隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的迅猛增長,集成電路電子材料需求也快速得到釋放。電子材料產(chǎn)業(yè)處于集成電路制造環(huán)節(jié)的上游,對集成電路產(chǎn)品質(zhì)量、價格等起到?jīng)Q定性作用。然而,我國半導(dǎo)體電子材料只能滿足20%的內(nèi)需,且大多為中低端。
以“信息化帶動工業(yè)化,電子技術(shù)促進產(chǎn)業(yè)升級”為主題的第15屆中國電子展即將在上海新國際博覽中心拉開帷幕。展會前夕,與非網(wǎng)記者對即將參展的睿寧高新技術(shù)材料(贛州)有限公司(以下簡稱:睿寧)董事長兼總裁袁永文博士進行了采訪。
袁永文博士在回國創(chuàng)業(yè)前曾就職于美國阿貢國家重點實驗室、英特爾、東曹。袁永文博士通過一個簡單的例子闡述了選擇江西贛州創(chuàng)業(yè)的初衷:
鎢作為集成電路重要電子材料,在集成電路存儲器中的應(yīng)用尤為廣泛。當(dāng)下,我國集中盡量發(fā)展存儲器產(chǎn)業(yè),對于鎢電子材料而言必將是一場紅利。鎢基電子材料是睿寧重點開發(fā)優(yōu)勢材料產(chǎn)品之一,一方面源于贛南有“世界鎢都”之稱,產(chǎn)業(yè)資源當(dāng)?shù)鼗梢越档瓦\營成本;另一方面,睿寧通過自身技術(shù)優(yōu)勢實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)高端化,帶來更高產(chǎn)業(yè)價值,為家鄉(xiāng)做出貢獻。
半導(dǎo)體濺射靶材,拉小與國際差距
全球范圍內(nèi),濺射靶材電子材料產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)參與企業(yè)數(shù)量基本呈金字塔型分布,高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術(shù)門檻高、設(shè)備投資大,具有規(guī)模化生產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對較少。濺射靶材最高端的應(yīng)用是在超大規(guī)模集成電路芯片制造領(lǐng)域,這個領(lǐng)域主要是美國和日本的少數(shù)公司從事相關(guān)業(yè)務(wù),長期以來是一個被跨國公司壟斷的行業(yè)。
袁永文博士介紹,半導(dǎo)體濺射靶材國內(nèi)與國際差距主要表現(xiàn)為兩點:
差距一:濺射靶材上游材料(主要在超高純原材料方面)
差距二:服務(wù)于集成電路先進制程的新產(chǎn)品
針對以上兩大差距,袁永文博士表示,睿寧都有自身優(yōu)勢:技術(shù)與工藝覆蓋從原材料提純、加工、生產(chǎn)制造到成品靶材的全過程,擁有垂直產(chǎn)業(yè)鏈;在集成電路先進制程前道工藝所需要的新材料產(chǎn)品方面已經(jīng)取得一定成績。
據(jù)介紹,睿寧在濺射靶材技術(shù)方面已處于國內(nèi)領(lǐng)先水平,且集中精力突破此領(lǐng)域的瓶頸。袁永文博士也提出了睿寧的目標(biāo),要在3-5年內(nèi)趕超國際先進水平,成為領(lǐng)軍型濺射靶材供應(yīng)商。
創(chuàng)新至上,保持技術(shù)領(lǐng)先性
目前,睿寧已獲得20項集成電路芯片電子材料核心制造技術(shù)國內(nèi)外專利,其中14項是美國或國際授權(quán)專利。
袁永文博士表示:“睿寧每年的研發(fā)投入占總營收30%。與此同時,睿寧以項目的方式推進研發(fā)進程,比如投資10.8億元的‘年產(chǎn)10萬件22nm以下硅基及有色金屬基PVD芯片薄膜電子材料’項目。該項目致力于為22nm以下集成電路先進制程服務(wù),并做了前瞻性的布局,覆蓋到制程10nm以下電子材料產(chǎn)品的開發(fā)?!?/P>
盡管工藝制程更新中大部分材料會有一定的連續(xù)性,但不同制程對同一種材料會有不同要求,比如純度。同時,先進制程前道工藝對新材料的需求表現(xiàn)的尤為突出。袁永文博士表示,在新電子材料方面的突破是睿寧的優(yōu)勢所在,比如新一代稀土基材料。
如今,以第三代半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)的新興技術(shù)正迅速崛起,搶占第三代半導(dǎo)體材料技術(shù)的高地也愈發(fā)激烈。當(dāng)談及第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),袁永文博士表示,睿寧在此方面的布局主要為大功率器件內(nèi)部組成材料,而且已經(jīng)有陶瓷基藍寶石(氧化鋁)基體生產(chǎn)線,只要有市場需求,就會迅速切入到第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域。
盡管隨著技術(shù)的發(fā)展,第三代半導(dǎo)體應(yīng)用會變得越來越廣泛,但硅作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),在未來十幾年內(nèi)仍將是最主流的材料與技術(shù)。袁永文博士介紹了睿寧在硅基及硅晶圓片方面的技術(shù)儲備。目前,硅晶圓主流尺寸為8英寸、12英寸,全球極少數(shù)企業(yè)可以做到18英寸,睿寧便是其中之一。與此同時,睿寧提供舊硅晶圓片再利用的服務(wù),贛州工廠一部分8寸線服務(wù)于此業(yè)務(wù)。袁永文博士表示,提高再利用晶圓片質(zhì)量、擴展其應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⑹前l(fā)展的重要方向。
睿寧在國內(nèi)與國外都設(shè)有研發(fā)基地,贛州研發(fā)基地主要服務(wù)于生產(chǎn),而美國研發(fā)基地主要為了保持與國際領(lǐng)先技術(shù)接軌,比如在先進制程方面。袁永文博士反復(fù)強調(diào):睿寧的理念是創(chuàng)新至上,保持技術(shù)領(lǐng)先性至關(guān)重要。