破浪前行!丹佛斯攜手中國(guó)電科為“芯”賦能

時(shí)間:2020-07-20

來源:丹佛斯(中國(guó))投資有限公司

導(dǎo)語(yǔ):中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地是全國(guó)最大的碳化硅生產(chǎn)基地。由中國(guó)電子十一院設(shè)計(jì),2019年開始建設(shè),2020年3月正式投產(chǎn)。該項(xiàng)目產(chǎn)能預(yù)計(jì)可達(dá)到:N型晶片18萬片/年;高純晶片6萬片/年(其中:6英寸片5萬片/年,4英寸片1萬片/年),均為第三代半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)品。

隨著5G時(shí)代的到來,網(wǎng)絡(luò)傳播速度將會(huì)得到極大幅度的提升,5G速度為何如此之快?正是因?yàn)樗鼡碛幸活w非常強(qiáng)大的心臟,而這顆心臟依賴的就是一片薄如紙的碳化硅晶片。

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碳化硅晶片

強(qiáng)大性能

作為目前全球最先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體材料,雖然從外表看只是個(gè)小圓片,但碳化硅晶片是制造耐高溫、高頻、抗輻射及大功率器件的不二之選。除5G通信外,在國(guó)防、航空航天、新能源汽車、智能電網(wǎng)和通訊基站等領(lǐng)域,也有著廣闊的應(yīng)用前景。

核心科技

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除了功能強(qiáng)大,碳化硅晶片之所以如此珍貴的另一個(gè)更為重要的原因,是碳化硅單晶制備工藝十分復(fù)雜。其中,高穩(wěn)定性的長(zhǎng)晶工藝技術(shù)是其核心,原來只有美國(guó)等少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家掌握。而中國(guó)近年來在碳化硅晶片領(lǐng)域奮力追趕,從基本原理研究逐漸掌握了碳化硅單晶制備技術(shù),并一步一步走向了產(chǎn)業(yè)化。

從長(zhǎng)期依賴進(jìn)口、被國(guó)外卡脖子,到掌握批量生產(chǎn)技術(shù)、實(shí)現(xiàn)完全自主供應(yīng)。近年來,中國(guó)的碳化硅研制與生產(chǎn)成效卓著,中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地可謂功不可沒。目前該基地可生產(chǎn)4英寸高純半絕緣4H-SiC單晶襯底、6英寸高純半絕緣4H-SiC單晶襯底、6英寸N4H-SiC單晶襯底、莫桑晶體。

高效產(chǎn)能

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中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地是全國(guó)最大的碳化硅生產(chǎn)基地。由中國(guó)電子十一院設(shè)計(jì),2019年開始建設(shè),20203月正式投產(chǎn)。該項(xiàng)目產(chǎn)能預(yù)計(jì)可達(dá)到:N型晶片18萬片/年;高純晶片6萬片/年(其中:6英寸片5萬片/年,4英寸片1萬片/年),均為第三代半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)品。

這樣功能強(qiáng)大的碳化硅晶片,對(duì)研發(fā)環(huán)境有著極為嚴(yán)苛的要求。由于碳化硅具有十分穩(wěn)定的特性,所以在一些惡劣環(huán)境下仍可穩(wěn)定工作。也正是因?yàn)榉€(wěn)定的化學(xué)特性,碳化硅生產(chǎn)的技術(shù)門檻非常高。而設(shè)備的配套產(chǎn)品和功能元器件需要滿足長(zhǎng)期、穩(wěn)定、可靠使用的要求,同時(shí)具備節(jié)能效果。因此,具有連續(xù)工作高穩(wěn)定性和良好精度保持性就成為該項(xiàng)目的考察重點(diǎn)。

40余臺(tái)變頻器,釋放強(qiáng)大性能

丹佛斯變頻器憑借其穩(wěn)定的性能及節(jié)能的特點(diǎn)成功應(yīng)用于該碳化硅基地項(xiàng)目的空調(diào)及風(fēng)機(jī)系統(tǒng)。目前共有40余臺(tái)丹佛斯VLT? AutomationDrive FC300變頻器,功率7.5KW~315KW,自投產(chǎn)至今運(yùn)行正常。

丹佛斯變頻器在碳化硅單晶技術(shù)研發(fā)過程中發(fā)揮哪些重要作用呢?

丹佛斯VLT變頻器在此項(xiàng)目中,主要應(yīng)用于工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)(簡(jiǎn)稱:PCW),對(duì)碳化硅生產(chǎn)環(huán)節(jié)中最重要工藝設(shè)備——單晶生長(zhǎng)爐進(jìn)行冷卻,丹佛斯變頻器對(duì)工藝?yán)鋮s水的流量、流速、壓力、溫度、濕度精準(zhǔn)把控,保護(hù)核心動(dòng)力,有效避免因設(shè)備問題造成損失。另外,丹佛斯變頻器應(yīng)用于空調(diào)系統(tǒng),因其具備性能穩(wěn)定、控制精確的特點(diǎn),為輔助單晶生長(zhǎng)爐穩(wěn)定運(yùn)行提供可靠環(huán)境條件。

那么丹佛斯VLT? AutomationDrive FC300變頻器還有哪些應(yīng)用優(yōu)勢(shì)呢? 

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高級(jí)監(jiān)控,精確控制

使用增強(qiáng)型高級(jí)應(yīng)用監(jiān)控功能可以跟蹤風(fēng)扇、泵和壓縮機(jī)的狀態(tài),這意味著可以延長(zhǎng)使用壽命、降低維修成本以及減少停機(jī)時(shí)間。

惡劣環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行

丹佛斯變頻器在最高50°C環(huán)境溫度時(shí)無降容,而超過50°C時(shí)則自動(dòng)降容,從而能在極端環(huán)境條件下繼續(xù)降容,保持穩(wěn)定運(yùn)行。

高效節(jié)能

變頻驅(qū)動(dòng)是控制風(fēng)扇和泵機(jī)長(zhǎng)期運(yùn)行的有效方式,每年節(jié)約成本約為變頻器成本的5%-10%。因此,丹佛斯變頻器能保證最大正常運(yùn)行時(shí)間和最低成本。

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在碳化硅單晶制備技術(shù)成功研發(fā)的背后,是丹佛斯與中國(guó)電科在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的一次成功合作。丹佛斯變頻器為技術(shù)研發(fā)提供穩(wěn)定的環(huán)境條件,自投入生產(chǎn)以來,全部設(shè)備平穩(wěn)運(yùn)行,保障技術(shù)研發(fā)過程的順利進(jìn)行。

丹佛斯變頻器強(qiáng)大性能深受客戶的認(rèn)可和信任,為此丹佛斯將繼續(xù)努力前行,為大家?guī)砀喙δ軓?qiáng)大的產(chǎn)品,提供更加優(yōu)質(zhì)的解決方案及服務(wù),與廣大合作伙伴一道為中國(guó)尖端技術(shù)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量!

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關(guān)于中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地

中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地,一期項(xiàng)目建筑面積2.7萬平方米,能容納600臺(tái)碳化硅單晶生產(chǎn)爐和18萬片N型晶片的加工檢測(cè)能力,可形成7.5萬片的碳化硅晶片產(chǎn)能,項(xiàng)目投產(chǎn)后將成為中國(guó)前三、世界前十的碳化硅生產(chǎn)企業(yè),可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值10億元。

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