總部位于德國(guó)施泰因哈根的 Plasmatreat 有限責(zé)任公司是一家專為高效表面處理和環(huán)保生產(chǎn)工藝提供等離子體系統(tǒng)的制造商，公司在去年的 2019 年德國(guó)杜塞爾多夫橡塑展 K 展上展出了一款全新的等離子體處理裝置。該處理裝置創(chuàng)造性地采用了倍福的 XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高精度和靈活的工件輸送。XPlanar 取代了以前用于輸送 PCB 板等敏感元件的系統(tǒng)，并且無(wú)需安裝復(fù)雜的六軸機(jī)器人和直線電機(jī)。

　　等離子體處理裝置可以將不同材料的表面處理分為兩個(gè)階段，Plasmatreat 的設(shè)計(jì)負(fù)責(zé)人 Jochen Stichling 闡述道：“在第一階段，基板被移動(dòng)到噴嘴下方進(jìn)行清潔和活化。在第二階段，用噴嘴噴涂功能性涂層�！彼忉�，公司在這方面一直專注于創(chuàng)新：“我們需要一個(gè)處理速度快、完全可編程且無(wú)磨損的系統(tǒng)來(lái)輸送工件。而在定制化編程軌跡和行程方面，倍福的 XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)是不二之選�！�

　　由可自由懸浮的動(dòng)子組成的平面電機(jī)輸送系統(tǒng)

　　XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)將可以隨意排列的傳輸平面模塊與懸浮在其上方的動(dòng)子托盤的多維定位能力完美結(jié)合于一體，可以實(shí)現(xiàn)快速、靈活及高精度定位。動(dòng)子可以在二維平面上進(jìn)行無(wú)摩擦、無(wú)接觸的運(yùn)動(dòng)，最高速度可達(dá) 4 m/s，加速度可達(dá) 2 g，重復(fù)定位精度可達(dá) 50 μm;運(yùn)行過(guò)程中幾乎不會(huì)產(chǎn)生任何噪音或機(jī)械磨損。該系統(tǒng)不僅支持二維 X/Y 空間內(nèi)的定位運(yùn)動(dòng)，還提供在必要時(shí)讓動(dòng)子做六自由度運(yùn)動(dòng)的附加功能：

　　– 最大 5 mm 的升降運(yùn)動(dòng)(空載)， 可選擇稱重功能

　　– 最大 5° 傾斜運(yùn)動(dòng)，用于處理液體的輸送

　　– 最大 ±15° 的旋轉(zhuǎn)或者在特定傳輸平面模塊上 360° 的旋轉(zhuǎn);

　　Plasmatreat 等離子體表面處理設(shè)備中使用的 XPlanar 輸送系統(tǒng)由 6 個(gè) 240 x 240 mm 的平面模塊和 1 個(gè)動(dòng)子托盤組成。

　　*新的等離子體表面處理設(shè)備結(jié)構(gòu)非常緊湊，因?yàn)樗辉傩枰褂昧S機(jī)器人或額外的線性軸

　　提高靈活性，降低機(jī)械復(fù)雜性

　　XPlanar 系統(tǒng)的一個(gè)重要優(yōu)點(diǎn)是，不再需要移動(dòng)用于表面處理的等離子體噴流裝置，因此，現(xiàn)在可以將其安裝在固定的安裝架上。無(wú)論是從機(jī)械方面還是從電氣方面看，等離子體噴流工藝都是相當(dāng)復(fù)雜的，如果能夠只移動(dòng)工件而不是等離子體噴流裝置本身，可以大大減少進(jìn)料裝置的磨損。Jochen Stichling 認(rèn)為，靈活性的提高也給我們帶來(lái)了額外的好處：“我們只需要使用簡(jiǎn)單的工裝就可以將各種材料樣本放到動(dòng)子上輸送至處理工位。我們可以很輕松地在等離子體噴流裝置旁邊增添各個(gè)加工工位(例如，給合格工件做上標(biāo)記的工位，或者用光學(xué)靈敏測(cè)頭進(jìn)行全面工件檢查的工位)，并根據(jù)需要靈活地將工件輸送到這些工位。XPlanar 的加速度很快，也讓我們能夠高速移動(dòng)材料樣品;例如，對(duì)于較薄的樣品，這有助于減少固定噴流裝置的處理時(shí)間�！�

　　*Plasmatreat 公司 CEO Christian Buske(右)和德國(guó)倍福自動(dòng)化有限公司總裁(左)對(duì)基于 XPlanar 的等離子處理裝置在 2019 年德國(guó)杜塞爾多夫橡塑展 K 展上的成功亮相感到高興