轉(zhuǎn)塔式測試分選機(jī)ISMC解決方案（完結(jié)）

時間：2022-03-07

來源：ISMC

導(dǎo)語：轉(zhuǎn)塔式測試分選機(jī)技術(shù)要求(這里只介紹后兩種機(jī)型)

伺服控制

　　轉(zhuǎn)塔式測試分選機(jī)技術(shù)要求(這里只介紹后兩種機(jī)型)

　　A常規(guī)編帶機(jī)技術(shù)要求

　　1. 16 - 24個工位/ 15°- 22.5°旋轉(zhuǎn)角度

　　2. 單工位轉(zhuǎn)動時間:18 - 22毫秒

　　3. 向下/向上Z軸的平均移動時間:10ms左右 / 10ms左右

　　4. 轉(zhuǎn)盤慣性:0.003 ~ 0.020 kg.m2之間

　　5. 測試時間:40 - 60毫秒

　　6. 產(chǎn)能:40 - 60 k UPH

　　7. 下壓軸重復(fù)精度: 5~10微米

伺服控制

　　B晶圓級編帶機(jī)技術(shù)要求

　　1. 24-32個工位/ 11.25°- 24°指數(shù)

　　2. 單工位轉(zhuǎn)動時間:35-50毫秒

　　3. 上下Z軸移動時間:8ms / 8ms

　　4. 轉(zhuǎn)盤慣性:0.02~0.5 kg.m2之間

　　5. 測試時間:50 - 100ms

　　6. 產(chǎn)能:15 - 30 k UPH

　　7. 軟著陸

伺服控制

　　轉(zhuǎn)塔式測試分選機(jī)ISMC解決方案

伺服控制

　　DIMOND系列驅(qū)動器介紹

伺服控制

伺服控制

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