業(yè)界對于ADI的印象，可能更多還是停留在“高性能模擬”這一層面。但其實除了模擬業(yè)務(wù)外，ADI還是業(yè)界最早投入MEMS研發(fā)的公司之一。從1987年發(fā)布第一顆High-GMEMS傳感器用于汽車安全氣囊碰撞監(jiān)測，到1996年發(fā)布第一顆Low-G傳感器用于人體運(yùn)動監(jiān)測，再到2011年發(fā)布“能夠承受170度高溫的MEMS加速計傳感器”，這種堅持，ADI傳承了30年。

“用于智能手機(jī)中的消費(fèi)級MEMS產(chǎn)品市場目前已是紅海一片，考慮到過于追求成本，顯然已經(jīng)不在ADI的戰(zhàn)略規(guī)劃中。而對性能、精度和可靠性要求更高的工業(yè)MEMS傳感器市場，盡管其他廠商認(rèn)為其技術(shù)門檻高，需求量小，投資回報率有限，但卻很對ADI的胃口。”ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品市場與應(yīng)用經(jīng)理趙延輝說。

陀螺和慣性單元、超低噪聲、超低功耗和高溫，是ADI未來最為關(guān)注的四大類MEMS傳感器類型。在陀螺和慣性單元中，ADI的做法是在單一模塊里集成了加速度計、陀螺儀、磁力計、氣壓計等多種傳感器，應(yīng)用目標(biāo)以高溫高壓(-40℃-125℃)領(lǐng)域為主;超低噪聲MEMS產(chǎn)品則瞄準(zhǔn)了工業(yè)IoT市場中對精度和產(chǎn)品良率有著極高要求的領(lǐng)域;超低功耗和高溫概念非常易于理解，一方面，隨著智慧城市、智能家居的發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)品一般采用電池供電，體積越做越小，電池也越來越小，傳感器功耗也要求越來越低;而另一方面，很多極端環(huán)境(高溫)中的應(yīng)用需要確保傳感器可以穩(wěn)定運(yùn)行。

一起來看看ADI最新的MEMS傳感器產(chǎn)品進(jìn)展：

ADXL354/355超低噪聲三軸加速度計：具備20?g/Hz噪聲密度、最大0.15mg/C零點(diǎn)漂移、150uA低功耗等特性。相對于上一代ADXL103/203,噪聲密度改善5倍;提供模擬和數(shù)字輸出兩種型號，數(shù)字接口支持SPI和I2C，直接可以訪問傳感器，不需要信號調(diào)理，也不需要ADC。預(yù)計10年內(nèi)的±3.5mg零點(diǎn)重復(fù)性是該系列的最大特點(diǎn)，這對于結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測的無線傳感應(yīng)用來說非常重要。

ADXL356/357±40g三軸加速度計：其噪聲密度可低至80?g/Hz，可選測量范圍從±10g到±40g，最大0.75mg/C零點(diǎn)漂移以及<0.1g振動整流誤差,只需極少量的校準(zhǔn)工作即可實現(xiàn)精密測量。趙延輝解釋說，之所以要在小量程之后再推出大量程測量，主要是考慮到旋翼無人機(jī)、固定翼飛機(jī)在飛行時振動強(qiáng)烈，要求量程足夠大且振動整流誤差要小，這與樓宇橋梁等靜態(tài)傾角測量完全不同，所以ADXL356/357更適合這種大量程動態(tài)傾角應(yīng)用。

ADXL1001/1002振動傳感器：ADXL1001的典型噪聲密度為30μg/√Hz，靈敏度為20mV/g;ADXL1002的典型噪聲密度為25μg/√Hz，靈敏度為40mV/g，其滿量程范圍分別為±100g(ADXL1001)和±50g(ADXL1002)。

ADI此前推出過用于振動分析的ADXL001傳感器，帶寬22KHz，性能和傳統(tǒng)壓電式傳感器相當(dāng)。但缺點(diǎn)是噪聲過大，幾乎是ADXL1001/1002的100倍，因此很難撼動壓電式傳感器的市場地位。全新的ADXL1001/1002雖然精度還未明顯超越壓電式傳感器，但價格下降幅度高達(dá)90%，這對于工業(yè)機(jī)械健康監(jiān)測用戶而言是相當(dāng)大的福音。

ADXL372超低功耗200g大量程三軸加速度計：ADXL372具備±200g量程，有小加速度事件檢測能力，并且與ADXL362引腳兼容。其快速喚醒模式能夠在檢測到觸發(fā)事件后立即喚醒以獲取完整波形，從而大大減少待機(jī)功耗。典型的應(yīng)用場景例如珍貴物品運(yùn)輸時，可以通過安裝這樣的傳感器進(jìn)行全程運(yùn)輸記錄，從而判斷損毀時間;或者參加比賽的運(yùn)動員通過佩戴內(nèi)置該傳感器的檢測設(shè)備，一旦比賽中發(fā)生嚴(yán)重碰撞，就可及時就醫(yī)，避免耽誤病情等。

盡管種類繁多，但趙延輝并不認(rèn)為傳感器融合的趨勢會在工業(yè)領(lǐng)域中大規(guī)模出現(xiàn)?！肮I(yè)領(lǐng)域中的很多應(yīng)用場景比較單一，比如山體滑坡、橋梁傾斜等，大多只需要一種傳感器就可以完成，多個傳感器融合反而是畫蛇添足;另外，在某些特定應(yīng)用中，如無人機(jī)的GPS定位，為了避免地磁干擾要單獨(dú)放到頂部，這種情況也不適合將多種傳感器放到一起?！?/p>

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