傳感器和儀表元器件是儀器儀表與自動(dòng)化系統(tǒng)最基礎(chǔ)元器件之一。傳感器和儀表元器件具有服務(wù)面廣、品種繁多、需求量大等特點(diǎn),其技術(shù)水準(zhǔn)和產(chǎn)品質(zhì)量的提高,將為我國制造業(yè)信息化奠定基礎(chǔ)。 中國傳感器和儀器儀表的技術(shù)和產(chǎn)品,經(jīng)過發(fā)展,有了較大的提高。但與國外相比,中國傳感器和儀表元器件的產(chǎn)品品種和質(zhì)量水平,尚不能滿足中國市場的需求,也存在許多問題。 根據(jù)目前傳感器及其應(yīng)用行業(yè)的狀況來看，專家預(yù)測，傳感器和儀器儀表技術(shù)將朝著以下方向發(fā)展。 傳感器 ： （1） MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微結(jié)構(gòu)制造工藝：深反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）工藝或IGP工藝;封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接、無應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝、多芯片組裝工藝;新型傳感器：如用微硅電容傳感器、微硅質(zhì)量流量傳感器、航空航天用動(dòng)態(tài)傳感器、微傳感器,汽車專用壓力、加速度傳感器,環(huán)保用微化學(xué)傳感器等。 （2） 集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微結(jié)構(gòu)集成制造工藝;工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器,如：壓力、靜壓、溫度三變量傳感器,氣壓、風(fēng)力、溫度、濕度四變量傳感器,微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器等。 （3） 智能化技術(shù)與智能傳感器信號(hào)有線或無線探測、變換處理、邏輯判斷、功能計(jì)算、雙向通訊、自診斷等智能化技術(shù);智能多變數(shù)傳感器,智能電量傳感器和各種智慧傳感器、變送器。 （4） 網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)化傳感器,使傳感器具有工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)接口和協(xié)議功能。 儀表元器件 （1） 彈性組件開發(fā)和完善新型成型工藝：電沉積成型工藝,焊接成型工藝;重點(diǎn)開發(fā)航空、航天用的低剛度、大位移、長壽命的微小型精密波紋管,高溫高壓閥用波紋管;研制波紋管高效成型工藝設(shè)備和性能檢測儀器。 （2） 光學(xué)組件開發(fā)先進(jìn)工藝：非球面光學(xué)組件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)、光學(xué)多層測射鍍膜技術(shù)和新型離子輔助鍍膜技術(shù)。 開發(fā)光纖通訊和數(shù)字成像用新型光學(xué)組件，如：微型變密度濾光片、超窄帶濾光片,微透鏡數(shù)組、大面積偏振組件、非球面玻-塑混合透鏡。 （3） 專用電路提高專用電路集成度和個(gè)性化服務(wù)的設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝。應(yīng)用軟件固化技術(shù),開發(fā)適合智能化、網(wǎng)絡(luò)化傳感器和儀表的信號(hào)變換、補(bǔ)償、線性化、通訊、網(wǎng)絡(luò)接口等專用電路。