人均超一項專利，十余年間迅速成長為國內(nèi)集成電路（IC）裝備領(lǐng)域的一流企業(yè)。沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司（以下簡稱沈陽芯源）走出了一條以自主創(chuàng)新為驅(qū)動的發(fā)展之路。

2002年12月，中國科學(xué)院沈陽自動化研究所（以下簡稱沈陽自動化所）配合沈陽市渾南區(qū)的產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃，發(fā)起創(chuàng)建了沈陽芯源。成立之初，國內(nèi)的IC裝備行業(yè)并不成熟，缺少產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈和客戶，沈陽芯源成為遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)的先鋒之一。

回憶最初的歷程，沈陽芯源總經(jīng)理宗潤福感慨道：“先鋒往往也意味著風(fēng)險，但我們只做先鋒，避免風(fēng)險。是‘獻身、求實、協(xié)作、創(chuàng)新’的沈陽自動化所精神和科研人員敬業(yè)攻關(guān)的韌勁，讓公司挺過最初的艱難，一步步實現(xiàn)今天的業(yè)績?！?/p>

創(chuàng)新尋找出路

創(chuàng)新是沈陽自動化所精神中的重要一環(huán)，而立足自主創(chuàng)新、踏實做好產(chǎn)品則是沈陽芯源謀求發(fā)展的出路。

宗潤福告訴記者：“沈陽芯源尤為重視創(chuàng)新研發(fā)，將創(chuàng)新的種子播撒在每名員工的心中?！鄙蜿栃驹船F(xiàn)有員工210人，專利270余項，自主研制的主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管（LED）、高端封裝等領(lǐng)域，在國內(nèi)占有率均超過了40%，成為國內(nèi)第一大供應(yīng)商。“這樣的成績源于對科技研發(fā)的投入和自主創(chuàng)新的良好氛圍?！?/p>

作為一家從沈陽自動化所孵化的企業(yè)，科技創(chuàng)新、攻關(guān)克難是沈陽芯源的原始基因。公司成立初期，IC裝備行業(yè)一直是國外企業(yè)的天下，昂貴的價格給國內(nèi)企業(yè)帶來負擔(dān)。

“沈陽芯源攻克一個個技術(shù)難關(guān)，在整機提升的同時，專注于核心部件的國產(chǎn)化，降低了產(chǎn)品的造價與服務(wù)成本?！弊跐櫢Ｕf，“設(shè)備的國產(chǎn)化不僅提高了沈陽芯源的競爭力，也降低了客戶的成本，從而提高了客戶乃至行業(yè)的競爭力，實際上帶動了產(chǎn)業(yè)的加工能力，發(fā)揮了示范性作用?！?/p>

如今，我國的IC裝備產(chǎn)業(yè)形成北京、上海、沈陽三足鼎立的態(tài)勢，其中，沈陽的IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，就得益于像沈陽芯源這樣自主創(chuàng)新的先鋒企業(yè)。

形成正向循環(huán)

回顧發(fā)展歷程，宗潤福指出，沈陽芯源利用自身優(yōu)勢，把握住兩次機遇，成功躋身國內(nèi)IC裝備領(lǐng)域前列。他說：“由于是沈陽自動化所參股控股企業(yè)，沈陽芯源社會形象好、技術(shù)起點高，與地方政府也有著天然的信任基礎(chǔ)，合作開展順利，這些為公司把握住機遇奠定了基礎(chǔ)。”

2009年，LED市場呈爆發(fā)態(tài)勢。由于LED產(chǎn)品技術(shù)門檻低、投資少，沈陽芯源抓住機遇切入到這一領(lǐng)域。2010年至2011年，沈陽芯源快速成長，年銷售額達到5000萬元，由此成為了一家健康發(fā)展的企業(yè)。

除此之外，在沈陽自動化所的推動下，沈陽芯源參與到國家重大科技專項，使公司步入了新的發(fā)展階段。2008年，沈陽芯源和幾家中科院參股企業(yè)聯(lián)合申報國家重大科技專項，并于2008年12月開始承擔(dān)國家重大科技專項“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”，獲撥經(jīng)費3700萬元。2012年3月，沈陽芯源申報的國家重大科技專項“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”獲得立項批復(fù)，獲經(jīng)費支持8700萬元。

“國家重大科技專項的支持，讓公司搶占了這個朝陽行業(yè)的先機，更好地投入到科研、實驗室建設(shè)、國際合作等方面。通過成果產(chǎn)業(yè)化，一些包括高端封裝領(lǐng)域在內(nèi)的新產(chǎn)品走向了市場，公司發(fā)展形成了正向循環(huán)?！弊跐櫢Ｓ芍缘馗兄x沈陽自動化所。

善做乘法共贏

2013年，芯源銷售額突破1億元，2014年達1.6億元，預(yù)計2016年將達2億元。一家規(guī)模不大的公司能有這樣的業(yè)績，與公司崇尚合作共贏，形成乘法效應(yīng)密不可分。宗潤福表示：“我們不僅要做加法還要做乘法?！?/p>

所企互動為公司早期的起步立下汗馬功勞。沈陽芯源與沈陽自動化所及其持股公司新松機器人自動化股份有限公司、沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司等單位開展廣泛合作，縮短研制周期。在拓展海外市場上，沈陽芯源也發(fā)揮著善于做乘法的精神。在臺灣，沈陽芯源以讓利共贏的精神與代理商合作，打開了市場。

做乘法也體現(xiàn)在“一次開發(fā)，多次應(yīng)用”上，這個觀點是曾任沈陽自動化所所長的蔣新松院士在30年前提出的。沈陽芯源繼承了這一傳統(tǒng)，深耕產(chǎn)品品質(zhì)，規(guī)范化的產(chǎn)品為多次應(yīng)用與業(yè)務(wù)拓展奠定了基礎(chǔ)。

2016年9月，沈陽芯源設(shè)計生產(chǎn)的第500臺設(shè)備出廠，成為在國內(nèi)新興半導(dǎo)體制造設(shè)備廠家中首個邁過500臺設(shè)備出廠門檻的企業(yè)，創(chuàng)造了一個新的發(fā)展里程碑。

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