我國(guó)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和升級(jí)使得微電子、微機(jī)械、光學(xué)和現(xiàn)代超精密加工工業(yè)對(duì)檢測(cè)精度的要求越來越高，同時(shí)要求更大的檢測(cè)量程，而其他檢測(cè)方法難以勝任，只有激光干涉檢測(cè)技術(shù)可以在大量程內(nèi)達(dá)到較高的測(cè)量精度，所以在高端制造領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

中圖儀器推出的SJ6000激光干涉儀，采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。是校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

1、在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。使用激光干涉儀檢測(cè)機(jī)床各項(xiàng)誤差并進(jìn)行修正是傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)，是大幅度提高數(shù)控機(jī)床的加工精度的關(guān)鍵措施。

2、在三坐標(biāo)檢測(cè)中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的位移精度、直線度、垂直度。隨著當(dāng)代制造業(yè)對(duì)加工速度的要求提升，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)各結(jié)構(gòu)件由于高速運(yùn)行產(chǎn)生機(jī)構(gòu)變形，導(dǎo)致的動(dòng)態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行靜態(tài)誤差、動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量和補(bǔ)償，對(duì)提升測(cè)量精度具有重要意義。

3、在位移傳感器中的應(yīng)用

利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測(cè)量精度高，是位移傳感器實(shí)現(xiàn)高精度校準(zhǔn)的重要手段。

4、與其他鏡組配合的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀與不同光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測(cè)量，具有極高的精度和效率。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

技術(shù)線性測(cè)長(zhǎng)精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um