到的臺(tái)積電光刻膠污染事故。

　　其次看儲(chǔ)存，這方面一般會(huì)受下述多個(gè)因素的影響：

　　(1)光照條件：光刻膠在儲(chǔ)存過(guò)程中會(huì)老化，因此通常保存在防紫外光的棕色玻璃試劑瓶中(一加侖包裝，部分電子束膠由于對(duì)紫外波段不感光，有可能直接使用白色塑料瓶包裝)，10C以下冷藏保存，并且紫外光刻膠只能在黃光(λ> 500 nm)下進(jìn)行處理。而就是這樣的一個(gè)儲(chǔ)存瓶子，國(guó)內(nèi)目前的技術(shù)還無(wú)法生產(chǎn)，100%需要進(jìn)口。

　　(2)溫度條件：對(duì)于絕大多數(shù)紫外光刻膠而言，通常的保存條件是5-10℃下保存(除制造商要求的特殊保存溫度外)。

　　(3)膜度控制：如果頻繁打開(kāi)光刻膠試劑瓶會(huì)導(dǎo)致溶劑蒸發(fā)，光刻膠會(huì)增稠并因此產(chǎn)生較厚的膜。對(duì)于膜厚為1.4 ?m的光刻膠，僅損失1%的溶劑就已經(jīng)導(dǎo)致4%的膜厚，因此帶來(lái)的影響是厚度偏移，厚度與CD 的swing curve(入射光與底層反射的二次干涉引起的駐波效應(yīng))強(qiáng)相關(guān)，一旦偏移會(huì)造成產(chǎn)線CD關(guān)鍵尺寸異常，產(chǎn)品返工。所以產(chǎn)線量產(chǎn)型光刻膠絕對(duì)不允許開(kāi)封，都是直接裝到機(jī)臺(tái)的光阻chemical box中直接使用，因此一般光刻膠對(duì)于膜厚控制的敏感度來(lái)自于光刻膠的批次穩(wěn)定性以及老化穩(wěn)定性，在裝機(jī)后的使用周期內(nèi)，要確保恒溫恒壓恒濕條件。

　　最后，我們看一下光刻膠對(duì)運(yùn)輸?shù)囊Ｓ捎诠饪棠z屬于三類(lèi)危險(xiǎn)品，全程需冷鏈運(yùn)輸，運(yùn)輸要求非常高。近年來(lái)，全球受疫情影響，國(guó)際航空貨運(yùn)運(yùn)力持續(xù)緊張，對(duì)于光刻膠這種危險(xiǎn)品，物流鏈條上還存在危冷庫(kù)周轉(zhuǎn)率低、?；凡轵?yàn)時(shí)間長(zhǎng)等因素。

　　日本對(duì)韓國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)打壓的啟示

　　2019年7月，日韓關(guān)系惡化，日本政府宣布正式實(shí)施對(duì)韓國(guó)半導(dǎo)體材料的出口限制，包括用于制造折迭屏幕的含氟聚酰亞胺、用于先進(jìn)工藝芯片制造的EUV光刻膠、用于顯示器和芯片的高純度氟化氫，這給韓國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來(lái)巨大沖擊，也進(jìn)一步?jīng)_擊全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈和電子市場(chǎng)。

　　追溯整個(gè)事情的起因，歸咎于冷漠的日韓兩國(guó)關(guān)系。這個(gè)既是歷史的追責(zé)，也是政治的博弈。日本方面一直拒絕就慰安婦問(wèn)題承擔(dān)法律責(zé)任，也拒絕提供“國(guó)家賠償”，為此引起了韓國(guó)方面強(qiáng)烈不滿。2018年韓國(guó)最高法院裁定，日企新日鐵住金需向二戰(zhàn)當(dāng)年強(qiáng)征勞工的受害者原告賠償，由此引發(fā)后續(xù)日韓關(guān)系的逐漸破裂。2019年的斷供行為，是日本向韓國(guó)進(jìn)行的“經(jīng)濟(jì)報(bào)復(fù)”，以經(jīng)濟(jì)手段施壓，逼迫對(duì)方就范，以達(dá)到政治目的。

　　在這種情況下，韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開(kāi)啟了自救之路。

　　韓國(guó)貿(mào)易協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)顯示，2018年韓國(guó)經(jīng)濟(jì)增速只有2.7%，創(chuàng)6年新低，出口總額達(dá)6055億美元，其中半導(dǎo)體占總出口總額的21%。一旦韓國(guó)半導(dǎo)體出口遭到重創(chuàng)，意味著韓國(guó)出口增長(zhǎng)可能遭到重大打擊，也將嚴(yán)重阻滯韓國(guó)經(jīng)濟(jì)。

