海德漢公司是世界上最早制造光刻產(chǎn)品和數(shù)控系統(tǒng)的公司，其光柵尺產(chǎn)品在業(yè)界內(nèi)擁有廣大的用戶群體和廣泛的認(rèn)可度，海德漢的堅(jiān)持創(chuàng)新和研發(fā)推動(dòng)了世界光刻技術(shù)的不斷向前發(fā)展。毋庸置疑，在機(jī)床行業(yè)，海德漢的封閉式光柵尺是極佳的選擇。
近期海德漢推出的最新一代光柵尺LCxx6系列則是光刻領(lǐng)域產(chǎn)品中的集大成之作。由于其超強(qiáng)信號(hào)糾錯(cuò)能力不僅使客戶的總體使用成本大大降低，并且有利于提高客戶設(shè)備的總體可靠性。該系列光柵尺不僅繼承了前幾代產(chǎn)品(LCxx3、LCxx5)的綜合優(yōu)勢(shì)，如單場(chǎng)掃描、高信號(hào)質(zhì)量、低細(xì)分誤差和方便安裝等特點(diǎn)，還創(chuàng)新地使用了最新的光學(xué)掃描系統(tǒng)，這使得即便光柵尺內(nèi)部存在液體或水珠類污染，其掃描質(zhì)量仍不會(huì)受到影響。這將大大提高光柵尺的抗污染特性，對(duì)污染環(huán)境的耐受性等。該產(chǎn)品適用于當(dāng)前市場(chǎng)上常見的數(shù)控系統(tǒng)，如海德漢，西門子，發(fā)那科等，可幫助客戶達(dá)到更加穩(wěn)定、便捷和可靠的使用效果。
舉個(gè)例子，新一代光柵尺LCxx6即便存在液體或水珠污染，光柵尺的最新的光學(xué)掃描系統(tǒng)使得其內(nèi)部光束始終聚焦于標(biāo)準(zhǔn)位置處，因此掃描質(zhì)量將不受影響。 這可以大大提高光柵尺的抗污染特性。 因此，只要滿足空氣純度為ISO 8573-1標(biāo)準(zhǔn)的[3:4:2]級(jí)即可使用，對(duì)于機(jī)床制造商而言則不再需要額外安裝任何附加過(guò)濾器，例如壓縮空氣凈化裝置DA 400，可為客戶降低成本。其次，通過(guò)提高光柵尺本身的耐受性，進(jìn)一步降低其自身的維護(hù)成本。此外客戶無(wú)需更改安裝工藝，因?yàn)樗醒b配尺寸與前代產(chǎn)品完全兼容。這款光柵尺精度最高可達(dá)±3μm，細(xì)分誤差小于信號(hào)周期的±0.5%。接口方面除EnDat, Fanuc, Mitsubishi外，還將滿足DRIVE-CLIQ，Panasonic等系統(tǒng)接口。
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