PI 產(chǎn)品 I V-308音圈PIFOC-高動(dòng)態(tài)、長行程并具有重力補(bǔ)償功能的新型垂直定位系統(tǒng)

時(shí)間:2021-04-28

來源:普愛納米位移技術(shù)(上海)有限公司

導(dǎo)語:從基因組測序到多光子熒光顯微鏡、深層組織檢查、激光材料加工和晶圓檢驗(yàn),再到研究中的磁性鑷子……顯微鏡學(xué)和工業(yè)中的眾多應(yīng)用中均需要具有長行程、高動(dòng)態(tài)和高精度的垂直定位系統(tǒng)?,F(xiàn)在,PI憑借全新的V-308音圈PIFOC,提供可滿足所有這些要求的基于磁性直接驅(qū)動(dòng)器的解決方案。

  對(duì)中心傳感器進(jìn)行光學(xué)聚焦、掃描或高度調(diào)整

普愛納米

  從基因組測序到多光子熒光顯微鏡、深層組織檢查、激光材料加工和晶圓檢驗(yàn),再到研究中的磁性鑷子……顯微鏡學(xué)和工業(yè)中的眾多應(yīng)用中均需要具有長行程、高動(dòng)態(tài)和高精度的垂直定位系統(tǒng)?,F(xiàn)在,PI憑借全新的V-308音圈PIFOC,提供可滿足所有這些要求的基于磁性直接驅(qū)動(dòng)器的解決方案。

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  全新的V-308音圈PIFOC作為模塊化平臺(tái)提供,其中包括合適的電子器件(此處為C-414控制器)、用于安裝在光學(xué)工作臺(tái)上的接裝板、物鏡支架和轉(zhuǎn)接環(huán)。

V-308 PIFOC的核心元件是一個(gè)單軸滑塊,其基體上裝有高精度橫向交叉滾柱導(dǎo)軌。該滑塊由專為實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)而開發(fā)的居中PIMag音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)。用戶可以通過可調(diào)硬擋塊來限制7毫米長行程的上下兩個(gè)方向。加速度高達(dá)8米/平方秒,最大速度為200毫米/秒。這使得±15納米誤差帶內(nèi)的100納米和250納米步長的步進(jìn)和穩(wěn)定時(shí)間低于15毫秒。因此,可以實(shí)現(xiàn)聚焦單元非??焖俚亩ㄎ弧⒎浅?焖俚臄?shù)據(jù)采集和高生產(chǎn)率。

高分辨率光學(xué)PIOne線性編碼器用于實(shí)現(xiàn)所要求的高精度。可以實(shí)現(xiàn)10納米的最小位移和25納米的雙向重復(fù)精度(在100納米行程下)。

磁重力補(bǔ)償

磁重力補(bǔ)償是新型V-308 PIFOC的一項(xiàng)獨(dú)特功能。這確保了滑塊和裝好的負(fù)載會(huì)在無電源的情況下懸浮,因此可以防止在斷電或關(guān)閉控制器時(shí)發(fā)生失控的墜毀事故。為了靈活地使用該軸(例如切換物鏡時(shí)),用戶可以調(diào)整反作用力并補(bǔ)償高達(dá)1千克的總負(fù)載(物鏡和支架)。因此即使垂直使用,該軸也可以用作水平軸。

緊湊的設(shè)計(jì)和多功能的配件,易于集成

驅(qū)動(dòng)器尺寸為87 x 77 x 30毫米(高/寬/深),結(jié)構(gòu)非常緊湊。接裝板可確保以公制或英制安裝孔布局安裝在光學(xué)工作臺(tái)或板上。提供兩種不同的物鏡支架(分別用于垂直或水平安裝)以及一組用于不同直徑物鏡的轉(zhuǎn)接環(huán)(規(guī)格高達(dá)M32 x 0.75)。

作為標(biāo)配,V-308 PIFOC裝有專門開發(fā)的C-414控制器。此外,也可以使用具有內(nèi)置EtherCAT功能的ACS控制器來操作該軸。用戶可以主動(dòng)控制伺服控制參數(shù)(“增益調(diào)度”),再加上諸如ServoBoost之類的其他ACS功能,可進(jìn)一步提高性能。


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