　　自日本斷供后，作為半導(dǎo)體的關(guān)鍵材料，韓國(guó)也通過(guò)以下幾種方式，積極謀求光刻膠領(lǐng)域的自救之路：

　　(1)積極尋找替代廠商。

　　韓國(guó)企業(yè)從第三國(guó)比利時(shí)打通光刻膠的進(jìn)口渠道。比利時(shí)的光刻膠供應(yīng)商或?yàn)槿毡净瘜W(xué)企業(yè)JSR和比利時(shí)微電子研究中心于2016年設(shè)立的合資公司，2019年韓國(guó)企業(yè)從比利時(shí)進(jìn)口了比以往高10倍的光刻膠產(chǎn)品，同時(shí)對(duì)日本光刻膠依賴(lài)度下降了50%。但是據(jù)調(diào)查，比利時(shí)的光刻膠最終來(lái)源依舊是日本公司。所以說(shuō)，韓國(guó)這一措施，雖然解決了燃眉之急，但依舊無(wú)法從根本上解決光刻膠被卡的問(wèn)題。

　　(2)政府的大力支持。

　　面對(duì)日本的限供，韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部決定對(duì)半導(dǎo)體材料、零部件與設(shè)備研發(fā)投入6萬(wàn)億韓元(約50億美元)預(yù)算，以推動(dòng)對(duì)核心技術(shù)、原材料和關(guān)鍵零部件的開(kāi)發(fā)。韓國(guó)政府制定了“材料、零部件、設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)力提升方案”，大力扶持相關(guān)核心技術(shù)研發(fā);計(jì)劃投入一切政策資源提高本國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)產(chǎn)化比例;還成立了民政合作的“材料與零部件需求供應(yīng)支持中心”。同時(shí)，韓國(guó)時(shí)隔20年重新修訂《材料零部件與設(shè)備產(chǎn)業(yè)特別法》，呼吁企業(yè)加大技術(shù)研發(fā)和投資力度，與零部件材料廠商相輔相成，合力擺脫幾十年來(lái)對(duì)外國(guó)技術(shù)、零部件供應(yīng)的依賴(lài)。

　　(3)領(lǐng)先企業(yè)加速?lài)?guó)產(chǎn)替代。

　　韓國(guó)領(lǐng)先半導(dǎo)體企業(yè)從自身需求出發(fā)，一邊開(kāi)拓采購(gòu)渠道，另一邊扶持本土半導(dǎo)體材料、設(shè)備等玩家發(fā)展、推動(dòng)提升本土產(chǎn)業(yè)鏈完備程度。2020年8月份，韓國(guó)政府推出一個(gè)擴(kuò)大的半導(dǎo)體材料測(cè)試設(shè)施，其中所使用的光刻機(jī)也是由三星以低于市場(chǎng)價(jià)的價(jià)格提供。

　　2021年，據(jù)etnews介紹，韓國(guó)東進(jìn)半導(dǎo)體與三星電子攜手，利用自身現(xiàn)有的氟化氬曝光機(jī)、比利時(shí)半導(dǎo)體研究所IMEC EUV設(shè)備等基礎(chǔ)設(shè)施，成功開(kāi)發(fā)出EUV光刻膠，并在三星電子的華城 EUV 生產(chǎn)線上進(jìn)行了測(cè)試，并獲得了最終的認(rèn)證。正式意味著韓國(guó)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。除了EUV光刻膠的進(jìn)程外，Krf、低端Arf光刻膠已在韓國(guó)實(shí)現(xiàn)部分量產(chǎn)應(yīng)用。

　　韓國(guó)作為芯片制造大國(guó)，憑借政府的利好政策、頭部芯片企業(yè)的帶動(dòng)作用等，初步緩解了被日本在半導(dǎo)體材料上卡脖子的窘境，但短期內(nèi)仍舊無(wú)法擺脫對(duì)日本半導(dǎo)體材料、設(shè)備的依賴(lài)。有意思的是，限韓令發(fā)布兩個(gè)月之后，日本解禁一批對(duì)韓出口半導(dǎo)體材料，其中包括7nm先進(jìn)制程至關(guān)重要的EUV光刻膠。由此可見(jiàn)，光刻膠在整個(gè)芯片制造中的重要性也就不言而喻了，未來(lái)，中國(guó)只有真正的實(shí)現(xiàn)了光刻膠的100%自主化生產(chǎn)，才能從根本上消除芯片制造領(lǐng)域材料被卡脖子的風(fēng)險(xiǎn)。

