MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(MicroElectromechanicalSystem)，利用半導(dǎo)體制造工藝和材料，將傳感器、執(zhí)行器、機械機構(gòu)、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。MEMS主要包含兩個部分：傳感器和執(zhí)行器。

MEMS傳感器市場

2014年，全球MEMS傳感器市場規(guī)模為130億美元，據(jù)預(yù)計2015-2020年MEMS傳感器市場將以13%年復(fù)合成長率增長，2020年將達到300億美元。

其中慣性傳感器市場規(guī)模30億美元，占總體MEMS整體行業(yè)規(guī)模23%，下游應(yīng)用主要為消費電子和汽車，消費電子市場中MEMS傳感器的終端客戶一般是智能手機和平板。汽車一般有穩(wěn)定的供應(yīng)商合作關(guān)系，對產(chǎn)品質(zhì)量和供應(yīng)商的資質(zhì)要求高。

MEMS傳感器供應(yīng)鏈

MEMS產(chǎn)業(yè)鏈類似于傳統(tǒng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，主要包括了四大部分：前端Fabless設(shè)計環(huán)節(jié)、ODM代工晶圓廠生產(chǎn)環(huán)節(jié)、封裝測試到下游最終應(yīng)用的四大環(huán)節(jié)。

MEMS傳感器國內(nèi)企業(yè)的主要分布

中國的設(shè)計、制造、封裝測試廠商都在積極布局MEMS，已形成完整MEMS的產(chǎn)業(yè)鏈。

長三角區(qū)域：

以上海、無錫、南京為中心。

逐漸形成包括熱敏、磁敏、圖像、稱重、光電、溫度、氣敏等較為完備的傳感器生產(chǎn)體系及產(chǎn)業(yè)配套。

珠三角區(qū)域：

以深圳中心城市為主。

由附近中小城市的外資企業(yè)組成以熱敏、磁敏、超聲波、稱重為主的傳感器產(chǎn)業(yè)體系。

東北地區(qū)：

以沈陽、長春、哈爾濱為主。

主要生產(chǎn)MEMS力敏傳感器、氣敏傳感器、濕敏傳感器。

京津區(qū)域：

主要以高校為主。

從事新型傳感器的研發(fā)，在某些領(lǐng)域填補國內(nèi)空白。北京已建立微米/納米國家重點實驗室。

中部地區(qū)：

以鄭州、武漢、太原為主。

產(chǎn)學(xué)研緊密結(jié)合的模式，在PTC/NTC熱敏電阻、感應(yīng)式數(shù)字液位傳感器和氣體傳感器等產(chǎn)業(yè)方面發(fā)展態(tài)勢良好。

MEMS傳感器全球供應(yīng)商

全球前十名MEMS供應(yīng)商：主要包括博世、意法半導(dǎo)體、惠普、德州儀器、佳能、InvenSense、Avago和Qorvo、樓氏電子、松下等等。

其中BOSCH因為其在汽車電子和消費電子的雙重布局，牢牢占據(jù)著行業(yè)的第一的位置，其營收約占前五大公司合計營收的三分之一。

大部分MEMS行業(yè)的主要廠商是以Fabless為主，例如樓氏、HP、佳能等。同時，平行的也有IDM廠商垂直參與到整條產(chǎn)業(yè)鏈的各個環(huán)節(jié)，比如Bosch、ST等都建有自己的晶元代工生產(chǎn)線。

全球前30大MEMS廠商排名

MEMS傳感器分類

MEMS傳感器種類很多，也有多種分類方法。按其工作原理，大致可分為MEMS物理、化學(xué)和生物傳感器，其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類，不同的MEMS傳感器可以測量不同的量，實現(xiàn)不同的功能。

主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風(fēng)、環(huán)境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計。

1.MEMS運動傳感器

MEMS運動傳感器主要有加速度計、陀螺儀、磁力計三大類，加速度計和陀螺儀可以集成為六軸慣性傳感器；磁力計和加速度計集成為電子羅盤（e-compass），加速度計、陀螺儀和磁力計可集成為9軸傳感器。

慣性傳感器(加速度計+陀螺儀)廠家有：意法半導(dǎo)體(ST)、旭化成微電子（AKM）、應(yīng)美盛(InvenSense)、羅伯特.博世等。

電子羅盤（磁力計+加速度計）廠家有：旭化成微電子（AKM）、雅馬哈（Yamaha）、阿爾卑斯（AlpsElectric）、美新半導(dǎo)體(MEMSIC)(2016年7月被華燦光電收購)等。

2.MEMS麥克風(fēng)

MEMS麥克風(fēng)在消費電子、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域廣泛的應(yīng)用。

3.MSME壓力傳感器

壓力傳感器主要制造商：

GEMeasurement&ControlSolutions、羅伯特·博世、歐姆龍、NXP-飛思卡爾、亞德諾半導(dǎo)體、菲爾斯特、香港HKST、TDK-EPC、SiliconMicrostructures、Sensimed、敏芯微（MEMSensing）、華美澳通、北京青鳥元芯、中科院上海微系統(tǒng)所、無錫納微電子有限公司、上海芯敏微系統(tǒng)技術(shù)有限公司、Consensic、盾安環(huán)境

4.MEMS環(huán)境傳感器

環(huán)境傳感器可細分為氣體、溫度和濕度傳感器等。

國外溫度傳感器主要制造商：

博世、Hygrometrix、TI、瑞士盛思銳、歐姆龍。

國外濕度傳感器主要制造商：

博世、意法半導(dǎo)體、MEMSVision、瑞士盛思銳、TESensors。

國外氣體傳感器主要制造商：

博世、奧地利微電子、CambridgeCMOSSensors、瑞士盛思銳、瑞士Micronas、美國Synkera。

國內(nèi)氣體傳感器主要制造商：

蘇州能斯達、武漢微納傳感科技、煒盛科技、森斯特（北京）電子科技有限公司（Nenvitech）、深圳市戴維萊傳感技術(shù)開發(fā)有限公司、武漢四方光電科技有限公司、速麗德（Solidsense）、城市技術(shù)（CityTechnology）。

5.MEMS生物傳感器

MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。未來MEMS生物傳感器在醫(yī)學(xué)、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域具有廣闊發(fā)展空間。

MEMS傳感器全球代工廠

MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。目前IDM代工處于市場領(lǐng)導(dǎo)地位。

臺積電目前是全球最大的獨立的MEMS代工廠，中芯國際、華宏宏利、上海先進半導(dǎo)體也有生產(chǎn)MEMS的能力。

MEMS傳感器封測廠

目前具備MEMS封裝測試能力的國際廠商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技、華天科技、長電科技、晶方科技等廠商。