歐姆龍目前已完成世界首次應(yīng)用晶圓級真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā)，成功開發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測的16x16單元型非接觸式溫度傳感器，并擬于2013年10月開始出售樣品。此后7月3日至5日，配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器將NanoMicroBiz2013展會亮相?？吹某鰜碓摐囟葌鞲衅饔糜跈z測人數(shù)及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結(jié)合在一起，作為組件化的人體傳感器竭力實現(xiàn)商品化。
近些年來，由于人們家庭及辦公場所對節(jié)能的意識不斷提高，在節(jié)能的同時還致力于實現(xiàn)舒適生活的智能家居，以及為必要的地方提供必要亮度的照明，并可實現(xiàn)節(jié)能與舒適性兩全其美的應(yīng)需環(huán)境照明等的智能辦公室已經(jīng)過研究階段進(jìn)入了驗證實驗的階段。其中，作為掌握人數(shù)及人物所處位置的關(guān)鍵件，傳感器的需求正在不斷高漲。
由于這種情況，歐姆龍開發(fā)了能夠檢測靜止人物，具有90度廣視野范圍并可實現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測，用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。該MEMS非接觸式溫度傳感器是通過應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對象物體發(fā)出的紅外線能源變?yōu)闊崮?，并通過兩種金屬接點之間溫差所形成的熱電動勢測量溫度。但由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會通過空氣散失，所以在金屬接點之間難以形成較大的溫差，致使熱電動勢變小，無法提高靈敏度。這次，世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中，使金屬接點之間的溫差變大，從而可實現(xiàn)更高的靈敏度，該溫度傳感器目前在全世界行業(yè)技術(shù)屬于遙遙領(lǐng)先的。
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