　　中美芯片之爭(zhēng)：從終端到設(shè)備最后是材料

　　回顧歷史，2018年4月，美國(guó)聯(lián)邦通信委員會(huì)(FCC)發(fā)布新規(guī)，禁止美國(guó)國(guó)內(nèi)通信運(yùn)營(yíng)商采購(gòu)?fù)鈬?guó)企業(yè)的通信設(shè)備，作為受限對(duì)象企業(yè)考慮的是華為技術(shù)和中興通訊(ZTE)。2020年美國(guó)又開(kāi)始對(duì)中國(guó)在半導(dǎo)體制造設(shè)備及相關(guān)軟件工具，激光器，傳感器和其他技術(shù)的出口實(shí)行新的限制。新的限制細(xì)則中提到，“2018 年《出口管制改革法案》(ECRA)第 1758 條(《美國(guó)法典》第 50 卷第 4801 條)要求美國(guó)商務(wù)部對(duì)新興基礎(chǔ)技術(shù)的出口、再出口或轉(zhuǎn)讓制定適當(dāng)?shù)墓苤拼胧?。?/p>

　　2022年5月，硅谷知名科技媒體《The Information》報(bào)道稱(chēng)，美國(guó)商務(wù)部正在考慮擴(kuò)大對(duì)中國(guó)企業(yè)出售芯片制造原材料及設(shè)備的禁令。該禁令將限制美國(guó)原材料和設(shè)備供應(yīng)商向中國(guó)公司供貨，將針對(duì)包括華虹半導(dǎo)體、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)和長(zhǎng)江存儲(chǔ)在內(nèi)的中國(guó)半導(dǎo)體公司，在中國(guó)大陸設(shè)廠的海外企業(yè)可能也因此被波及。同時(shí)，美國(guó)也可能說(shuō)服日本、荷蘭等半導(dǎo)體設(shè)備商采取類(lèi)似規(guī)則，確保中國(guó)公司無(wú)法向其他國(guó)家購(gòu)買(mǎi)設(shè)備。報(bào)道提到了韓國(guó)的SK海力士、德國(guó)的英飛凌、荷蘭的恩智浦半導(dǎo)體和美國(guó)的德州儀器等，稱(chēng)其將面臨與中國(guó)公司相同的出口管制規(guī)則。

　　正所謂“一代芯片，一代設(shè)備”，作為制作先進(jìn)制程芯片的必備設(shè)備——EUV光刻機(jī)就是因?yàn)槊绹?guó)的禁令，我們無(wú)法購(gòu)買(mǎi)，這也是我國(guó)半導(dǎo)體芯片環(huán)節(jié)被“卡脖子”的關(guān)鍵，沒(méi)有高端的EUV設(shè)備，我們永遠(yuǎn)也制造不出最先進(jìn)制程的芯片。

　　那為什么美國(guó)現(xiàn)在還沒(méi)有限制或者打壓對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體材料的出口?我們認(rèn)為有以下幾個(gè)原因：

　　(1)中美科技之爭(zhēng)是邊打邊談，雙方都是產(chǎn)業(yè)鏈纏繞，不可能馬上就完全脫鉤和分離，但是對(duì)關(guān)鍵材料的出口限制相當(dāng)于把爭(zhēng)端上升到更尖銳的層面，特別是光刻膠，一旦美國(guó)對(duì)中國(guó)明確全面斷供光刻膠，就是相當(dāng)于要徹底對(duì)中國(guó)芯片制造業(yè)攤牌，相當(dāng)于核武器，光是部分限供的影響和沖擊也是巨大的，會(huì)帶來(lái)相關(guān)公司馬上停產(chǎn)的危機(jī)。這會(huì)成為美國(guó)和中國(guó)博弈非常重要的一個(gè)籌碼。

　　(2)半導(dǎo)體材料的強(qiáng)國(guó)是美國(guó)日本，且日本的材料產(chǎn)業(yè)鏈相對(duì)更加完整，美國(guó)公司參與進(jìn)去的不多，如果美國(guó)政府想通過(guò)立法或者別的形式，并沒(méi)有能夠直接禁止日本公司對(duì)中國(guó)出口相關(guān)材料的理由。除非美國(guó)政府強(qiáng)制日本執(zhí)行，這就要美國(guó)和中國(guó)攤牌，且獲取盟國(guó)對(duì)此行為的一致認(rèn)可，這樣做比當(dāng)前限制高端芯片制造設(shè)備的政治代價(jià)高得多，且具體操作的難度更大;

　　(3)美國(guó)的產(chǎn)經(jīng)界人士對(duì)中國(guó)芯片制造業(yè)的發(fā)展階段判斷，認(rèn)為中國(guó)大陸還處在追趕階段，相關(guān)設(shè)備與專(zhuān)利的限制已經(jīng)足夠卡住發(fā)展進(jìn)程，設(shè)備都沒(méi)有就更加不用考慮高端材料的問(wèn)題了。但是一旦國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)步神速，或者全面突破，對(duì)關(guān)鍵材料的限制必然會(huì)成為下一個(gè)“制裁”點(diǎn);

　　(4)其實(shí)，美國(guó)已經(jīng)在科技做脫鉤，或者說(shuō)部分脫鉤的準(zhǔn)備工作。知情人士透露，美國(guó)商務(wù)部希望制定一套類(lèi)似于適用中芯國(guó)際的規(guī)則限制其他半導(dǎo)體企業(yè)——也就是允許這些中國(guó)公司繼續(xù)生產(chǎn)成熟制程、工藝?yán)吓f的芯片，但嚴(yán)格限制其獲得先進(jìn)制程的工藝和設(shè)備的可能性。美國(guó)人希望在以芯片為基礎(chǔ)的智能科技領(lǐng)域與中國(guó)這樣的戰(zhàn)略挑戰(zhàn)者永遠(yuǎn)保持代差感，甚至是幾代的代差感，從而確保競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)。

　　美日的半導(dǎo)體材料公司會(huì)隨著產(chǎn)業(yè)鏈的迭代不斷開(kāi)發(fā)出更尖端的材料，且供應(yīng)鏈也會(huì)逐步靠攏英特爾、臺(tái)積電、三星這樣的體系，自然而然也會(huì)逐步減少適用于中國(guó)芯片制造業(yè)的材料生產(chǎn)，最后隨著時(shí)間的推移，不僅僅是設(shè)備的限制，關(guān)鍵材料的供應(yīng)被切斷反而成為了美日企業(yè)的正常市場(chǎng)行為，他們要追求更高利率的工藝產(chǎn)品，淘汰老舊產(chǎn)品和市場(chǎng)不夠的產(chǎn)品。最近日本大廠從地震被動(dòng)限供到主動(dòng)限供其實(shí)就是一個(gè)警示訊號(hào)。

　　如果說(shuō)設(shè)備限制是當(dāng)頭一刀，那關(guān)鍵材料特別是光刻膠的限制就是溫水煮青蛙，我國(guó)若無(wú)法突破在半導(dǎo)體材料技術(shù)上的突破，最終將演變成芯片產(chǎn)業(yè)鏈的大潰敗，所以半導(dǎo)體材料特別是光刻膠國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行。

　　我國(guó)半導(dǎo)體光刻膠的進(jìn)展與野望

　　今年3月以來(lái)，上海的疫情日益嚴(yán)峻，但因光刻膠對(duì)芯片制造的重要性，中國(guó)企業(yè)也盡全力保證光刻膠的儲(chǔ)備。據(jù)中國(guó)民航網(wǎng)報(bào)道，4月24日，東航物流旗下中國(guó)貨運(yùn)航空的CK262全貨機(jī)航班飛抵浦東國(guó)際機(jī)場(chǎng)，機(jī)上承載的物資就包括5.4噸光刻膠，這些光刻膠的收貨方，是我國(guó)第二大芯片制造企業(yè)華虹集團(tuán)。據(jù)資料顯示，華虹集團(tuán)每月空運(yùn)光刻膠約數(shù)千瓶。

　　自今年4月以來(lái)，這已經(jīng)是華虹集團(tuán)收到了第2批光刻膠、兩批共計(jì)8.9噸，而這也才剛完成4月光刻膠運(yùn)輸計(jì)劃的部份任務(wù)，這也讓“別人搶菜我搶光刻膠”的金句廣為流傳。以往我們只聽(tīng)過(guò)用飛機(jī)緊急撤僑、飛機(jī)基金運(yùn)輸戰(zhàn)略武器、用飛機(jī)積極投送抗疫緊缺物資，都是屬于戰(zhàn)略性行為，這次的包機(jī)搶購(gòu)光刻膠，再一次證明了光刻膠對(duì)于芯片制造的核心地位，已經(jīng)上升到了國(guó)家戰(zhàn)略層面。

　　近年來(lái)，國(guó)產(chǎn)光刻膠廠商紛紛崛起，在半導(dǎo)體光刻膠層面也取得了不錯(cuò)的進(jìn)展。我們根據(jù)最新的公開(kāi)數(shù)據(jù)整理了主要幾家在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域有布局的公司的產(chǎn)品情況。從研發(fā)與量產(chǎn)進(jìn)度來(lái)看：

　　(1)ArF領(lǐng)域代表著國(guó)產(chǎn)光刻膠的最前沿技術(shù)。

　　在ArF這個(gè)領(lǐng)域，目前國(guó)內(nèi)這幾家光刻膠公司都明確表示要攻關(guān)該領(lǐng)域，但是已經(jīng)有產(chǎn)品出來(lái)并送樣的公司只有上海新陽(yáng)、南大光電、徐州博康(華懋科技)，飛凱材料的Barc也很關(guān)鍵。

　　作為國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)的結(jié)題單位，加上國(guó)家大基金的加持，南大在ArF領(lǐng)域必然是居于領(lǐng)先地位，但是最近的年報(bào)也披露了光刻膠項(xiàng)目的延期，可想而知，這一領(lǐng)域的技術(shù)工藝難度之高。

　　(2)KrF領(lǐng)域更加重視技術(shù)的適用性，國(guó)產(chǎn)光刻膠產(chǎn)品已經(jīng)放量。

　　在這個(gè)領(lǐng)域，南大并沒(méi)有進(jìn)行布局，晶瑞電材還在進(jìn)行客戶端測(cè)試，上海新陽(yáng)的產(chǎn)品已經(jīng)有客戶訂單，而明確表示自身在KrF領(lǐng)域批量供貨的是北京科華(彤程新材)、徐州博康(華懋科技)。

　　在這里，我們對(duì)光刻膠的批量供貨做一些解析。

　　一款光刻膠通過(guò)客戶測(cè)試認(rèn)證后，產(chǎn)品性能基本達(dá)標(biāo)就可以產(chǎn)生小量訂單了，但是批量供貨既要產(chǎn)品性能達(dá)標(biāo)，還要考量公司的工業(yè)化生產(chǎn)能力和對(duì)工藝的控制能力，從工廠的車(chē)間驗(yàn)證到光刻膠產(chǎn)品多批次的穩(wěn)定性，特別是對(duì)之前從來(lái)沒(méi)有批量供應(yīng)光刻膠產(chǎn)品的公司，挑戰(zhàn)更大。

　　(3)i線光刻膠領(lǐng)域重點(diǎn)是品類(lèi)擴(kuò)充以及高分辨i線光刻膠突破。

　　在這個(gè)領(lǐng)域，據(jù)透露，包括晶瑞電材、北京科華(彤程新材)、徐州博康(華懋科技)和上海新陽(yáng)等企業(yè)在這里已經(jīng)有了不錯(cuò)的表現(xiàn)。其中，晶瑞明確了公司i線收入3000-4000W，北京科華(彤程新材)公布數(shù)據(jù)是國(guó)產(chǎn)i線占比達(dá)20%?？紤]到i線的單價(jià)不高，加上國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈已經(jīng)較為成熟，后續(xù)重點(diǎn)觀察各家的銷(xiāo)售收入變量。

　　最后，值得關(guān)注的是，從2021年下半年開(kāi)始，各家光刻膠公司在公開(kāi)場(chǎng)合都開(kāi)始突出自己在光刻膠上游材料的布局。雖然說(shuō)目前最關(guān)鍵的還是先解決光刻膠的配方以及導(dǎo)入問(wèn)題，但是更上游材料體現(xiàn)的是放量供應(yīng)后的規(guī)模以及穩(wěn)定性問(wèn)題。也虧的產(chǎn)業(yè)內(nèi)人士未雨綢繆，這一點(diǎn)特別重要，2021年下半年以來(lái)，據(jù)業(yè)內(nèi)人士消息，因?yàn)樯嫌卧牧蠞q價(jià)問(wèn)題，光刻膠市場(chǎng)均價(jià)上漲20%-30%，側(cè)面也證明，光刻膠的定價(jià)權(quán)不僅僅取決于配方工藝，還應(yīng)該包括上游材料供應(yīng)體系。

　　展望未來(lái)，國(guó)產(chǎn)光刻膠必將取得突破，與之相呼應(yīng)，必將誕生中國(guó)版的千億市值化學(xué)巨頭，代表化學(xué)材料最高水準(zhǔn)的半導(dǎo)體光刻膠只是第一步，這個(gè)確定性幾乎是100%。